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열팽창계수 측정 간섭계

  • 기술번호 : KST2015179436
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 열팽창계수 측정 간섭계가 개시된다. 측정대상계는 측정대상물과 측정대상물을 안착하는 기준판을 포함한다. 광학계는 입사된 광을 분리하여 분리된 광의 주파수를 각각 변조시키고, 변조된 광을 측정대상물과 기준판에 각각 투사시켜서 측정대상물과 기준판으로부터 각각 반사된 광을 결합시키고, 광결합시 발생되는 간섭현상으로 생성된 맥놀이 신호를 검출한다. 진공챔버는 측정대상계 및 광학계가 내설되며 진공상태를 유지한다. 본 발명에 따른 열팽창계수 측정 간섭계에 의하면 오차 없이 측정대상물의 길이 변화를 감지하여 정밀하게 열팽창계수를 측정할 수 있다.열팽창계수, 간섭계, 진공챔버, 광
Int. CL G01B 9/02 (2006.01) G01N 25/16 (2006.01)
CPC G01B 9/02003(2013.01) G01B 9/02003(2013.01) G01B 9/02003(2013.01) G01B 9/02003(2013.01) G01B 9/02003(2013.01) G01B 9/02003(2013.01)
출원번호/일자 1020070042727 (2007.05.02)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2008-0097627 (2008.11.06) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.05.02)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 강주식 대한민국 대전 유성구
2 김재완 대한민국 대전 유성구
3 김종안 대한민국 대전 유성구
4 엄태봉 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 웰 대한민국 서울특별시 서초구 방배로**길*, *~*층(방배동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2007.05.02 수리 (Accepted) 1-1-2007-0330613-18
2 공지예외적용주장대상(신규성,출원시의특례)증명서류제출서
Submission of Document Verifying Exclusion from Being Publically Known (Novelty, Special Provisions for Application)
2007.05.22 수리 (Accepted) 1-1-2007-5050313-75
3 보정요구서
Request for Amendment
2007.05.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2007-0070064-13
4 안내문(직권수리)
Notification(Ex officio Acceptance)
2007.05.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2007-0070703-91
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.03.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.04.15 수리 (Accepted) 9-1-2008-0022363-06
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2008.07.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0379482-96
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2008.09.18 수리 (Accepted) 1-1-2008-0657773-74
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2008.12.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0608920-09
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.01.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0060637-72
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.01.30 수리 (Accepted) 1-1-2009-0060629-17
12 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2009.05.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0205435-15
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
측정대상물과 상기 측정대상물을 안착하는 기준판을 포함하는 측정대상계;입사된 광을 분리하여 분리된 광의 주파수를 각각 변조시키며, 변조된 광을 상기 측정대상물과 기준판에 각각 투사시키고, 상기 측정대상물과 기준판으로부터 각각 반사된 광을 결합시키고, 상기 광결합시 발생한 간섭현상으로 생성된 맥놀이 신호를 검출하는 광학계; 및상기 측정대상계 및 광학계가 내설되며 진공상태를 유지하는 진공챔버;를 포함하는 것을 특징으로 하는 열팽창계수 측정 간섭계;
2 2
제 1항에 있어서,상기 측정대상계는,상기 측정대상물과 기준판이 내설되며 상기 광학계를 향하는 상측면의 일정 부분에 관통공이 형성된 항온챔버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 열팽창계수 측정 간섭계;
3 3
제 1항에 있어서,상기 광학계는,상기 입사된 광을 제1광과 제2광으로 분리시키는 광분할기;상기 분리된 제1광과 제2광을 각각 주파수 변조하는 음향광학변조기;상기 변조된 제1광과 제2광을 편광성분별로 반사 및 투과시켜 제3광과 제4광 및 제5광과 제6광으로 각각 분광시키는 편광 광분할기;상기 분광된 제4 내지 제6광 중 적어도 어느 하나의 광의 경로를 변경시켜 상기 측정대상물과 기준판으로 반복적으로 입사되게 하는 코너큐브 프리즘;상기 측정대상물과 기준판에 입사되어 반사된 광을 결합하는 광결합기; 및상기 결합된 광으로부터 발생되는 간섭현상으로 생성된 맥놀이 신호를 출력하는 광검출기;를 포함하는 것을 특징으로 하는 열팽창계수 측정 간섭계
4 4
제 3항에 있어서,상기 광학계는,상기 광분할기, 음향광학변조기, 편광 광분할기, 코너큐브 프리즘, 광결합기 및 광검출기가 내설되며 상기 측정대상계를 향하는 하측면의 일정 부분에 관통공이 형성된 항온챔버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 열팽창계수 측정 간섭계
5 5
제 1항에 있어서,상기 열팽창계수 측정 간섭계는,상기 진공챔버 외부에 위치하여 온도를 조절하는 온도조절장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 열팽창계수 측정 간섭계
6 6
제 5항에 있어서,상기 온도조절장치는,상기 측정대상계의 온도를 조절하는 제1온도조절장치; 및상기 광학계의 온도를 조절하는 제2온도조절장치;를 포함하는 것을 특징으로 하는 열팽창계수 측정 간섭계
7 7
제 1항에 있어서,상기 열팽창계수 측정 간섭계는,상기 진공챔버 외부에 위치하여 상기 진공챔버를 진공상태로 만드는 진공펌프를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 열팽창계수 측정 간섭계;
8 8
제 1항에 있어서,상기 열팽창계수 측정 간섭계는,상기 측정대상계의 온도를 측정하여 출력하는 온도지시부;상기 검출된 맥놀이 신호로부터 상기 맥놀이 신호의 위상을 검출하는 위상검출기; 및상기 검출된 위상과 상기 출력된 온도를 기초로 상기 측정대상물의 열팽창계수를 산출하는 연산부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 열팽창계수 측정 간섭계
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.