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반응공정 진단 구조체

  • 기술번호 : KST2015179449
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 각종 화학물질이 사용되는 반응공정시, 반응로에서 배출되는 부산물에 포함된 각종 화학물질의 성분을 분석하여 공정을 조절할 수 있도록 하는 반응공정 진단 시스템에 사용되는 반응공정 진단 구조체에 관한 것이다. 적외선, 분석실, 입사창, 출사창, 온도, 분광 분석기
Int. CL H01L 21/02 (2006.01)
CPC H01L 21/67242(2013.01) H01L 21/67242(2013.01) H01L 21/67242(2013.01) H01L 21/67242(2013.01)
출원번호/일자 1020070101765 (2007.10.10)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-0899435-0000 (2009.05.19)
공개번호/일자 10-2009-0036636 (2009.04.15) 문서열기
공고번호/일자 (20090527) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.10.10)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 강상우 대한민국 서울 용산구
2 윤주영 대한민국 서울 양천구
3 성대진 대한민국 충남 공주시
4 신용현 대한민국 대전시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김종관 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
3 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2007.10.10 수리 (Accepted) 1-1-2007-0725262-49
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2008.08.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2008.09.11 수리 (Accepted) 9-1-2008-0055033-17
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2008.12.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0635228-44
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2009.02.12 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0086573-46
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2009.02.12 수리 (Accepted) 1-1-2009-0086557-15
7 등록결정서
Decision to grant		 2009.05.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0193646-15
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
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번호 청구항
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4 4
반응 부산물이 수용 가능한 분석실(4130)과, 광선이 입사 및 출사되도록 상기 분석실(4130)에 구비되는 입사창(4131) 및 출사창(4122)과, 가스가 주입되는 경우 주입된 가스가 상기 입사창(4131)의 외측면과 접촉 가능하도록 상기 입사창(4131)이 설치된 부위를 내포하며 상기 분석실(4130)의 외측면에 형성되는 제1 가스 수용부(4110)와, 가스가 주입되는 경우 주입된 가스가 상기 출사창(4122)의 외측면과 접촉 가능하도록 상기 출사창(4122)이 설치된 부위를 내포하며 상기 분석실(4130)의 외측면에 형성되고, 상기 제1 가스 수용부(4110)와 상호 연통되는 제2 가스 수용부(4120)를 포함하되, 상기 제1 가스 수용부(4110) 및 제2 가스 수용부(4120)는 요입부가 형성되도록 그 하측 단부를 통하여 상호 연통되고, 상기 분석실(4130)은 상기 요입부에 탈착 가능하도록 설치되는 것을 특징으로 하는 반응공정 진단 구조체
5 5
반응 부산물이 수용 가능한 분석실(4130)과, 광선이 입사 및 출사되도록 상기 분석실(4130)에 구비되는 입사창(4131) 및 출사창(4122)과, 가스가 주입되는 경우 주입된 가스가 상기 입사창(4131)의 외측면과 접촉 가능하도록 상기 입사창(4131)이 설치된 부위를 내포하며 상기 분석실(4130)의 외측면에 형성되는 제1 가스 수용부(4110)와, 가스가 주입되는 경우 주입된 가스가 상기 출사창(4122)의 외측면과 접촉 가능하도록 상기 출사창(4122)이 설치된 부위를 내포하며 상기 분석실(4130)의 외측면에 형성되고, 상기 제1 가스 수용부(4110)와 상호 연통되는 제2 가스 수용부(4120)와, 상기 제1 가스 수용부(4110) 및 제2 가스 수용부(4120)에 연결되는 가스 배출 밸브(4162)와, 상기 가스 배출 밸브(4162)를 경유하여 상기 제1 가스 수용부(4110) 및 제2 가스 수용부(4120)에 연결되는 펌프(4160)를 포함하는 것을 특징으로 하는 반응공정 진단 구조체
6 6
반응 부산물이 수용 가능한 분석실(4130)과, 광선이 입사 및 출사되도록 상기 분석실(4130)에 구비되는 입사창(4131) 및 출사창(4122)과, 가스가 주입되는 경우 주입된 가스가 상기 입사창(4131)의 외측면과 접촉 가능하도록 상기 입사창(4131)이 설치된 부위를 내포하며 상기 분석실(4130)의 외측면에 형성되는 제1 가스 수용부(4110)와, 가스가 주입되는 경우 주입된 가스가 상기 출사창(4122)의 외측면과 접촉 가능하도록 상기 출사창(4122)이 설치된 부위를 내포하며 상기 분석실(4130)의 외측면에 형성되고, 상기 제1 가스 수용부(4110)와 상호 연통되는 제2 가스 수용부(4120)와, 상기 제1 가스 수용부(4110) 및 제2 가스 수용부(4120) 내에 가스를 공급하는 가스 공급부(4150)와, 상기 가스 공급부(4150)에 수용되는 가스 온도를 조절하는 온도 조절부(4154)가 구비되는 것을 특징으로 하는 반응공정 진단 구조체
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반응 부산물이 수용 가능한 분석실(4130)과, 광선이 입사 및 출사되도록 상기 분석실(4130)에 구비되는 입사창(4131) 및 출사창(4122)과, 가스가 주입되는 경우 주입된 가스가 상기 입사창(4131)의 외측면과 접촉 가능하도록 상기 입사창(4131)이 설치된 부위를 내포하며 상기 분석실(4130)의 외측면에 형성되는 제1 가스 수용부(4110)와, 가스가 주입되는 경우 주입된 가스가 상기 출사창(4122)의 외측면과 접촉 가능하도록 상기 출사창(4122)이 설치된 부위를 내포하며 상기 분석실(4130)의 외측면에 형성되고, 상기 제1 가스 수용부(4110)와 상호 연통되는 제2 가스 수용부(4120)와, 상기 분석실(4130)에 라디칼 상태의 세정가스를 공급하기 위한 세정가스 공급부(4180)를 포함하는 것을 특징으로 하는 반응공정 진단 구조체
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반응 부산물이 수용 가능한 분석실(4130)과, 광선이 입사 및 출사되도록 상기 분석실(4130)에 구비되는 입사창(4131) 및 출사창(4122)과, 가스가 주입되는 경우 주입된 가스가 상기 입사창(4131)의 외측면과 접촉 가능하도록 상기 입사창(4131)이 설치된 부위를 내포하며 상기 분석실(4130)의 외측면에 형성되는 제1 가스 수용부(4110)와, 가스가 주입되는 경우 주입된 가스가 상기 출사창(4122)의 외측면과 접촉 가능하도록 상기 출사창(4122)이 설치된 부위를 내포하며 상기 분석실(4130)의 외측면에 형성되고, 상기 제1 가스 수용부(4110)와 상호 연통되는 제2 가스 수용부(4120)와, 상기 분석실(4130)에 주입되는 반응 부산물을 여기 시키기 위한 리모트 플라즈마 발생 유닛(4143)을 포함하는 것을 특징으로 반응공정 진단 구조체
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반응 부산물이 수용 가능한 분석실(4130)과, 광선이 입사 및 출사되도록 상기 분석실(4130)에 구비되는 입사창(4131) 및 출사창(4122)과, 가스가 주입되는 경우 주입된 가스가 상기 입사창(4131)의 외측면과 접촉 가능하도록 상기 입사창(4131)이 설치된 부위를 내포하며 상기 분석실(4130)의 외측면에 형성되는 제1 가스 수용부(4110)와, 가스가 주입되는 경우 주입된 가스가 상기 출사창(4122)의 외측면과 접촉 가능하도록 상기 출사창(4122)이 설치된 부위를 내포하며 상기 분석실(4130)의 외측면에 형성되고, 상기 제1 가스 수용부(4110)와 상호 연통되는 제2 가스 수용부(4120)를 포함하되, 상기 제1 가스 수용부(4110) 또는 상기 제2 가스 수용부(4120) 중의 어느 하나 또는 모두의 부피가 조절 가능한 것을 특징으로 하는 반응공정 진단 구조체
10 10
제9항에 있어서, 상기 제1 가스 수용부(4110) 또는 상기 제2 가스 수용부(4120) 중 적어도 어느 하나는 길이 조절이 가능한 길이 조절부가 형성되는 것을 특징으로 하는 반응공정 진단 구조체
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