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진공장치(10)에 연결된 피교정용 진공게이지(12)를 교정/시험 하기 위한 장치에 있어서,상기 진공장치(10)와 피교정용 진공게이지(12)를 연결하는 관로(14,18)를 개폐하는 진공차단용 밸브(16)와;상기 피교정용 진공게이지(12)에 연결된 게이지 교정장치(100)로 구성되고, 상기 게이지 교정장치(100)는,상기 피교정용 진공게이지(12)측에 기준용 진공게이지(110), 진공연결용 밸브(170), 진공챔버(120), 게이트밸브(132) 및 배기장치(134)가 순차적으로 연결 구비되고;상기 진공챔버(120)에 압력을 발생시키기 위해 상기 진공챔버(120)와 연결된 가스공급원(150)과;상기 가스공급원(150)내의 가스 흐름을 제어하여 상기 진공챔버(120)로 공급하는 리크밸브(160)와;상기 진공챔버(120)내의 진공압을 측정하기 위한 진공챔버용 진공게이지(140)가 포함되어 구성된 것을 특징으로 하는 이동없이 가능한 진공게이지의 교정/시험 장치
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제 1항에 있어서,상기 게이지 교정장치(100)는 연결포트(20)를 매개로 상기 피교정용 진공게이지(12)에 착탈 가능하게 접속되도록 구성된 것을 특징으로 하는 이동없이 가능한 진공게이지의 교정/시험 장치
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제 1항에 있어서,상기 진공챔버(120)내에는 기체 흐름을 안정시킴과 동시에 압력구배를 작게 하는 오리피스(122)가 더 구비된 것을 특징으로 하는 이동없이 가능한 진공게이지의 교정/시험 장치
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제 1항에 있어서,상기 가스공급원(150)은 소정의 압력하에서 가스를 저장하고 있는 가스탱크로 구성된 것을 특징으로 하는 이동없이 가능한 진공게이지의 교정/시험 장치
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운전 중인 진공장치(10)에 연결된 피교정용 진공게이지(12)를 교정/시험 하기 위한 방법에 있어서,(a) 진공장치(10)와 피교정용 진공게이지(12)를 연결하는 관로를 진공차단용 밸브(14)를 닫힘 조작하여 차단하는 단계와;(b) 상기 피교정용 진공게이지(12)측의 연결포트(20)에 이동용 진공게이지 교정장치(100)를 연결하는 단계와;(c) 상기 이동용 진공게이지 교정장치(100)의 진공연결용 밸브(170)와 게이트밸브(132)를 열어놓고 배기장치(134)를 가동하여 진공챔버(120)와 모든 연결배관을 진공 분위기로 형성하는 단계와;(d) 피교정용 진공게이지(12)의 측정 범위에 따른 저/고 진공압 상태를 판단하는 단계와;(e) 상기 (d)단계에서 저진공압으로 판단될 경우 게이트밸브(132)를 닫고 리크밸브(160)를 열어 진공챔버(120)내의 압력을 증가시키면서 피교정용 진공게이지(12)와 기준용 진공게이지(110)의 각기 지시압력을 기록 비교하여 교정값을 획득하는 단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 이동없이 가능한 진공게이지의 교정/시험 방법
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제 5항에 있어서,상기 (c)단계와 (d)단계의 사이에 챔버용 진공게이지(140)로 진공챔버(120)의 압력을 측정하여 도달압력을 확인하는 단계가 더 포함되어 있는 것을 특징으로 하는 이동없이 가능한 진공게이지의 교정/시험 방법
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제 5항에 있어서,상기 (d)단계에서 고진공압으로 판단될 경우, 게이트 밸브(132)와 리크밸브(160)를 열어 진공챔버(120)내의 압력을 증가시키면서 피교정용 진공게이지(12)와 기준용 진공게이지(110)의 각기 지시압력을 기록 비교하여 교정값을 획득하는 단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 이동없이 가능한 진공게이지의 교정/시험 방법
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제 7항에 있어서,상기 진공챔버(120)에 흐르는 가스공급원(150)측의 가스가 오리피스(122)를 통과하도록 한 것을 특징으로 하는 이동없이 가능한 진공게이지의 교정/시험 방법
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