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주파수 안정화 레이저 장치 및 레이저 주파수 안정화 방법

  • 기술번호 : KST2015179454
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 주파수 안정화 레이저 장치 및 레이저 주파수 안정화 방법이 개시된다. 반도체 레이저는 빔을 방출한다. 외부반사체는 공진 주파수를 가지며, 방출된 빔의 주파수와 공진 주파수가 동일한 경우에는 방출된 빔을 반도체 레이저로 피드백한다. 간섭신호 생성부는 방출된 빔의 파장을 검출하기 위한 간섭신호를 생성하고, 제어부는 생성된 간섭신호로부터 파장을 검출한다. 본 발명에 따른 주파수 안정화 레이저 장치 및 레이저 주파수 안정화 방법에 의하면, 반도체 레이저로부터 방출되는 빔의 주파수를 안정화시킬 수 있고 안정된 주파수를 갖는 빔을 장시간 출력가능하며, 반도체 레이저의 온도 또는 반도체 레이저로 인가되는 전류를 조절하여 각 프리 스펙트럴 범위(free spectral ranges) 별로 안정된 주파수를 갖는 빔을 선택적으로 장시간 출력가능하고 출력하는 빔의 주파수를 높은 분해능을 가지고 정확하게 산출할 수 있다.
Int. CL H01S 3/10 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020070091211 (2007.09.07)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-0925782-0000 (2009.11.02)
공개번호/일자 10-2009-0025969 (2009.03.11) 문서열기
공고번호/일자 (20091111) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.09.07)
심사청구항수 13

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김재완 대한민국 대전 유성구
2 엄태봉 대한민국 대전 유성구
3 김종안 대한민국 대전 유성구
4 강주식 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 웰 대한민국 서울특별시 서초구 방배로**길*, *~*층(방배동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2007.09.07 수리 (Accepted) 1-1-2007-0652858-50
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2008.05.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2008.06.19 수리 (Accepted) 9-1-2008-0039164-14
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2008.08.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0410486-41
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2008.10.01 수리 (Accepted) 1-1-2008-0690799-79
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2008.11.04 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0764312-27
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2008.11.04 수리 (Accepted) 1-1-2008-0764280-54
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2009.03.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0098917-21
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2009.05.04 수리 (Accepted) 1-1-2009-0268759-55
10 등록결정서
Decision to grant		 2009.08.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0363837-16
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
빔을 방출하는 반도체 레이저; 상기 방출된 빔의 파장을 검출하기 위한 간섭신호를 생성하는 간섭신호 생성부; 상기 생성된 간섭신호로부터 파장을 검출하고, 상기 검출한 파장에 따라 상기 반도체 레이저로 인가되는 전류를 조절하여 일차적으로 레이저 빔의 주파수를 안정화시키는 제어부; 및 공진 주파수를 가지며, 상기 방출된 빔의 주파수와 공진 주파수가 동일한 경우 광공진기를 통해 상기 방출된 빔을 상기 반도체 레이저로 피드백하여 상기 반도체 레이저의 주파수를 최종적으로 안정화시키는 외부반사체;를 포함하는 것을 특징으로 하는 주파수 안정화 레이저 장치
2 2
제 1항에 있어서, 상기 외부반사체는, 공진 주파수를 가지며, 상기 방출된 빔의 주파수와 공진 주파수가 동일한 경우에는 상기 반도체 레이저로 피드백하기 위한 빔을 출력하는 광공진기; 상기 반도체 레이저로부터 방출된 빔을 상기 광공진기로 조사하는 제 1수단; 및 상기 광공진기로부터 출력된 빔을 상기 반도체 레이저로 피드백하는 제 2수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는 주파수 안정화 레이저 장치
3 3
제 2항에 있어서, 상기 제 1수단과 제 2수단은 동일한 것을 특징으로 하는 주파수 안정화 레이저 장치
4 4
제 2항에 있어서, 상기 외부반사체는 상기 광공진기로부터 투과된 빔을 검출하는 제 1광검출기를 더 포함하고, 상기 제어부는 상기 검출된 빔으로부터 공명 주파수를 검출하는 것을 특징으로 하는 주파수 안정화 레이저 장치
5 5
제 1항에 있어서, 상기 간섭신호 생성부는, 사전에 설정된 두께를 갖는 시료기판; 상기 시료기판으로 상기 방출된 빔을 조사하는 광조사수단; 및 상기 시료기판으로부터 반사된 광을 검출하는 광검출수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는 주파수 안정화 레이저 장치
6 6
제 5항에 있어서, 상기 광조사수단은, 상기 방출된 빔을 제 1빔과 제 2빔으로 분할하는 광분할기; 및 상기 분할된 제 1빔과 제 2빔을 서로 입사각을 달리하여 상기 시료기판으로 조사하는 광경로조절부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 주파수 안정화 레이저 장치
7 7
제 5항에 있어서, 상기 광검출수단은, 상기 시료기판으로부터 반사된 제 1빔 및 제 2빔의 편광을 조절하여 투과시키는 사분의일파장판; 상기 투과된 제 1빔 및 제 2빔을 반사시키는 편광광분할기; 상기 반사된 제 1빔을 검출하는 제 2광검출기; 및 상기 반사된 제 2빔을 검출하는 제 3광검출기;를 포함하는 것을 특징으로 하는 주파수 안정화 레이저 장치
8 8
제 1항에 있어서, 상기 제어부는, 상기 생성된 간섭신호로부터 파장을 검출하는 파장산출부; 상기 검출된 파장을 기초로 제어신호를 산출하는 제어신호산출부; 및 상기 산출된 제어신호에 따라 상기 반도체 레이저의 온도 또는 상기 반도체 레이저로 인가되는 전류를 조절하는 조절부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 주파수 안정화 레이저 장치
9 9
제 1항에 있어서, 주파수 안정화 레이저 장치는, 상기 방출된 빔을 분할하여 상기 외부반사체 및 상기 간섭신호 생성부로 각각 조사하는 광전달부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 주파수 안정화 레이저 장치
10 10
제 9항에 있어서, 상기 광전달부는, 상기 방출된 빔의 분할하여 분할된 빔의 일부를 상기 외부반사체로 조사하는 제 1광분할기; 상기 분할된 빔의 나머지 일부를 투과시키는 광절연체; 및 상기 투과된 빔을 분할하여 분할된 빔의 일부를 상기 간섭신호 생성부로 조사하고 분할된 빔의 나머지 일부를 외부로 방출하는 제 2광분할기;를 포함하는 것을 특징으로 하는 주파수 안정화 레이저 장치
11 11
반도체 레이저로부터 방출되는 빔의 주파수를 안정화하는 방법에 있어서, 상기 반도체 레이저로부터 방출된 빔의 파장을 검출하는 파장검출단계; 상기 검출된 파장을 기초로 상기 반도체 레이저의 온도 또는 상기 반도체 레이저로 인가되는 전류를 조절하는 단계; 상기 빔의 공명 주파수를 검출하는 주파수검출단계; 상기 빔의 공명 주파수가 검출된 경우에는 상기 빔을 상기 반도체 레이저로 피드백시켜 레이저 빔의 주파수를 안정화시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 주파수 안정화 방법
12 12
삭제
13 13
제 11항에 있어서, 상기 파장검출단계는, 상기 방출된 빔을 제 1빔과 제 2빔으로 분할하는 광분할단계; 상기 제 1빔과 제 2빔을 서로 다른 입사각을 갖도록 시료기판에 조사하는 광조사단계; 상기 시료기판으로부터 반사된 제 1빔과 제 2빔을 검출하는 단계; 및 검출된 제 1빔과 제 2빔으로부터 생성된 간섭신호로부터 파장을 검출하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 주파수 안정화 방법
14 14
제 11항에 있어서, 상기 주파수검출단계는, 상기 방출된 빔을 광공진기로 조사하는 단계; 상기 광공진기로부터 투과된 빔을 검출하는 단계; 및 상기 검출된 빔으로부터 공명 주파수를 검출하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 주파수 안정화 방법
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1 JP05231554 JP 일본 FAMILY
2 JP23515014 JP 일본 FAMILY
3 US08290007 US 미국 FAMILY
4 US20100177795 US 미국 FAMILY
5 WO2009031769 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY
6 WO2009031769 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

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3 JP5231554 JP 일본 DOCDBFAMILY
4 US2010177795 US 미국 DOCDBFAMILY
5 US8290007 US 미국 DOCDBFAMILY
6 WO2009031769 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
7 WO2009031769 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.