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듀얼 형상 방법을 적용한 휴대용 4탐침 면저항 측정장치

  • 기술번호 : KST2015179456
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 박막 시료의 면저항 측정시 시료의 크기와 위치에 관계없이 누구나 쉽고 정확하게 면저항을 측정을 할 수 있는 듀얼 형상(dual configuration)기술을 면저항 측정장치에 적용한 것이다. 이 듀얼 형상 방법의 원리는 시료의 표면에 4 탐침을 접촉시키고, 바깥쪽 두 핀에 전류()를 인가한 후, 안쪽 두 핀에서 전압()을 측정하여 오옴의 법칙에 의해 저항()을 구하는 것과, 4 탐침의 첫 번째 핀과 세 번째 핀에 전류()를 인가한 후, 두 번째 핀과 네 번째 핀에서 전압()을 측정하여 오옴에 법칙에 의해 저항()을 구하여 면저항( [Ω/square])을 구하는 원리이다. 여기서 이다. 본 발명은 이 듀얼 원리를 적용하여 전자회로를 설계한 후, 면저항 측정장치를 제작하여 4 탐침이 시료에 접촉되면 면저항이 자동측정 되도록 한 것을 특징으로 하는 듀얼 형상 방법을 적용한 휴대용 4 탐침 면저항 측정장치에 관한 것이다. 면저항, 4 탐침, 측정장치, 일체형, Single 0026# Dual Configuration, Four-Point Probe
Int. CL G01R 1/073 (2006.01)
CPC G01R 1/073(2013.01) G01R 1/073(2013.01) G01R 1/073(2013.01) G01R 1/073(2013.01)
출원번호/일자 1020070084261 (2007.08.22)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-1020534-0000 (2011.03.02)
공개번호/일자 10-2009-0019947 (2009.02.26) 문서열기
공고번호/일자 (20110309) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.08.22)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 강전홍 대한민국 대전광역시 유성구
2 유광민 대한민국 대전광역시 서구
3 김한준 대한민국 대전광역시 유성구
4 박영태 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 진용석 대한민국 대전광역시 서구 청사로 ***, 청사오피스텔 ***호 세빈 국제특허법률사무소 (둔산동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2007.08.22 수리 (Accepted) 1-1-2007-0605902-81
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2008.09.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2008.10.15 수리 (Accepted) 9-1-2008-0068464-75
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2008.11.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0599221-91
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2009.01.28 수리 (Accepted) 1-1-2009-0053614-68
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2009.02.27 수리 (Accepted) 1-1-2009-0124537-94
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2009.02.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0124536-48
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2009.06.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0271724-86
9 명세서 등 보정서(심사전치)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2009.08.26 보정승인 (Acceptance of amendment) 7-1-2009-0043921-86
10 심사전치출원의 심사결과통지서
Notice of Result of Reexamination		 2009.10.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0412403-54
11 보정각하결정서
Decision of Rejection for Amendment		 2009.10.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0412402-19
12 심사관의견요청서
Request for Opinion of Examiner		 2009.11.09 수리 (Accepted) 7-8-2009-0036451-72
13 등록결정서
Decision to grant		 2011.01.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0052905-76
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
박막 시료의 면저항을 누구나 쉽고 정확하게 측정할 수 있는 듀얼 형상(dual configuration)기술에 있어서, 시료의 표면에 4개의 탐침이 직렬로 배열되는 4 탐침의 프로브를 접촉시키고, 바깥쪽 두 핀에 전류 공급장치로 전류()를 인가하고, 안쪽 두 핀과 연결된 전압 측정장치를 통해 전압()을 측정하여 오옴의 법칙에 의해 저항(Ω)을 구하고, 4 탐침의 첫 번째 핀과 세 번째 핀에 전류공급장치를 연결하여 전류()를 인가한 후, 두 번째 핀과 네 번째 핀에 전압 측정장치를 연결하여 전압()을 측정하고 오옴에 법칙에 의해 저항(Ω)을 구한뒤, 상기 Ra 값과 Rb 값을 듀얼형상방법을 적용한 보정식 Ka 식에 대입하여 면저항((Ω/square)) 을 구하는 것을 포함하여 이루어지는 듀얼 형상 방법을 적용한 휴대용 4 탐침 면저항 측정장치
2 2
제 1항에 있어서, 상기 4 탐침(21)이 형성된 프로브(20)를 시료(10)의 면적에 따라 다수 개 설치하여 측정하고자 하는 여러 위치에서 필요한 간격만큼 이격시키고, 시료의 표면에 4 탐침(21) 프로브(20)를 접촉시켜 동시 또는 순차적으로 면저항(Ω/square)을 측정하는 것을 특징으로 하는 듀얼 형상 방법을 적용한 휴대용 4 탐침 면저항 측정장치
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4 4
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