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레이저 간섭계식 메코메타

  • 기술번호 : KST2015179462
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 레이저 간섭계식 메코메타 및 이를 이용한 거리 측정 방법이 개시된다. 레이저 장치는 소정의 기간 동안 주파수가 일정하게 유지되는 빔을 주파수를 달리하며 방출하고, 방출된 빔 각각의 파장을 산출하여 출력한다. 광학 장치는 레이저 장치가 방출한 빔 각각을 변위광 및 기준광으로 분할하여 변위광을 측정대상물에 투사하고 측정대상물로부터 반사된 변위광과 기준광의 광경로 차이로 인한 간섭무늬를 각각 형성한다. 광검출수단은 광학 장치가 형성한 간섭무늬 각각을 검출한다. 거리산출부는 레이저 장치가 출력한 파장 및 광검출수단이 검출한 간섭무늬 각각을 기초로 상기 측정대상물의 거리를 산출한다. 본 발명에 의하면, 거리 측정에 사용되는 빔의 파장의 크기보다 미세한 크기의 거리까지 정확하게 산출하여 사용되는 빔의 파장의 크기의 한계로 나타나는 오차의 발생을 방지하고 고정밀도로 거리를 측정할 수 있으며, 측정대상물의 초기 위치에 대한 정보 없이도 측정대상물의 거리를 측정할 수 있다. 레이저, 메코메타, 파장, 주파수, 거리, 간섭무늬
Int. CL G01C 3/00 (2009.01) G01B 9/02 (2006.01)
CPC G01B 9/0201(2013.01) G01B 9/0201(2013.01) G01B 9/0201(2013.01)
출원번호/일자 1020070112788 (2007.11.06)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-0941981-0000 (2010.02.04)
공개번호/일자 10-2009-0046564 (2009.05.11) 문서열기
공고번호/일자 (20100211) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.11.06)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김재완 대한민국 대전 유성구
2 엄태봉 대한민국 대전 유성구
3 김종안 대한민국 대전 유성구
4 강주식 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 웰 대한민국 서울특별시 서초구 방배로**길*, *~*층(방배동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2007.11.06 수리 (Accepted) 1-1-2007-0797123-22
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.07.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.08.12 수리 (Accepted) 9-1-2008-0049369-45
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.03.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0128289-05
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.05.25 수리 (Accepted) 1-1-2009-0312150-38
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.05.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0312164-77
7 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2009.09.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0394219-36
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.11.09 수리 (Accepted) 1-1-2009-0687202-19
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.11.09 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2009-0687212-65
10 등록결정서
Decision to grant
2010.01.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0043282-84
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
소정의 기간 동안 주파수가 일정하게 유지되는 빔을 상기 주파수를 달리하며 방출하고, 상기 방출된 빔 각각의 파장을 산출하여 출력하는 레이저 장치; 상기 방출된 빔 각각을 변위광 및 기준광으로 분할하여 상기 변위광을 측정대상물에 투사하고 측정대상물로부터 반사된 상기 변위광과 기준광의 광경로 차이로 인한 간섭무늬를 각각 형성하는 광학 장치; 상기 형성된 간섭무늬 각각을 검출하는 광검출수단; 상기 산출된 파장 및 검출된 간섭무늬 각각을 기초로 상기 측정대상물의 거리를 산출하는 거리산출부;를 포함하되, 상기 레이저 장치는, 상기 빔을 생성하는 반도체 레이저; 상기 생성된 빔의 파장을 검출하기 위한 간섭신호를 생성하는 간섭신호 생성부; 특정 주파수를 공진 주파수로 가지며, 상기 생성된 빔을 조사받고 상기 조사된 빔의 주파수와 상기 공진 주파수가 동일한 경우에는 상기 조사된 빔을 상기 반도체 레이저로 피드백하는 외부반사체; 상기 외부 반사체가 상기 조사된 빔을 피드백한 경우에는 상기 생성된 빔을 외부로 방출하는 광전달부; 및 상기 생성된 간섭신호 및 상기 공진 주파수를 기초로 상기 방출된 빔의 파장을 산출하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계식 메코메타
2 2
제 1항에 있어서, 상기 거리산출부는 다음의 수학식 1 및 수학식 2를 기초로 상기 측정대상물의 거리를 산출하는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계식 메코메타: [수학식 1] [수학식 2] 여기서, L은 측정대상물의 거리이고 m, k는 정수이며, λ1, λ2는 각각 방출된 빔의 파장이며, Φ1, Φ2는 각각 제 1소수 및 제 2소수를 의미한다
3 3
제 2항에 있어서, 상기 거리산출부는 상기 제 1소수 및 제 2소수 각각을 다음의 수학식을 기초로 산출하는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계식 메코메타: [수학식] 여기서, I는 상기 방출된 빔의 세기이고 V(λ)는 상기 검출된 간섭무늬의 세기이며, λ는 상기 방출된 빔의 파장이고 l은 m 또는 m+k이며, Φ는 제 1소수 또는 제 2소수를 의미한다
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삭제
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제 1항에 있어서, 상기 광학 장치는, 상기 방출된 빔을 상기 변위광 및 기준광으로 분할하고, 상기 분할된 변위광을 상기 측정대상물로 투사하고 상기 측정대상물로부터 반사된 변위광을 재입사 받으며, 상기 분할된 기준광을 반사하는 광분할기; 및 상기 반사된 기준광을 상기 광분할기로 조사하여 상기 광분할기에서 상기 재입사된 변위광과 조사된 기준광의 광경로 차이로 인한 간섭무늬를 형성하도록 하는 반사경;을 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계식 메코메타
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제 1항에 있어서, 상기 광학 장치는, 상기 방출된 빔을 상기 변위광 및 기준광으로 분할하는 광분할기; 상기 분할된 기준광을 수신하는 제 1수신부; 상기 측정대상물에 결합되어 상기 변위광을 수신하는 제 2수신부; 및 상기 수신된 변위광과 기준광의 광경로 차이로 인한 간섭무늬를 형성하는 광겹합기;를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계식 메코메타
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8 8
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9 9
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