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밀폐 시료를 챔버에 로딩하여 챔버 내부의 초기 압력을 측정하는 단계;
상기 밀폐시료를 개방시키는 단계; 및
상기 밀폐시료를 개방시킨 후에 챔버 내의 개방 압력을 측정하여 상기 밀폐 시료 내부의 시료 압력을 추출하는 단계를 포함하되,
상기 시료 압력은 보일-샤르의 법칙을 이용하여 추출하는 것을 특징으로 하는 압력 측정 방법
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2
제 1 항에 있어서,
상기 밀폐 시료를 개방시키는 단계는
상기 밀폐시료를 깨트리거나, 상기 밀폐시료에 구멍을 만들어 상기 밀폐시료 내부와 상기 챔버의 압력을 동일하게 유지하는 것을 특징으로 하는 압력 측정 방법
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제 1 항에 있어서,
상기 챔버의 부피, 상기 밀폐시료의 내부 부피 및 외부 부피를 측정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 압력 측정 방법
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제 1 항에 있어서,
상기 초기 압력을 측정하는 단계는
상기 챔버를 기준 압력 이하로 배기하는 단계; 및
상기 배기를 정지하고 초기 압력을 측정하는 단계를 포함하되,
상기 기준 압력은 대기압 이하인 것을 특징으로 하는 압력 측정 방법
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제 1 항에 있어서,
초기 압력을 측정하는 단계는
상기 챔버를 기준 압력이상 압력을 증가시키는 단계; 및
상기 승압을 정지하고 초기압력을 측정하는 단계를 포함하되,
상기 기준압력은 대기압 초과인 것을 특징으로 하는 압력 측정 방법
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6
밀폐 시료를 포함하는 챔버;
상기 챔버의 압력을 측정하는 압력계; 및
상기 챔버에 배치되어 상기 밀폐 시료를 개방시키는 개방기를 포함하되,
상기 밀폐시료의 개폐 여부에 따라 상기 챔버의 압력 변화를 이용하여 밀폐시료의 시료 압력을 추출하는 것을 특징으로 하는 압력 측정 장치
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7
제 6 항에 있어서,
상기 개방기는
상기 밀폐시료를 깨뜨리거나 상기 밀폐시료에 구멍을 뚫는 송곳, 상기 밀폐시료의 뚜껑을 여는 장치, 상기 밀폐시료에 구멍을 뚫는 레이저 중에서 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 압력 측정 장치
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8
제 6항에 있어서,
상기 챔버를 배기시키는 진공 펌프; 및
상기 챔버와 상기 진공 펌프 사이에 배치된 저압 밸브를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 압력 측정 장치
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제 6항에 있어서,
상기 챔버를 승압하는 압력 조절기; 및
상기 챔버와 상기 압력 조절기 사이에 배치된 고압 밸브를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 압력 측정 장치
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