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변위와 변각을 동시에 측정하는 장치

  • 기술번호 : KST2015179480
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 스테이지미러(stage mirror)로 입사 및 반사되는 빛을 변화시키는 수단을 1/4파장판으로 구성하여, 빛의 세기가 감소되어 선명도(contrast)가 떨어지는 것을 방지한, 변위와 변각을 동시에 측정하는 장치에 관한 것이다. 이러한 본 발명의 변위와 변각을 동시에 측정하는 장치는 광원으로 조사된 빛 중 일부는 반사시키고, 일부는 투과시키는 광분할기와, 광분할기를 통과한 빛을 콜리메이티드 빔(collimated beam)으로 만들어 주는 렌즈와, 상기 렌즈를 통과한 빛 중 P-편광을 통과시키고 S-편광은 반사시키는 편광분할기와, 편광분할기를 통과한 빛을 반사시켜 다시 편광분할기로 보내는 스테이지미러와, 편광분할기에 의해 반사되면서 선편광이된 빛의 편광방향을 바꾸어 기준미러로 보내는 1/4파장판과, 상기 편광분할기를 투과한 P-편광과 S-편광 중 일측 편광만을 광검출기측으로 투과시키는 선편광기와, 상기 스테이지미러에 반사되어 되돌아오는 빛을 검출하는 광검출기를 포함하여 구성된 변위와 변각을 동시에 측정하는 장치에 있어서, 상기 편광분할기와 스테이지미러 사이에는 편광분할기를 통과한 빛의 편광 방향을 바꾸어주는 1/4파장판을 설치하여 구성됨을 특징으로 한다. 간섭계, 오토콜리메이터, 1/4파장판
Int. CL G01B 11/00 (2006.01)
CPC G01N 21/211(2013.01) G01N 21/211(2013.01) G01N 21/211(2013.01)
출원번호/일자 1020080048027 (2008.05.23)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-0997948-0000 (2010.11.26)
공개번호/일자 10-2009-0121885 (2009.11.26) 문서열기
공고번호/일자 (20101202) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.05.23)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 강주식 대한민국 대전광역시 유성구
2 김재완 대한민국 대전광역시 유성구
3 엄태봉 대한민국 대전광역시 유성구
4 김종안 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 웰 대한민국 서울특별시 서초구 방배로**길*, *~*층(방배동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.05.23 수리 (Accepted) 1-1-2008-0367536-91
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2009.02.19 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2009.03.18 수리 (Accepted) 9-1-2009-0018818-63
4 보정요구서
Request for Amendment
2010.04.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0147055-32
5 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2010.04.19 수리 (Accepted) 1-1-2010-0249513-65
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.10.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0448305-89
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.10.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0698744-14
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.10.27 수리 (Accepted) 1-1-2010-0698756-51
9 등록결정서
Decision to grant
2010.11.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0536817-30
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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광원(10)으로 조사된 빛 중 일부는 반사시키고, 일부는 투과시키는 광분할기(20)와, 광분할기를 통과한 빛을 콜리메이티드 빔(collimated beam)으로 만들어 주는 렌즈(30)와, 상기 렌즈(30)를 통과한 빛 중 P-편광을 통과시키고 S-편광은 반사시키는 편광분할기(40)와, 편광분할기(40)를 통과한 빛을 반사시켜 다시 편광분할기(40)로 보내는 스테이지미러(60)와, 편광분할기(40)에 의해 반사되면서 선편광된 빛의 편광방향을 바꾸어 기준미러(80)로 보내는 1/4파장판(70)과, 상기 편광분할기(40)를 투과한 P-편광과 S-편광 중 일측 편광만을 광검출기(2)측으로 투과시키는 선편광기(90)와, 상기 스테이지미러에 반사되어 되돌아오는 빛을 검출하는 광검출기(1)를 포함하여 구성된 변위와 변각을 동시에 측정하는 장치에 있어서, 상기 편광분할기(40)와 스테이지미러(60) 사이에는 편광분할기(40)를 통과한 빛의 편광 방향을 바꾸어주는 1/4파장판(50)을 더 설치하여 구성됨을 특징으로 하는 변위와 변각을 동시에 측정하는 장치
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 1/4파장판(50)은 상기 편광분할기(40)를 통과한 빛의 편광 방향인 수평방향에 대하여 22
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