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레이저 광원(11)을 이용한 간섭계(10), 간섭계(10)를 이용하여 검출된 신호를 처리하는 측정부(20)로 를 포함하여 구성되고, 상기 측정부(20)는 간섭계(10)의 빔 스플리터(12)를 통과하여 피사체(13) 및 기준미러(14)에서 각각 반사된 광의 간섭신호를 감지하는 광검출부(21)와, 광검출부(21)를 통해 검출된 신호를 분석하여 처리하는 신호 처리부(22)로 구성된 광간섭계의 측정 시스템에서 상기 신호처리부(22)에서 오차(P)를 보정하는 방법은
측정대상물 상의 임의의 한 픽셀 i에서의 형상 오차 Pi0를 삼각함수의 무한급수의 합으로 나타낸 수학식 3()과, 측정 대상물을 임의의 각도 αj만큼 회전한 측정대상물의 형상오차 Pj를 삼각함수의 무한급수의 합으로 나타낸 수학식 4[ (여기서 cik,와 dik는 각 삼각함수의 계수로서 ,)]를 구하는 단계와,
상기 Pi0값과 Pj값을 수학식 2()을 이용하여 수학식 5[()]로 정리하는 단계와,
상기 측정 대상물의 상부에서 등간격으로 n번 회전하면서 측정한 결과를 모두 더하여 수학식 6( 값을 구하는 단계,
상기 수학식 6에서 삼각함수를 주기적으로 나눠서 더한 값 수학식 8[(ij는 Dij의 실제 측정값)]을 구하는 단계로 포함되어 측정대상물에 대한 측정 결과값(W)으로부터 계통 오차(T)를 제거한 형상 오차(P)를 보정하는 방법에 있어서,
Pi0를 광학계의 형상정보를 나타내는 저니크(Zernike) 계수 xlk와 αj를 미지수로 놓고 해를 구하는 것을 특징으로 하는 회전오차를 감소시킨 광학계 보정 방법
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제 1항에 있어서,
상기 저니크(Zernike) 계수 xlk와 αj를 미지수로 놓고 해를 구하는 것은,
상기 형상오차 P를 저니크(Zernike) 다항식을 이용하여, 수학식 15[,(Rl(r)은 r(radial)방향의 형상을 나타내는 다항식함수이고, 소문자 l은 이 r 방향의 인자, k는 θ (azimuthal) 방향의 인자]로 정의하는 단계와,
상기 저니크(Zernike) 다항식을 이용해서 광축에 대해서 임의의 각도 αj로 회전시킨 측정대상물의 형상을 수학식 16()으로 구하는 단계와,
상기 clk와 dlk를 저니크(Zernike) 다항식의 계수인 xlk로 통합하여 cos(kαj)와 sin(kαj)에 대해서 정리하여 상기 수학식 15의 xlk를 이용해서 수학식 16을 cos(kαj)와 sin(kαj)에 대해서 다시 정리하여 수학식 17()을 구하는 단계와,
상기 수학식 17을 상기 수학식 2에 대입하여 수학식 18()을 구하는 단계와,
상기 18로부터 첫 번째 목적함수를 수학식 19[,(lkj는 Xlkj의 실제 측정값)]로 구하는 단계와,
상기 저니크(Zernike) 계수 xlk에 대한 모든 목적 함수를 0으로 하는 수학식 20()의 편미분 방정식을 정리한 수학식 21()을 구하는 단계와,
상기 측정대상물을 임의의 각도로 회전한 αj 를 구하기 위한 두 번째 목적 함수 수학식 22[,(L은 저니크(Zernike) 계수의 개수)]를 구하는 단계와,
상기 임의의 각도 αj에 대한 목적함수를 0으로 하는 수학식 23()의 편미분 방정식을 정리한 수학식 24()을 구하는 단계를 포함하되,
상기 αj의 초기값(근사치)를 가정한 다음, 상기 수학식 21에 대입하여 와 를 구하는 단계와,
상기 와 를 수학식 24에 대입하여 αj를 구하는 단계와,
상기 , , αj에 변화가 없을 때까지 상기 와 를 구하는 단계와 αj를 구하는 단계를 반복하여 최종 저니크(Zernike) 계수 를 구하는 단계와,
상기 최종 저니크(Zernike) 계수 를 상기 수학식 15에 대입하여 계통오차(T)가 제거된 형상오차(P)를 구하는 것을 특징으로 하는 회전오차를 감소시킨 광학계 보정 방법
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