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초음파를 사용하여 용기부(10)의 내부 압력을 측정하는 장치에 있어서,
상기 용기부(10)의 외벽에 밀착되어 상기 용기부(10)의 내부로 초음파를 출력하는 초음파가진부(20);
상기 용기부(10)의 내벽에 부착되어, 상기 초음파가진부(20)에서 출력된 초음파의 전달 효율을 증대시키는 제1음향 임피던스 정합층(50a);
상기 용기부(10)의 외벽에 밀착되고, 상기 용기부(10) 내부를 진행한 초음파를 수신하는 초음파수신부(30);
상기 용기부(10)의 내벽에 부착되어, 상기 초음파수신부(30)로 수신되는 초음파의 수신 효율을 증대시키는 제2음향 임피던스 정합층(50b);
상기 초음파가진부(20)와 연결되어 상기 용기부(10)의 내부로 출력되는 초음파를 제어하는 제어부(22); 및
상기 제어부(22)와 연결되고, 상기 초음파가진부(20)에서 상기 용기부(10)의 내부로 출력되는 초음파와 상기 초음파수신부(30)에서 수신된 초음파 신호에 기초하여 상기 용기부(10)의 내부 압력을 측정하는 압력측정부(60);를 포함하는 것을 특징으로 하는 음향 임피던스 정합층을 이용한 압력측정장치
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제 1항에 있어서,
상기 초음파가진부(20)와 상기 초음파수신부(30)는 동일한 축선상에 위치하는 것을 특징으로 하는 음향 임피던스 정합층을 이용한 압력측정장치
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제 1항에 있어서,
상기 제 1음향 임피던스 정합층(50a) 또는 상기 제2음향 임피던스 정합층(50b)은 한 개의 층 또는 음향 임피던스가 서로 다른 복수 개의 층으로 구성된 것을 특징으로 하는 음향 임피던스 정합층을 이용한 압력측정장치
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제 1항 또는 제3항에 있어서,
상기 제 1음향 임피던스 정합층(50a) 또는 상기 제2음향 임피던스 정합층(50b)은 상기 용기부(10)의 음향 임피던스 값과 상기 용기부(10)의 내부 기체의 음향 임피던스 값 사이에 해당하는 음향 임피던스 값을 갖는 것을 특징으로 하는 음향 임피던스 정합층을 이용한 압력측정장치
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제 1항에 있어서,
상기 제어부(22)는 상기 초음파가진부(20)에서 출력된 초음파가, 상기 제1음향 임피던스 정합층(50a)과 상기 제2음향 임피던스 정합층(50b) 사이에서 공진 되도록, 상기 초음파가진부(20)를 제어하는 것을 특징으로 하는 음향 임피던스 정합층을 이용한 압력측정장치
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제 1항 또는 제2항에 있어서,
상기 초음파가진부(20) 또는 상기 초음파수신부(30)은 압전 초음파 변환기, 자기변형 초음파 변환기, 전자기 초음파 변환기 또는 전기변형 초음파 변환기인 것을 특징으로 하는 음향 임피던스 정합층을 이용한 압력측정장치
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7
초음파를 사용하여 용기부(10)의 내부 압력을 측정하는 장치에 있어서,
상기 용기부(10)의 외벽에 밀착되어 상기 용기부(10)의 내부로 초음파를 출력하고, 상기 용기부(10)의 내벽에 반사되어 돌아오는 초음파를 수신하는 초음파송수신부(40);
상기 용기부(10)의 내벽에 부착되어, 초음파가 송신되거나 수신되는 경우에 초음파의 전달 효율을 증대시키는 음향 임피던스 정합층(50);
상기 초음파송수신부(40)에 연결되어 상기 용기부(10)의 내부로 출력되는 초음파를 제어하는 제어부(22); 및
상기 제어부(22)와 연결되고, 상기 용기부(10)의 내부로 출력되는 초음파와 상기 초음파송수신부(40)가 수신한 초음파 신호에 기초하여 상기 용기부(10)의 내부 압력을 측정하는 압력측정부(60);를 포함하는 것을 특징으로 하는 음향 임피던스 정합층을 이용한 압력측정장치
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8
제 7항에 있어서,
상기 용기부(10)의 내부에는 상기 초음파송수신부(40)에서 출력된 초음파를 반사시키는 반사판(70)이 더 포함되는 것을 특징으로 하는 음향 임피던스 정합층을 이용한 압력측정장치
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9
제 7항에 있어서,
상기 초음파송수신부(40)는 압전 초음파 변환기, 전기변형 초음파 변환기, 자기변형 초음파 변환기 또는 전자기 초음파 변환기인 것을 특징으로 하는 음향 임피던스 정합층을 이용한 압력측정장치
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제 7항에 있어서
상기 음향 임피던스 정합층(50)은 한 개의 층 또는 음향 임피던스가 서로 다른 복수 개의 층으로 구성된 것을 특징으로 하는 음향 임피던스 정합층을 이용한 압력측정장치
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제 7항 또는 제 10항에 있어서,
상기 음향 임피던스 정합층(50)은 상기 용기부(10)의 음향 임피던스 값과 상기 용기부(10)의 내부 기체의 음향 임피던스 값 사이에 해당하는 음향 임피던스 값을 갖는 것을 특징으로 하는 음향 임피던스 정합층을 이용한 압력측정장치
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12
제 7항에 있어서,
상기 제어부(22)는 상기 초음파송수신부(40)에서 출력되는 초음파가 상기 초음파송수신부(40)와 상기 용기부(10)의 내벽 사이에서 공진을 일으키도록, 상기 초음파송수신부(40)를 제어하는 것을 특징으로 하는 음향 임피던스 정합층을 이용한 압력측정장치
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제 8항에 있어서,
상기 제어부(22)는 상기 초음파송수신부(40)에서 출력되는 초음파가 상기 초음파송수신부(40)와 상기 반사판(70) 사이에서 공진을 일으키도록, 상기 초음파송수신부(40)를 제어하는 것을 특징으로 하는 음향 임피던스 정합층을 이용한 압력측정장치
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