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초음파를 이용한 용기부(10)의 압력을 측정하는 장치에 있어서,
상기 용기부(10)의 내부에 설치되어 소정의 초음파를 출력하는 초음파 가진부(20);
상기 용기부(10)의 내부에 설치되며, 상기 초음파 가진부(20)와 동일 축선상에 놓이는 초음파 수신부(30);
상기 초음파 가진부(20)에서 출력되는 초음파의 주파수 및 신호파형을 제어하기 위한 제어부(70); 및
상기 초음파 수신부(30)에서 수신된 초음파 신호와 상기 초음파 가진부(20)에서 출력된 초음파 신호에 기초하여 상기 용기부(10)의 내부 압력을 측정하는 압력측정부(80);를 포함하는 것을 특징으로 하는 음향 임피던스 변화를 이용한 압력측정장치
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제 1항에 있어서,
상기 초음파 가진부(20) 또는 상기 초음파 수신부(30)는 압전 초음파 변환기, 전기변형 초음파 변환기, 자기변형 초음파 변환기 또는 전자기 초음파 변환기인 것을 특징으로 하는 음향 임피던스 변화를 이용한 압력측정장치
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제 1항에 있어서,
상기 제어부(70)는 상기 초음파 가진부(20)에서 출력된 초음파가 상기 초음파 가진부(20)와 상기 초음파 수신부(30) 사이에서 공진을 일으키도록, 상기 초음파 가진부(20)를 제어하는 것을 특징으로 하는 음향 임피던스 변화를 이용한 압력측정장치
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초음파를 이용한 용기부(10)의 압력을 측정하는 장치에 있어서,
상기 용기부(10)의 일측 내부에 설치되어 소정의 초음파를 출력하고, 상기 용기부(10)의 내부를 진행한 초음파를 수신하는 초음파 송수신부(40);
상기 초음파 송수신부(40)와 연결되어, 상기 초음파 송수신부(40)에서 출력되는 초음파의 주파수 및 신호파형을 제어하기 위한 제어부(70); 및
상기 수신된 초음파 신호와 상기 용기부(10) 내부로 출력된 초음파 신호에 기초하여 상기 용기부(10)의 내부 압력을 측정하는 압력측정부(80);를 포함하는 것을 특징으로 하는 음향 임피던스 변화를 이용한 압력측정장치
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제 4항에 있어서,
상기 초음파 송수신부(40)에서 출력된 상기 초음파를 반사시키기 위한 반사판(100)이 상기 용기부(10)의 내부에 더 포함되는 것을 특징으로 하는 음향 임피던스 변화를 이용한 압력측정장치
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제 4항에 있어서,
상기 초음파 송수신부(40)는 압전 초음파 변환기, 자기변형 초음파 변환기, 전기변형 초음파 변환기 또는 전자기 초음파 변환기인 것을 특징으로 하는 음향 임피던스 변화를 이용한 압력측정장치
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제 4항에 있어서,
상기 제어부(70)는 상기 초음파 송수신부(40)에서 출력되는 초음파가 상기 초음파 송수신부(40)와 상기 용기부(10)의 내벽 사이에서 공진을 일으키도록, 상기 초음파 송수신부(40)를 제어하는 것을 특징으로 하는 음향 임피던스 변화를 이용한 압력측정장치
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8
제 5항에 있어서,
상기 제어부(70)는 상기 초음파 송수신부(40)에서 출력되는 초음파가 상기 초음파 송수신부(40)와 상기 반사판(100) 사이에서 공진을 일으키도록, 상기 초음파 송수신부(40)를 제어하는 것을 특징으로 하는 음향 임피던스 변화를 이용한 압력측정장치
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