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수용체가 나노 갭 전극의 표면에 수식화된 나노 갭 센서와,
분석하고자 하는 용액을 도입하기 위한 시료 유입구와, 상기 시료 유입구에 연결되고, 상기 시료 유입구를 통해 도입된 용액의 이동통로를 제공하는 마이크로 채널과, 상기 마이크로채널의 말단에 배치된 시료 배출구가 형성된 마이크로플루이딕 칩을 포함하고,
상기 마이크로플루이딕 칩의 상부에 상기 나노 갭 센서가 위치하고, 상기 마이크로플루이딕 칩의 마이크로채널을 통해 이동하는 샘플이 상기 나노 갭 센서에 수식화된 수용체와 접촉하도록 배치된, 나노 갭 소자의 실용적 구동을 위한 마이크로 플루이딕 시스템
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제1항에 있어서, 상기 시료 유입구가 3개 이상의 복수개로 구비되고, 그 중 어느 하나는 세정액의 유입구이고, 다른 하나는 상기 수용체에 특이적으로 결합하는 기질을 함유하는 샘플 용액의 유입구이고, 다른 하나는 상기 기질에 특이적으로 결합하는 신호생성물질의 유입구인 것을 특징으로 하는, 나노 갭 소자의 실용적 구동을 위한 마이크로 플루이딕 시스템
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제1항에 있어서, 상기 시료 유입구가 4개 이상의 복수개로 구비되고, 그 중 어느 하나는 샘플용액을 공급하기 전에 세정을 위한 세정액의 유입구이고, 다른 하나는 상기 수용체에 특이적으로 결합하는 기질을 함유하는 샘플 용액의 유입구이고, 다른 하나는 상기 기질에 특이적으로 결합하는 신호생성물질의 유입구이고, 또 다른 하나는 샘플 용액을 공급한 후 최종적 세정을 위한 세정액의 유입구이고, 인 것을 특징으로 하는, 나노 갭 소자의 실용적 구동을 위한 마이크로 플루이딕 시스템
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제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 시료 유입구의 각각에, 용액을 일정한 패턴으로 공급하기 위한 프로그램화된 흐름조절 멀티 펌프가 연결된, 나노 갭 소자의 실용적 구동을 위한 마이크로 플루이딕 시스템
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기판의 표면에, 분석하고자 하는 용액을 도입하기 위한 시료 유입구와, 상기 시료 유입구에 연결되고, 상기 시료 유입구를 통해 도입된 용액의 이동통로를 제공하는 마이크로 채널과, 상기 마이크로채널의 말단에 배치된 시료 배출구를 양각으로 형성하는 제1 단계와;
상기 양각틀에 고분자를 주입하고 고형화시킨 후 상기 고분자를 이형하여 마이크로 플루이딕을 제조하는 제2 단계와;
상기 마이크로 플루이딕 칩의 표면을 플라즈마 방전을 이용하여 표면처리하는 제3 단계와,
수용체가 나노 갭 전극의 표면에 수식화된 나노 갭 센서를 상기 마이크로 플루이딕 칩의 상부에 본딩하는 제4 단계로 이루어진, 마이크로 플루이딕 시스템의 제조방법
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