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유연성 기판에 길이방향으로 긴 스트링(string)형태의 하부금속배선을 프린팅하는 단계;
상기 하부금속배선 상부에 복수의 저항형 온도센싱 박막이 서로 이격되어 상기 하부금속배선의 길이방향으로 배열되도록 저항형 온도센싱 박막을 프린팅하는 단계; 및
상기 복수의 저항형 온도센싱 박막 상부에 상기 하부금속배선과 통전되지 않으며, 상기 복수의 저항형 온도센싱 박막별로, 상부금속배선을 프린팅하는 단계;
를 포함하여 제조되는 유연성 박막 어레이형 온도센서의 제조방법
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제 1항에 있어서,
상기 하부금속배선은 다수개(M개, M003e#1의 자연수)의 길이방향으로 긴 스트링(string)형태의 금속배선으로 구성되어,
상기 하부금속배선을 구성하는 다수개의 금속배선이 상기 길이방향에 수직인 수평방향으로 일정거리 각각 이격되어 나란하게 형성되도록 프린팅되고,
상기 다수개의 금속배선 상부에 복수의 저항형 온도센싱 박막이 상기 하부금속배선의 길이방향의 행(row) 및 상기 수평방향의 열(column)로 2차원 배열되도록 프린팅되고,
상기 상부금속배선은 다수개(N개, N003e#2의 자연수)의 상기 수평방향으로 긴 스트링(string)형태의 금속배선으로 구성되어,
상기 상부금속배선을 구성하는 각 금속배선은 상기 저항형 온도센싱 박막의 2차원 배열중 각 열(column)을 구성하는 저항형 온도센싱 박막의 상부로 프린팅되는 것을 특징으로 하는 유연성 박막 어레이형 온도센서의 제조방법
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제 1항 또는 제 2항에 있어서,
상기 상부금속배선, 상기 저항형 온도센싱 박막 및 상기 하부금속배선의 프린팅은 스크린 프린팅, 잉크젯 프린팅, 또는 이들의 조합에 의한 프린팅인 것을 특징으로 하는 유연성 박막 어레이형 온도센서의 제조방법
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제 3항에 있어서,
상기 상부금속배선 및 상기 하부금속배선은 은, 알루미늄, ITO, Cu-C 또는 이들의 혼합물을 함유하며,
상기 저항형 온도센싱 박막은 열저항물질, 압저항물질 또는 이들의 혼합물을 함유하는 것을 특징으로 하는 유연성 박막 어레이형 온도센서의 제조방법
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제 1항 또는 제 2항의 제조방법으로 제조되고 임의의 형상에 부착되어 1차원 또는 2차원 온도 분포를 측정하는 유연성 박막 어레이형 온도센서
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