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가스통(200)으로 가스를 공급하는 가스 공급 장치(100)에 있어서,
상기 가스 공급 장치(100)는
연결부위를 제공하는 주입부(210)가 돌출형성되되, 상기 주입부(210) 내부와 가스가 공급되어 저장되는 공간을 선택적으로 연통하는 개폐밸브(220)가 형성된 가스통(200);
가스가 저장되는 가스저장부(110);
상기 가스통(200)의 하부에 구비되는 저울(120);
제1포트(131)가 상기 가스저장부(110)와 연결되는 제1배관(141)과 연결되고, 제2포트(132)가 상기 가스통(200)과 연결되는 제2배관(142)과 연결되며, 제3포트(133)가 진공펌프(190)가 연결되는 제3배관(143)과 연결되는 연결수단(130);
상기 제1배관(141), 제2배관(142) 및 제3배관(143)에 각각 형성되는 제1밸브(151), 제2밸브(152) 및 제3밸브(153);
상기 제2배관(142)과 가스통(200)의 주입부(210)를 연결하여 상기 개폐밸브(220)의 작동에 따라 상기 제2배관(142)을 통해 이송된 가스가 상기 가스통(200) 내부로 유입되도록 하거나 외부로 배출되도록 하는 가스배출수단(160); 을 포함하여 형성되는 것을 특징으로 하는 가스 공급 장치
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제1항에 있어서,
상기 가스배출수단(160)은
상기 개폐밸브(220)가 개방되는 경우에, 상기 제2배관(142)으로부터 유입된 가스가 상기 가스통(200) 내부로 이동되도록 하는 제1유로(161); 및 상기 주입부(210)에 삽입되는 측이 상기 제1유로(161)의 일정 영역을 감싸도록 형성되고, 타측 단부가 외주 방향으로 돌출형성되어 상기 개폐밸브(220)가 폐쇄되는 경우에, 상기 제1유로(161)를 통해 유입된 가스가 배출되는 제2유로(162); 가 형성되고,
상기 제2유로(162)의 돌출된 영역 단부는 배출밸브(154)가 형성된 제4배관(144)이 연결되는 것을 특징으로 하는 가스 공급 장치
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제2항에 있어서,
상기 제4배관(144)은 배출가스저장부(166)가 더 형성되는 것을 특징으로 하는 가스 공급 장치
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제3항에 있어서,
상기 가스배출수단(160)은 상기 제2유로(162)가 감싸지 않는 제1유로(161) 내부로 공기를 공급하는 공기공급부(167)가 형성되는 것을 특징으로 하는 가스 공급 장치
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제2항에 있어서,
상기 가스배출수단(160)은 일측이 상기 주입부(210)에 내부에 삽입되는 깊이를 조절하며 체결이 용이하도록 외주면에 방사형으로 돌출되는 밀폐플랜지(163)가 형성되고,
상기 주입부(210)의 외주면에 형성된 수나사와 맞물리는 암나사가 내주면에 형성되며, 체결시 상기 밀폐플랜지(163)를 주입부(210) 내측방향으로 압박하도록 중심을 향해 돌출되는 걸림턱(165)이 형성된 밀폐형체결너트(164)가 더 형성되는 것을 특징으로 하는 가스 공급 장치
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제2항에 있어서,
상기 가스저장부(110)는 상기 제1배관(141)과 탈착가능하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 가스 공급 장치
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제2항에 있어서,
상기 가스 공급 장치(100)는 복수개의 가스통(200)으로 공급되는 가스를 분배하는 멀티분배기(170)가 더 형성되고, 상기 가스배출수단(160)은 상기 멀티분배기(170)와 가스통(200) 사이에 각각 형성되는 것을 특징으로 하는 가스 공급 장치
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제1항에 있어서,
상기 가스 공급 장치(100)는 상기 가스통(200)의 중량을 측정하는 저울(120)의 하부 또는 상기 가스저장부(110)의 하부에 높이조절수단(180)이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 가스 공급 장치
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제4항에 의한 가스 공급 장치의 작동 방법에 있어서,
상기 가스 공급 장치의 작동 방법은
S110) 상기 가스 공급 장치(100) 내부가 진공 상태가 되도록 상기 진공펌프(190)를 작동하는 진공펌프(190) 작동 단계;
S120) 상기 제1밸브(151), 제2밸브(152), 및 배출밸브(154)를 개방하되, 상기 제3밸브(153) 및 가스통(200)의 개폐밸브(220)는 폐쇄하여 상기 가스저장부(110)에 저장된 가스가 상기 제1배관(141), 연결수단(130), 제2배관(142), 상기 가스배출수단(160)의 제1유로(161) 및 제2유로(162)를 순차적으로 통과하여 배출되도록 하는 가스 배출 단계; 및
S130) 상기 제3밸브(153)를 폐쇄하고, 상기 가스통(200)의 개폐밸브(220)를 개방하여 상기 가스통(200) 내부로 가스가 공급되는 가스 주입 단계; 가 포함되는 것을 특징으로 하는 가스 공급 장치의 작동 방법
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제9항에 있어서,
상기 가스 공급 장치의 작동 방법은
S140) 상기 공기공급부(167)를 작동하여 상기 공기공급부(167)를 통해 공급된 공기가 상기 가스배출수단(160)의 제1유로(161) 및 제2유로(162)를 통해 배출되도록 함으로써 상기 가스배출수단(160) 내부를 청소하는 청소 단계; 가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 가스 공급 장치의 작동 방법
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제10항에 있어서,
상기 가스 공급 장치의 작동 방법은
여러 종류의 가스를 순차적으로 공급하는 경우에 상기 진공펌프(190) 작동 단계 내지 가스 주입 단계가 반복 수행되되,
S150) 상기 진공펌프(190) 작동 단계 이후에, 상기 제1밸브(151)를 폐쇄하고 다른 가스가 저장된 가스저장부(110)를 연결하는 가스저장부(110) 재연결 단계; 가 수행되는 것을 특징으로 하는 가스 공급 장치의 작동 방법
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제9항에 있어서,
상기 가스 배출 단계에서 상기 제1배관(141), 또는 제2배관(142)은 가열되는 것을 특징으로 하는 가스 공급 장치의 작동 방법
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