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음파를 이용한 오염입자 집속장치 및 집속방법

  • 기술번호 : KST2015179555
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반도체 디스플레이 공정에서 발생하는 오염입자를 음파를 이용해 집속하고 선별 및 분리하는 장치 및 방법에 관한 것으로, 본 발명의 이용해 의하여 오염입자 측정장치의 효율을 극대화시킬 수 있다. 음파, 트랜스듀서, 반사체, 오염입자, 입자 측정기, 선별, 분리, 집속
Int. CL H01L 21/00 (2006.01)
CPC H01L 21/67017(2013.01) H01L 21/67017(2013.01)
출원번호/일자 1020090029361 (2009.04.06)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-1036442-0000 (2011.05.17)
공개번호/일자 10-2010-0111012 (2010.10.14) 문서열기
공고번호/일자 (20110524) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.04.06)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 강상우 대한민국 서울특별시 용산구
2 윤주영 대한민국 서울특별시 양천구
3 신용현 대한민국 대전광역시 유성구
4 안봉현 대한민국 대전광역시 유성구
5 조승현 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김종관 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
3 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.04.06 수리 (Accepted) 1-1-2009-0205385-73
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2010.12.22 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.01.18 수리 (Accepted) 9-1-2011-0004947-20
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.01.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0040874-12
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.03.07 수리 (Accepted) 1-1-2011-0162116-14
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.03.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0162080-69
7 등록결정서
Decision to grant
2011.03.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0172009-63
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
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번호 청구항
1 1
삭제
2 2
오염입자가 유입되는 유입(110)구 및 오염입자가 유출되는 유출구(120)가 형성된 배출관(100); 음파를 발생시키는 트랜스듀서(210); 상기 트랜스듀서(210)에 연결되고, 오염입자가 통과하는 상기 배출관(100)의 특정 횡단면상에 음파를 발산하는 음파 발산면(220S)이 상기 배출관(100)의 중심축으로부터 상기 배출관(100)의 횡방향으로 이격되도록 설치되는 음파 발산부(220); 상기 음파 발산면(220S)으로부터 발산된 음파를 상기 음파 발산면(220S)으로 반사시키기 위하여, 반사면(300S)이 상기 배출관(100)의 중심축으로부터 상기 음파 발산면(220S)에 대향되는 방향에 위치하도록 설치되는 반사체(300);를 포함하여 구성되고, 상기 음파 발산부(220)는 전면 정압층(221)을 갖는 것을 특징으로 하는 음파를 이용한 오염입자 집속장치
3 3
오염입자가 유입되는 유입(110)구 및 오염입자가 유출되는 유출구(120)가 형성된 배출관(100); 음파를 발생시키는 트랜스듀서(210); 상기 트랜스듀서(210)에 연결되고, 오염입자가 통과하는 상기 배출관(100)의 특정 횡단면상에 음파를 발산하는 음파 발산면(220S)이 상기 배출관(100)의 중심축으로부터 상기 배출관(100)의 횡방향으로 이격되도록 설치되는 음파 발산부(220); 상기 음파 발산면(220S)으로부터 발산된 음파를 상기 음파 발산면(220S)으로 반사시키기 위하여, 반사면(300S)이 상기 배출관(100)의 중심축으로부터 상기 음파 발산면(220S)에 대향되는 방향에 위치하도록 설치되는 반사체(300);를 포함하여 구성되며, 상기 트랜스듀서(210)는 파우워(power) 및 주파수를 조절할 수 있는 가변 트랜스듀서이고, 상기 가변 트랜스듀서에는 상기 배출관(100)의 특정 횡단면 방향으로 길이 조절 가능한 일자형의 횡방향 음파 전달체(230)가 연결되고, 상기 횡방향 음파 전달체(230)에는 상기 음파 발산면(220S)이 형성되는 음파 발산부(220)가 수직하게 연결되는 것을 특징으로 하는 음파를 이용한 오염입자 집속장치
4 4
제 3항에 있어서, 상기 음파 발산부(220)는 상기 음파 발산면(220S)의 넓이 조절이 가능한 것을 특징으로 하는 음파를 이용한 오염입자 집속장치
5 5
제 2항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 트랜스듀서(210)는 상기 배출관(100)의 길이방향을 따라 병렬로 다수개 설치되고, 상기 반사체(300)는 상기 트랜스듀서(210)에 대응하여 상기 배출관(100)의 길이방향을 따라 병렬로 다수개 설치되는 것을 특징으로 하는 음파를 이용한 오염입자 집속장치
6 6
제 2항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 음파 발산면(220S) 및 반사면(300S)은 상호 평행하게 설치되는 평면 형상인 것을 특징으로 하는 음파를 이용한 오염입자 집속장치
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제 6항의 오염입자 집속장치를 이용한 오염입자 집속방법으로서, 상기 음파 발산부(220)의 음파 발산면(220S)과 상기 반사체(300)의 반사면(300S) 사이의 거리를 d라 할때 상기 음파 발산부(220)는 상기 반사체(300)를 향하여 파장 λ는 (1/2)nλ=d인 횡파를 발산하는 것을 특징으로 하는 음파를 이용한 오염입자 집속방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업기술개발(산자부) 한국표준과학연구원 국가연구개발사업 실시간 센서 개발 평가 플랫폼 구축 및 평가절차 확립