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기판 상부에 원자층증착법에 의한 금속 박막의 제조방법에 있어서,
a) 기판에 하나 이상의 리간드에 배위 결합하는 금속을 포함하는 유기금속화합물 전구체를 함유하는 가스를 공급하는 단계;
b) 불활성 가스로 퍼징(purging)하는 단계;
c) 촉매로 기능하는 아민화합물 및 수소를 함유하는 가스를 공급하는 단계; 및
d) 불활성 가스로 퍼징(purging)하는 단계;
를 포함하며,
상기 a) 내지 d)를 일 싸이클로 하여, 상기 싸이클을 반복 수행하여 저온의 기판에 금속 박막을 형성하는 것을 특징으로 하는 금속 박막의 제조방법
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제 1 항에 있어서,
상기 기판의 저온은 상온 내지 150℃인 것을 특징으로 하는 금속 박막의 제조방법
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제 1 항에 있어서,
상기 유기금속화합물 전구체의 금속은 2족 내지 14족의 금속인 것을 특징으로 하는 금속 박막의 제조방법
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제 4 항에 있어서,
상기 유기금속화합물 전구체의 금속은 Mg, Ca, Sr, Ba, Y, La, Ce, Sm, Tb, Er, Yb, Lu, Ti, Zr, Hf, Fe, Co, Ni, Ru, Ir, Rh, Cu, Al, Sn, W 및 Pb로 이루어진 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 금속 박막의 제조방법
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제 1 항에 있어서,
상기 리간드는 β-디케토네이트, 아민, 알콕사이드 및 탄화수소로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 하는 금속 박막의 제조방법
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7
제 6 항에 있어서,
상기 β-디케토네이트는 아세틸아세토네이트, 헥사플루오로아세틸아세토네이트, 트리플루오로아세틸아세토네이트, 테트라메틸헵탄디오네이트, 플루오로디메틸옥탄디오네이트 및 헵타플루오로-디메틸옥탄디오네이트로 이루어진 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 금속 박막의 제조방법
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8
제 1 항에 있어서,
상기 아민화합물은 1급 아민 화합물, 2급 아민 화합물 및 3급 아민 화합물로 이루어진 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 금속 박막의 제조방법
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제 8 항에 있어서,
상기 아민화합물은 N,N-디메틸에틸아민, 에틸아민, 프로필아민, N,N-디메틸프로필아민, 부틸아민, N,N-디메틸부틸아민, 디에틸아민, N,N-디에틸메틸아민, 트리에틸아민, 시클로헥실아민, N-메틸시클로헥실아민, N,N-디메틸시클로헥실아민, 아닐린, N-메틸아닐린, N,N-디메틸아닐린, 피롤리딘, N-메틸피롤리딘, 피페리딘, N-메틸피페리딘, 메틸피리딘, 에틸피리딘, 피리딘으로 이루어진 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 금속 박막의 제조방법
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제 9 항에 있어서,
상기 아민화합물은 트리에틸아민인 것을 특징으로 하는 금속 박막의 제조방법
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