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제1기판상에 다수의 탄소나노튜브를 상향으로 성장시켜 탄소나노튜브층을 형성하는 단계;
상기 탄소나노튜브층의 측면에 접착 부재를 부착시킨 후 횡방향으로 잡아당겨 탄소나노튜브 시트를 형성하는 단계;
상기 탄소나노튜브 시트를 제2기판에 피복하는 단계;
상기 제2기판에 피복된 탄소나노튜브 시트를 알코올 처리하여 접착하는 단계;
를 포함하는 탄소나노튜브 필름 제조 방법
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제1항에 있어서,
상기 탄소나노튜브는 기판상에 열 화학기상증착법에 의해 제1기판에 상향으로 성장되는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 필름 제조 방법
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3 |
3
제1항에 있어서,
상기 탄소나노튜브는 단일, 이중 또는 다중벽 탄소나노튜브 중 어느 하나 이상인 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 필름 제조 방법
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4 |
4
제1항에 있어서,
상기 탄소나노튜브의 길이는 0
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5 |
5
제1항에 있어서,
상기 접착 부재를 잡아당기는 방향은 제1기판을 기준으로 1~60°인 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 필름 제조 방법
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6
제5항에 있어서,
상기 접착 부재를 잡아당기는 속도는 0
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7
제1항에 있어서,
상기 알코올은 에탄올 또는 메탄올인 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 필름 제조 방법
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8
제1항에 있어서,
상기 알코올 처리는 상기 탄소나노튜브 시트에 알코올을 분사하거나 침전 후 건조시키는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 필름 제조 방법
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9
제1항에 있어서,
상기 알코올 처리 후 탄소나노튜브 시트의 표면에 바인더(Binder)나 탑 코팅(Top Coating) 하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 필름 제조 방법
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10
제1항에 있어서,
상기 제2기판은 유리, OHP 필름 또는 웨이퍼 중 어느 하나 이상인 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 필름 제조 방법
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11
제1항에 있어서,
상기 접착 부재의 길이는 상기 탄소나노튜브의 측면 길이와 동일하거나 긴 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 필름 제조 방법
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제1항의 제조 방법에 의하여 제조되는 탄소나노튜브 필름
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