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4-탐침이 구비되고, 박막 재료에 접촉 설치되는 4-탐침 프로브;
상기 4-탐침 프로브에 전류를 인가하는 전류 인가수단;
상기 4-탐침 프로브로부터 전압을 측정하는 전압 측정수단;
박막 재료의 비저항(ρ) 정보가 기록되는 메모리;
상기 전류 인가수단에서 인가되는 전류와 상기 전압 측정수단에서 측정된 전압을 근거로 상기 박막 재료의 면저항(Rs)을 연산한 후 하기의 식1에 따라 박막 재료의 두께를 연산 처리하는 연산수단;
을 구비하여 이루어지는 박막 두께 측정 장치
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제 1항에 있어서,
상기 면저항 연산은,
박막 재료의 표면에 일렬로 정렬된 4-탐침을 접촉시키고, 바깥쪽 두 핀(A, D)에 직류전류를 인가한 후,
안쪽 두 핀(B, C)에서 직류전압을 측정하여 저항(Ra)을 구하고,
하기의 식2로 표현되는 면저항이 연산 처리되는 것을 특징으로 하는 박막 두께 측정 장치
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제 1항에 있어서,
상기 면저항 연산은,
박막 재료의 표면에 일렬로 정렬된 4-탐침을 접촉시키고, 바깥쪽 두 핀(A, D)에 직류전류를 인가한 후, 안쪽 두 핀(B, C)에서 직류전압을 측정하여 저항(Ra)을 구하고,
일렬로 정렬된 4-탐침의 첫 번째 핀(A)과 세 번째 핀(C)에 직류전류를 인가한 후 두 번째 핀(B)과 네 번째 핀(D)에서 직류전압을 측정하여 저항(Rb)을 구하고,
상기 저항(Ra,Rb)을 하기의 식3으로 표현되는 보정계수(ka)에 적용하여 계산한 후,
하기의 식4로 표현되는 면저항이 연산 처리되는 것을 특징으로 하는 박막 두께 측정 장치
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제 1항에 있어서,
연산된 박막 재료의 두께를 표시하는 디스플레이;가 더 구비되는 박막 두께 측정 장치
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제 1항에 있어서,
상기 연산수단은 박막 두께 측정 장치에 설정된 측정 시간마다 주기적으로 박막 재료의 두께를 측정하도록 구성된 것을 특징으로 하는 박막 두께 측정 장치
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