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테라헤르츠파를 이용한 물체 검사장치

  • 기술번호 : KST2015179587
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 물체 검사장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 테라헤르츠파를 이용하여 피검물에 대해 투과도 등의 특성을 측정하거나 피검물의 이미지를 생성하는 장치에 관한 것이다. 이러한 본 발명은 전기적인 장치를 기반으로 하여 간단한 구성을 가지면서 장치 제작에 소요되는 비용을 줄여 제작원가를 낮출 수 있고, 측정시간의 단축 및 측정결과의 정확도 향상과 더불어 우수한 이미징 결과를 얻을 수 있는 소형의 실시간 검사장치를 제공하는데 그 목적이 있다. 상기한 목적을 달성하기 위해, 테라헤르츠파를 발생시켜 피검물에 입사하는 송신기(Tx)와; 상기 송신기로부터 입사되어 피검물을 투과한 테라헤르츠파를 수신하여 IF 신호로 변조된 측정신호로 출력하는 수신기(Rx)와; 상기 송신기와 수신기에서 입력되는 신호를 변환하여 기준신호를 발생시키는 기준신호발생기와; 상기 수신기의 측정신호와 기준신호발생기의 기준신호를 입력받아 상기 측정신호로부터 검출된 진폭 신호와 위상 신호를 출력하는 락인 증폭기와; 상기 락인 증폭기로부터 수집되는 진폭 신호와 위상 신호 중 하나 이상을 사용하여 피검물의 고유 정보를 분석하기 위한 분석장치를 포함하는 테라헤르츠파를 이용한 물체 검사장치가 개시된다.테라헤르츠, 전자기파, 이미징, 송신기, 수신기, 기준신호발생기
Int. CL G01B 21/00 (2006.01) G01N 23/04 (2006.01)
CPC G01N 23/04(2013.01) G01N 23/04(2013.01) G01N 23/04(2013.01) G01N 23/04(2013.01)
출원번호/일자 1020090107343 (2009.11.09)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-1128876-0000 (2012.03.14)
공개번호/일자 10-2011-0050812 (2011.05.17) 문서열기
공고번호/일자 (20120326) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.11.09)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 서대철 대한민국 대전광역시 유성구
2 권일범 대한민국 대전광역시 유성구
3 윤동진 대한민국 대전광역시 유성구
4 장진석 대한민국 부산광역시 영도구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 한라특허법인(유한) 대한민국 서울시 서초구 강남대로 ***(서초동, 남강빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.11.09 수리 (Accepted) 1-1-2009-0685321-97
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.06.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.07.14 수리 (Accepted) 9-1-2011-0059090-85
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.07.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0402118-15
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.09.20 수리 (Accepted) 1-1-2011-0729664-11
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.09.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0729662-19
7 등록결정서
Decision to grant
2012.03.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0136834-15
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
9 대리인선임신고서
Report on Appointment of Agent
2015.12.23 수리 (Accepted) 1-1-2015-5033520-42
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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테라헤르츠파를 발생시켜 피검물(1)에 입사하는 송신기(10)와;상기 송신기(10)로부터 입사되어 피검물(1)을 투과한 테라헤르츠파를 수신하여 IF 신호로 변조된 측정신호로 출력하는 수신기(20)와;상기 송신기(10)와 수신기(20)에서 입력되는 신호를 변환하여 기준신호를 발생시키는 기준신호발생기(30)와;상기 수신기(20)의 측정신호와 기준신호발생기(30)의 기준신호를 입력받아 상기 측정신호로부터 검출된 진폭 신호와 위상 신호를 출력하는 락인 증폭기(40)와;상기 락인 증폭기(40)로부터 수집되는 진폭 신호와 위상 신호 중 하나 이상을 사용하여 피검물의 고유 정보를 분석하기 위한 분석장치(50);를 포함하며, 상기 송신기(10)는, 전원을 입력받아 구동 전력을 공급하는 파워 박스(11)와;상기 구동 전력을 공급받아 전자기파를 발생시켜 출력하는 발진기(12)와;상기 구동 전력을 공급받아 상기 발진기(12)에서 입력되는 전자기파를 증폭하는 파워 증폭기(13)와;상기 파워 증폭기(13)에서 입력되는 전자기파를 정해진 배수로 증폭하여 피검물(1)에 입사되는 테라헤르츠파로 출력하는 주파수 배율기(14);를 포함하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파를 이용한 물체 검사장치
4 4
청구항 3에 있어서,상기 수신기(20)는,전원을 입력받아 구동 전력을 공급하는 파워 박스(21)와;상기 구동 전력을 공급받아 전자기파를 발생시켜 출력하는 발진기(22)와;상기 구동 전력을 공급받아 상기 발진기(22)에서 입력되는 전자기파를 증폭하는 파워 증폭기(23)와;상기 파워 증폭기(23)에서 입력되는 전자기파를 정해진 배수로 증폭하는 주파수 배율기(24)와;상기 피검물(1)을 투과하여 수신되는 테라헤르츠파를 상기 주파수 배율기(24)에서 출력되는 전자기파와 혼합하여 IF 신호로 변환하는 서브 하모닉 믹서(25)와;상기 서브 하모닉 믹서(25)에서 입력되는 IF 신호를 증폭하는 IF 증폭기(26)와;상기 IF 증폭기(26)에서 입력되는 증폭된 신호를 필터링하여 설정된 주파수 대역의 측정신호로 출력하는 대역통과필터(27);를 포함하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파를 이용한 물체 검사장치
5 5
청구항 3 또는 청구항 4에 있어서,상기 발진기(12,22)는 위상이 고정된 전자기파를 발생시켜 출력하는 위상 고정 발진기인 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파를 이용한 물체 검사장치
6 6
청구항 5에 있어서,상기 위상 고정 발진기는 유전체 공진기를 이용한 다이오드 발진기인 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파를 이용한 물체 검사장치
7 7
청구항 3 또는 청구항 4에 있어서,상기 발진기(12,22)의 출력 측에 기준신호발생기(30)가 연결되어, 상기 발진기(12,22)에서 출력되는 전자기파 신호가 기준신호발생기(30)로 입력되어 기준신호를 발생시키는데 사용되는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파를 이용한 물체 검사장치
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