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샘플 홀더 이동 시스템에 있어서,끝단 둘레에 나사가 구비된 워엄 기어;상기 워엄기어와 연결되어 상기 워엄기어를 상기 워엄기어 길이방향 축을 중심으로 회전시키는 구동부;하단에 상기 워엄기어가 결합되고, 일측이 개방되고 일정 곡률로 만곡된 내부 공간을 구비하는 기저단; 원호형태로 구비되고, 상기 일정곡률로 만곡된 안쪽면과 상기 일정곡률로 만곡되고 톱니를 구비한 바깥면을 포함하고, 상기 기저단의 내부공간에 삽입되어 상기 톱니와 상기 워엄기어의 상기 나사가 맞물리게 되는 원호형스테이지;상기 원호형 스테이지의 안쪽면 일부에 결합되어 고정되고, 샘플홀더를 장착하는 장착부재;상기 기저단의 내부공간 양쪽 측면 각각에 상기 일정곡률을 따라 형성된 제 1 볼 가이드 홀;상기 원호형스테이지의 양쪽 측면 각각에 제 1 볼 가이드 홀과 대향되게 형성된 제 2 볼 가이드 홀;상기 제 1 볼 가이드 홀과 상기 제 2 볼 가이드 홀 사이 각각에 구비되는 복수의 볼;상기 제 1 볼 가이드 홀과 상기 제 2 볼 가이드 홀 사이 각각에 구비되고 복수의 구멍을 형성하여 상기 구멍에 복수의 상기 볼 각각이 끼워지는 볼 가이드; 및상기 구동부와 상기 워엄 기어를 결합시키고, 상기 워엄기어의 끝단을 고정시키며, 상기 기저단의 하부에 결합되어, 상기 구동부와 상기 워엄기어를 상기 기저단하단에 고정시키는 지지대;를 포함하고, 상기 볼의 지름은 상기 제 1 볼 가이드 홀과 상기 제 2 볼 가이드 홀의 폭보다 크고, 상기 볼 가이드에 형성된 상기 구멍의 지름과 동일하여,상기 구동부의 구동으로 상기 원호형 스테이지가 상기 일정곡률의 중심축을 기준으로 회전운동을 하게 되는 것을 특징으로 하는 샘플홀더 이동 시스템
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제 1 항에 있어서, 상기 나사 및 상기 톱니의 피치는 50㎛~0
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제 1 항에 있어서,상기 볼은 스테인리스, 고무, 스틸 및 크롬 강 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 샘플홀더 이동 시스템
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제 1 항에 있어서, 상기 구동부의 구동방향과 구동속도를 제어하여 상기 원호형 스테이지의 이동방향, 이동거리 및 이동속도를 조절하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 샘플홀더 이동 시스템
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제 1 항의 샘플홀더 이동 시스템을 이용한 샘플홀더 이동방법에 있어서, 제어부가 구동부를 구동시키는 단계; 상기 구동부와 연결된 상기 워엄기어가 길이방향 축을 중심으로 회전하는 단계;상기 워엄기어의 회전으로 상기 워엄기어 끝단에 형성된 나사와 일정곡률로 만곡된 원호형 스테이지의 바깥면에 형성된 톱니가 맞물려 상기 원호형 스테이지가 상기 일정곡률의 중심축을 기준으로 회전하는 단계; 및상기 원호형 스테이지의 이동으로 상기 원호형 스테이지의 안쪽면에 고정되고, 샘플홀더가 결합된 장착부재가 이동하여 샘플홀더가 이동하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 샘플홀더 이동방법
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제 10 항에 있어서, 상기 원호형 스테이지 회전단계는, 상기 기저단의 내부공간 양쪽 측면 각각에 형성된 제 1 볼 가이드 홀과 상기 원호형 스테이지의 양쪽 측면에 각각에 형성된 제 2 볼 가이드 홀 사이에 구비되는 복수의 볼들에 의해 상기 원호형 스테이지가 상기 중심축을 기준으로 이동하게 되는 것을 특징으로 하는 샘플홀더 이동방법
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제 11 항에 있어서,상기 제 1 볼 가이드 홀과 상기 제 2 볼 가이드 홀 사이 각각에 구비되고 복수의 구멍을 형성하는 볼가이드에 구비된 구멍에 끼워진 상기 볼들에 의해 상기 원호형 스테이지가 상기 중심축을 기준으로 이동하게 되는 것을 특징으로 하는 샘플홀더 이동방법
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제 10 항에 있어서, 상기 원호형 스테이지 회전단계는,상기 제어부가 상기 구동부의 속도를 제어하여, 상기 원호형 스테이지의 회전속도를 조절하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 샘플홀더 이동방법
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제 10 항에 있어서, 상기 구동 단계 전에,상기 샘플홀더에 고정된 시편에 대해 상기 시편의 이동 위치를 설정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 샘플홀더 이동방법
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제 14 항에 있어서, 상기 제어부는, 상기 시편을 설정된 상기 이동위치로 이동시키기 위해, 상기 나사와 상기 톱니의 피치, 상기 일정곡률에 기초하여 상기 원호형 스테이지의 이동거리, 이동방향 및 이동속도를 결정하고, 결정된 상기 이동거리, 이동방향 및 이동속도에 기초하여 상기 구동부를 구동시키는 것을 특징으로 하는 샘플홀더 이동방법
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