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제 1기판(200a)에 다수의 제 1전극(210a)을 형성하는 단계(S100);제 2기판(200b)에 다수의 제 2전극(210b)을 형성하는 단계(S110);상기 다수의 제 1전극(210a) 표면 또는 상기 다수의 제 2전극(210b) 표면에 선택적으로 보호층(212)을 형성하는 단계(S120);및상기 다수의 제 1전극(210a) 또는 상기 다수의 제 2전극(210b)이 상기 보호층(212)과 상호 대향하여 일정 거리 이격됨으로써 갭(230)을 유지하도록 고분자 필름 형태의 스페이서(220)를 위치시키되, 상기 스페이서(220)와의 접촉면을 열접착 테이프(240a, 240b, 240c, 240d)로 합착하는 단계(S130)를 포함하고,상기 제 1전극 형성단계(S100)와 상기 제 2전극 형성단계(S110) 사이에는,상기 다수의 제 1전극(210a) 각각에 대응하는 다수의 제 1신호선(214a)을 상기 다수의 제 1전극(210a)의 평면상으로 연결하여 형성하는 단계(S102);를 더 포함하고,상기 제 2전극 형성단계(S110)와 상기 보호층 형성단계(S120) 사이에는,상기 다수의 제 2전극(210b) 각각에 대응하는 다수의 제 2신호선(214b)을 상기 다수의 제 2전극(210b)의 평면상으로 연결하여 형성하는 단계(S112);를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 열접착 테이프를 이용한 정전용량형 힘 센서 제작방법
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제 1항에 있어서,상기 제 1기판(200a) 및 상기 제 2기판(200b)은 필름 기판 또는 유리 기판인 것을 특징으로 하는 열접착 테이프를 이용한 정전용량형 힘 센서 제작방법
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제 2항에 있어서,상기 필름 기판의 재질은 폴리이미드 또는 폴리에스터인 것을 특징으로 하는 열접착 테이프를 이용한 정전용량형 힘 센서 제작방법
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제 1항에 있어서상기 다수의 제 1전극(210a) 및 상기 다수의 제 2전극(210b)은,금속 또는 실버페이스트인 것을 특징으로 하는 열접착 테이프를 이용한 정전용량형 힘 센서 제작방법
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제 1항에 있어서,상기 각 제 1전극(210a) 및 상기 각 제 2전극(210b)은,원형 형태 또는 사각형 형태인 것을 특징으로 하는 열접착 테이프를 이용한 정전용량형 힘 센서 제작방법
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제 1항에 있어서,상기 각 제 1전극(210a) 및 상기 각 제 2전극(210b)은,평면상 크기가 상기 갭(230)으로 형성되는 단일 멤브레인의 크기(MS)보다 작은 것을 특징으로 하는 열접착 테이프를 이용한 정전용량형 힘 센서 제작방법
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제 1항에 있어서,상기 스페이서(220)의 재질은 폴리이미드 또는 폴리에스터인 것을 특징으로 하는 열접착 테이프를 이용한 정전용량형 힘 센서 제작방법
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제 1기판(200a)에 다수의 제 1전극(210a)을 형성하는 단계(S100);제 2기판(200b)에 다수의 제 2전극(210b)을 형성하는 단계(S110);상기 다수의 제 1전극(210a) 표면 또는 상기 다수의 제 2전극(210b) 표면에 선택적으로 보호층(212)을 형성하는 단계(S120);및상기 다수의 제 1전극(210a) 또는 상기 다수의 제 2전극(210b)이 상기 보호층(212)과 상호 대향하여 일정 거리 이격됨으로써 갭(230)을 유지하도록 고분자 필름 형태의 스페이서(220)를 위치시키되, 상기 스페이서(220)와의 접촉면을 열접착 테이프(240a, 240b, 240c, 240d)로 합착하는 단계(S130)를 포함하고,상기 제 1전극 형성단계(S100)와 상기 제 2전극 형성단계(S110) 사이에는,상기 제 1기판(300a)에 상기 다수의 제 1전극(310a) 각각에 대응하는 다수의 제 1홀(1h)을 형성하는 단계(S202);및상기 다수의 제 1전극(310a) 표면을 도금하여 상기 다수의 제 1홀(1h)을 통해 상기 다수의 제 1전극과 대응하는 다수의 제 1신호선(314a)을 형성하는 단계(S204);를 더 포함하고,상기 제 2전극 형성단계(S110)와 상기 보호층 형성단계(S120) 사이에는,상기 제 2기판(300b)에 상기 다수의 제 2전극(310b) 각각에 대응하는 다수의 제 2홀(2h)을 형성하는 단계(S212);및상기 다수의 제 2전극(310b) 표면을 도금하여 상기 다수의 제 2홀(2h)을 통해 상기 다수의 제 2전극(310b)과 대응하는 다수의 제 2신호선(314b)을 형성하는 단계(S214);를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 열접착 테이프를 이용한 정전용량형 힘 센서 제작방법
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제 1항 또는 제 9항에 있어서상기 다수의 제 1신호선(210a, 314a) 및 상기 다수의 제 2신호선(214a, 214b)은 선폭이 1 mm 이내이며, 두께가 0
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제 1기판(400a)에 다수의 제 1전극(410a)을 형성하는 단계(S300);제 2기판(400b)에 다수의 제 2전극(410b)을 형성하는 단계(S310);상기 다수의 제 2전극(410b)에 스크린 인쇄를 통해 다수의 도트(432)를 형성하는 단계(S320);상기 제 1전극(410a)이 상기 다수의 도트(432)와 상호 대향하여 일정 거리 이격됨으로써 갭(430)을 유지하도록 고분자 필름 형태의 스페이서(420)를 위치시키되, 상기 스페이서(420)와의 접촉면을 열접착 테이프(440a, 440b, 440c, 440d)로 합착하는 단계(S330)를 포함하고, 상기 제 2전극을 형성단계(S310)는,상기 다수의 제 2전극(610b) 표면에 보호층(612)을 형성하는 단계(S412)를 더 포함하고,상기 다수의 도트 형성단계(S320)는 상기 보호층(612)에 스크린 인쇄를 통해 다수의 도트(632)를 형성하는 단계(S420)인 것을 특징으로 하는 열접착 테이프를 이용한 정전용량형 힘 센서 제작방법
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제 11항에 있어서,상기 다수의 도트(432)는 직경이 10㎛ ~ 100㎛이고 높이가 10㎛ ~ 50㎛이며, 인접하는 상기 각 도트(432) 사이의 거리가 20㎛ ~ 100㎛인 것을 특징으로 하는 열접착 테이프를 이용한 정전용량형 힘 센서 제작방법
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제 11항에 있어서,상기 다수의 도트(432)의 재질은 폴리우레탄 또는 실리콘 고무인 것을 특징으로 하는 열접착 테이프를 이용한 정전용량형 힘 센서 제작방법
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제 11항에 있어서,상기 제 1기판(400a) 및 상기 제 2기판(400b)은 필름 기판 또는 유리 기판인 것을 특징으로 하는 열접착 테이프를 이용한 정전용량형 힘 센서 제작방법
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제 14항에 있어서,상기 필름 기판의 재질은 폴리이미드 또는 폴리에스터인 것을 특징으로 하는 열접착 테이프를 이용한 정전용량형 힘 센서 제작방법
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제 11항에 있어서상기 다수의 제 1전극(410a) 및 상기 다수의 제 2전극(410b)은,금속 또는 실버페이스트인 것을 특징으로 하는 열접착 테이프를 이용한 정전용량형 힘 센서 제작방법
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제 11항에 있어서,상기 각 제 1전극(410a) 및 상기 각 제 2전극(410b)은,원형 형태 또는 사각형 형태인 것을 특징으로 하는 열접착 테이프를 이용한 정전용량형 힘 센서 제작방법
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제 11항에 있어서,상기 각 제 1전극(410a) 및 상기 각 제 2전극(410b)은,평면상 크기가 상기 갭(430)으로 형성되는 단일 멤브레인의 크기(MS)보다 작은 것을 특징으로 하는 열접착 테이프를 이용한 정전용량형 힘 센서 제작방법
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제 11항에 있어서,상기 스페이서(420)의 재질은 폴리이미드 또는 폴리에스터인 것을 특징으로 하는 열접착 테이프를 이용한 정전용량형 힘 센서 제작방법
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