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미세 자기장을 검출하여 전류를 발생하는 권선형 검출코일과,
도전성 연결패드에 각 단부가 접속된 입력코일이 구비된 박막 스퀴드를 포함하는 스퀴드 센서에 있어서,
상기 검출코일의 양단부와 상기 도전성 연결패드는,
초전도 연결선을 통해 전기적으로 직접 접속된 것을 특징으로 하는 스퀴드 센서
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제1항에 있어서,
상기 검출코일은 초전도 코어와, 상기 초전도 코어를 감싸는 절연성 피복을 포함하며,
상기 검출코일의 양단부는,
상기 피복 및 코어의 일부가 제거되어 코어에는 평탄한 연결면을 갖고, 상기 코어의 연결면에 초전도 도선이 전기적으로 접속되는 연결부를 갖는 것을 특징으로 하는 스퀴드 센서
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제2항에 있어서,
상기 초전도 연결선은 검출코일의 양단 연결부에,
와이어 본딩 또는 스팟 웰딩에 의하여 연결된 것을 특징으로 하는 스퀴드 센서
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제2항에 있어서,
상기 검출코일의 연결면은,
상기 코어의 원형 단면상에서 직경의 1/2 이상 높이에 형성된 것을 특징으로 하는 스퀴드 센서
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5
제2항에 있어서,
상기 검출코일의 양단 연결부를 지지하기 위한 지지대를 더 포함하고,
상기 검출코일의 양단 연결부는 접착제에 의해 상기 지지대에 고정 설치되는 것을 특징으로 하는 스퀴드 센서
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6
제5항에 있어서,
상기 코어의 연결면은 지지대의 상측 방향으로 노출된 것을 특징으로 하는 스퀴드 센서
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7
제1항에 있어서,
상기 검출코일의 초전도 코어는 나이오븀-티탄 합금(NbTi)으로 이루어져 있으며,
상기 초전도 연결선은 Nb(나이오븀)으로 이루어진 것을 특징으로 하는 스퀴드 센서
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8
미세 자기장을 검출하여 전류를 발생하는 권선형 검출코일과, 도전성 연결패드에 각 단부가 접속된 입력코일이 구비된 박막 스퀴드를 포함하는 스퀴드 센서의 제조방법으로서,
초전도 연결선의 일단을 상기 도전성 연결패드에 전기적으로 접속시키는 제1 단계;
상기 권선형 검출코일의 양 단부를 접착제에 의해 지지대 상에 고정하는 제2 단계; 및
상기 접착제에 의해 고정된 검출코일의 양단부와 상기 초전도 연결선의 타단을 전기적 접속시키는 제3 단계;를 포함하는 스퀴드 센서의 제조방법
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9
제8항에 있어서,
상기 권선형 검출코일은 초전도 코어와, 상기 코어를 감싸도록 된 절연성 피복을 포함하고,
상기 제3 단계는,
상기 권선형 검출코일의 일부를 제거하여 상기 초전도 코어에 평탄면을 형성하고, 상기 초전도 코어의 평탄면에 초전도 연결선을 접속시키는 것을 특징으로 하는 스퀴드 센서의 제조방법
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제8항에 있어서,
상기 제1 단계 및 제3 단계의 전기적 접속은,
와이어 본딩 또는 스팟 웰딩에 의한 것을 특징으로 하는 스퀴드 센서의 제조방법
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