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내부 안테나 및 플라즈마 발생장치

  • 기술번호 : KST2015179617
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 내부 안테나 및 플라즈마 발생 장치를 제공한다. 이 내부 안테나는 진공용기의 내부에 직접 삽입되어 플라즈마를 발생시킨다. 내부 안테나는 일단에 전력이 공급되고 타단에서 전력이 4갈래로 분배되는 전원 공급부, 전원 공급부와 수직하게 배치된 전력 분배 평면에 배치되고 전원 공급부의 타단에서 대칭적으로 4 갈래로 갈라지는 주 방사상(main radial) 브랜치들, 인접한 주 방사상 브랜치들을 서로 연결시키는 외곽 브랜치들, 외곽 브랜치들의 중심 영역에서 전원 공급부의 타단 방향으로 연장되는 보조 방사상 브랜치들(sub radial), 및 보조 방사상 브랜치들에 각각 연결되고 전원 공급부와 평행하게 연장되는 접지부들을 포함한다.
Int. CL H05H 1/46 (2006.01) H05H 1/24 (2006.01)
CPC H05H 1/46(2013.01) H05H 1/46(2013.01) H05H 1/46(2013.01) H05H 1/46(2013.01) H05H 1/46(2013.01)
출원번호/일자 1020100029120 (2010.03.31)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-1104093-0000 (2012.01.03)
공개번호/일자 10-2011-0109406 (2011.10.06) 문서열기
공고번호/일자 (20120112) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.03.31)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 유신재 대한민국 대전 유성구
2 김정형 대한민국 대전 동구
3 성대진 대한민국 충청 공주시
4 신용현 대한민국 대전시 유성구
5 김대웅 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이평우 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 **-*(역삼동, IT빌딩 *층)(특허법인 누리)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.03.31 수리 (Accepted) 1-1-2010-0205238-94
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.06.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0357565-65
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.08.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0629747-89
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.08.16 수리 (Accepted) 1-1-2011-0629727-76
5 등록결정서
Decision to grant		 2011.11.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0704893-76
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
진공용기의 내부에 직접 삽입되어 플라즈마를 발생시키는 내부 안테나에 있어서,상기 내부 안테나는:일단에 전력이 공급되고 타단에서 전력이 4갈래로 분배되는 전원 공급부;상기 전원 공급부와 수직하게 배치된 전력 분배 평면에 배치되고 상기 전원 공급부의 타단에서 대칭적으로 4 갈래로 갈라지는 주 방사상(main radial) 브랜치들;인접한 상기 주 방사상 브랜치들을 서로 연결시키는 외곽 브랜치들;상기 외곽 브랜치들의 중심 영역에서 상기 전원 공급부의 타단 방향으로 연장되는 보조 방사상 브랜치들(sub radial); 및상기 보조 방사상 브랜치들에 각각 연결되고 상기 전원 공급부와 평행하게 연장되는 접지부들을 포함하고,상기 안테나에 의하여 형성된 자기장은 8개의 자기쌍극자를 형성하고, 서로 이웃한 자기쌍극자들의 자화방향은 서로 반대인 것을 특징으로 하는 내부 안테나
2 2
제 1 항에 있어서,외곽 브랜치들은 원호를 형성하는 것을 특징으로 하는 내부 안테나
3 3
삭제
4 4
진공 용기를 밀폐시키는 상판을 포함하는 진공용기;상기 진공 용기의 상판에 배치된 절연판; 및상기 진공 용기의 내부에 배치된 내부 안테나를 포함하고,상기 내부 안테나는 상기 절연판을 통하여 RF 전력을 공급받고,상기 내부 안테나는:일단에 전력이 공급되고 타단에서 전력이 4갈래로 분배되는 전원 공급부;상기 전원 공급부와 수직하게 배치된 전력 분배 평면에 배치되고 상기 전원 공급부의 타단에서 대칭적으로 4 갈래로 갈라지는 주 방사상(main radial) 브랜치들;인접한 상기 주 방사상 브랜치들을 서로 연결시키는 외곽 브랜치들;상기 외곽 브랜치들의 중심 영역에서 상기 전원 공급부의 타단 방향으로 연장되는 보조 방사상 브랜치들(sub radial); 및상기 보조 방사상 브랜치들에 각각 연결되고 상기 전원 공급부와 평행하게 연장되는 접지부들을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치
5 5
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국표준과학연구원 국가연구개발사업 반도체 진공공정 실시간 측정기술 개발