| 1 |
1
열전도도가 좋은 금속 또는 금속 화합물로 형성되고 루프를 이루는 온도 고정부;상기 온도 고정부에 열접촉하는 하부 온도 고정부;상기 온도 고정부에 열접촉하고 상기 하부 온도 고정부 상에 이격되어 배치된 상부 온도 고정부;상기 하부 온도 고정부 상에 배치되고 열류를 생성하는 발열부; 상기 발열부 상에 배치되고 상기 열류 중에서 시료에 전달되는 열류를 측정하는 하부 열류 측정부; 및상기 상부 온도 고정부의 하부에 배치되고 상기 시료를 통과하여 전달되는 열류를 측정하는 상부 열류 측정부를 포함하고,상기 시료는 상기 하부 열류 측정부의 일면와 상기 상부 열류 측정부의 일면 사이에 개재되고, 상기 발열부 및 상기 하부 열류 측정부는 열전 소자로 구성되는 것을 특징으로 열전도도 측정 장치
|
| 2 |
2
제 1항에 있어서,상기 발열부 및 상기 하부 열류 측정부는 일체형으로 제작되고, 상기 발열부는:제1 세라믹 기판;상기 제1 세라믹 기판 상에 배치된 제1 하부 전극;상기 제1 하부 전극과 전기적으로 연결되고 상기 제1 하부 전극 상에 배치된 제1 열전 구조체;상기 제1 열전 구조체 상에 배치되고 상기 제1 열전 구조체에 전기적으로 연결된 제1 상부 전극; 및상기 제1 상부 전극 상에 배치된 제2 세라믹 기판을 포함하고,상기 하부 열류 측정부는:상기 제2 세라믹 기판 상에 배치된 제2 하부 전극;상기 제2 하부 전극과 전기적으로 연결되고 상기 제2 하부 전극 상에 배치된 제2 열전 구조체;상기 제2 열전 구조체와 전기적으로 연결되고 상기 제2 열전 구조체 상에 배치된 제2 상부 전극; 및상기 제2 상부 전극 상에 배치된 제3 세라믹 기판을 포함하고,상기 제1 하부 전극과 상기 제1 상부 전극에 전력을 인가하여 상기 제1 열전 구조체는 열을 발생시키고,상기 제2 열전 구조체를 통과하는 열류는 기전력을 발생시키는 것을 특징으로 하는 열전도도 측정 장치
|
| 3 |
3
제 1항에 있어서,상기 상부 열류 측정부는:제4 세라믹 기판;상기 제4 세라믹 기판 상에 배치된 제3 하부 전극;상기 제3 하부 전극과 전기적으로 연결되고 상기 제3 하부 전극 상에 배치된 제3 열전 구조체;상기 제3 열전 구조체 상에 배치되고 상기 제3 열전 구조체에 전기적으로 연결된 제3 상부 전극; 및상기 제3 상부 전극 상에 배치된 제5 세라믹 기판을 포함하는 것을 특징으로 하는 열전도도 측정 장치
|
| 4 |
4
제 1항에 있어서,상기 하부 열류 측정부의 일면에 배치된 하부 온도 측정부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 열전도도 측정 장치
|
| 5 |
5
제 1항에 있어서,상기 상부 열류 측정부의 일면에 배치된 상부 온도 측정부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 열전도도 측정 장치
|
| 6 |
6
열전도도가 좋은 금속 또는 금속 화합물로 형성되고 루프를 이루는 온도 고정부;상기 온도 고정부에서 상기 루프의 내부로 돌출된 하부 돌출부;상기 하부 돌출부와 대향하여 배치되고 상기 온도 고정부를 관통하여 상기 온도 고정부와 상대적으로 직선 운동할 수 있는 상부 돌출부;상기 상부 돌출부의 하부에 배치되고 상부 열류 측정부;상기 하부 돌출부 상에 배치된 발열부; 및상기 발열부 상에 배치되고 상기 발열부에서 발생되는 열을 시료에 전달되는 열류를 측정하는 하부 열류 측정부를 포함하고,상기 시료는 상기 하부 열류 측정부의 일면와 상기 상부 열류 측정부의 일면 사이에 개재되고, 상기 발열부 및 상기 열류 측정부는 열전 소자로 구성되는 것을 특징으로 열전도도 측정 장치
|
| 7 |
7
제 6항에 있어서,상기 상부 돌출부와 상기 온도 고정부가 접촉하는 영역에 배치된 눈금부를 더 포함하고, 상기 눈금부는 상기 시료의 두께를 측정하는 것을 특징으로 하는 열전도도 측정 장치
|
| 8 |
8
제 6항에 있어서,상기 발열부는:제1 세라믹 기판;상기 제1 세라믹 기판 상에 배치된 제1 하부 전극;상기 제1 하부 전극과 전기적으로 연결되고 상기 제1 하부 전극 상에 배치된 제1 열전 구조체;상기 제1 열전 구조체 상에 배치되고 상기 제1 열전 구조체들에 전기적으로 연결된 제1 상부 전극; 및상기 제1 상부 전극 상에 배치된 제2 세라믹 기판을 포함하고,상기 하부 열류 측정부는:상기 제2 세라믹 기판 상에 배치된 제3 세라믹 기판;상기 제3 세라믹 기판 상에 배치된 제2 하부 전극;상기 제2 하부 전극과 전기적으로 연결되고 상기 제2 하부 전극 상에 배치된 제2 열전 구조체;상기 제2 열전 구조체와 전기적으로 연결되고 상기 제2 열전 구조체 상에 배치된 제2 상부 전극; 및상기 제2 상부 전극 상에 배치된 제4 세라믹 기판을 포함하고,상기 제1 하부 전극과 상기 제1 상부 전극에 전력을 인가하여 상기 제1 열전 구조체는 열을 발생시키고,상기 제2 열전 구조체를 통과하는 열류는 기전력을 발생시키는 것을 특징으로 하는 열전도도 측정 장치
|
| 9 |
9
제 6항에 있어서,상기 하부 열류 측정부의 일면에 배치된 하부 온도 측정부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 열전도도 측정 장치
|
| 10 |
10
제 6항에 있어서,상기 상부 열류 측정부의 일면에 배치된 상부 온도 측정부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 열전도도 측정 장치
|
| 11 |
11
제 6항에 있어서,상기 상부 돌출부 및 상기 온도 고정부가 접촉하는 영역에 배치되고,상기 시료의 두께를 측정하는 눈금부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 열전도도 측정 장치
|
