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제 1 기어가 상기 제 1 기어의 중심축인 제 1 축을 기준으로 회전운동하도록 하는 제 1 구동부;상기 제 1 기어와 맞물려 상기 제 1 구동부에 의해 회전되는 제 2 기어;상기 제 2 기어 상부에 결합되고, 시편이 고정되는 샘플홀더;상기 제 2 기어 하부에 결합되고, 하부면이 일정곡률로 하부쪽으로 만곡된 이동 스테이지;상기 이동 스테이지가 삽입되어 결합되는 몸체상기 이동 스테이지와 상기 몸체 측면 사이 각각에 상기 일정곡률을 따라 구비된 볼 베이링 부재 ;및작용막대와 결합되어, 상기 이동 스테이지의 길이방향인 제 2 축 방향으로 상기 작용막대를 왕복운동시키고, 상기 작용막대의 끝단은 상기 이동 스테이지의 하부면에 맞닿아, 상기 작용막대의 왕복운동으로 상기 이동 스테이지가 상기 볼 베어링 부재에 의해 상기 일정곡률의 중심인 제 3 축을 기준으로 회전운동하게 하는 제 2 구동부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 샘플홀더 2축 스테이지 시스템
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제 1 항에 있어서, 상기 볼 베어링 부재는,상기 이동 스테이지 측면 각각에 상기 일정곡률을 따라 형성된 제 1 볼 가이드 홀;상기 몸체의 측면 상단 각각에 상기 일정곡률을 따라 형성되고, 복수의 구멍이 구비된 볼 가이드; 상기 몸체의 측면 각각에 결합되고, 안쪽면에는 제 1 볼 가이드 홀과 대향된 위치에 제 2 볼 가이드 홀을 구비한 측면장착부재; 및상기 볼 가이드의 구멍에 끼워지고, 상기 제 1 볼 가이드 홀과 상기 제 2 볼 가이드 홀 사이에 존재하는 볼을 포함하는 것을 특징으로 하는 샘플홀더 2축 스테이지 시스템
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제 2 항에 있어서, 상기 이동 스테이지와 상기 몸체 사이에 구비된 리턴 스프링을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 샘플홀더 2축 스테이지 시스템
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제 3 항에 있어서, 상기 리턴 스프링은 복수로 구비되고, 상기 작용막대의 끝단과 상기 이동 스테이지의 하부면은 항상 맞닿게 되는 것을 특징으로 하는 샘플홀더 2축 스테이지 시스템
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1 기어의 하부와 상기 제 2 기어의 하부와 상기 이동 스테이지 상부 사이에 구비된 지지대를 더 포함하여, 상기 제 2 구동부에 의한 상기 이동 스테이지의 이동으로 상기 제 1 기어, 상기 제 2 기어 및 상기 제 1 구동부가 일체로 상기 제 3 축을 기준으로 회전운동하게 되는 것을 특징으로 하는 샘플홀더 2축 스테이지 시스템
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제 2 항에 있어서, 상기 볼은 스테인리스, 고무, 스틸 및 크롬 강 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 샘플홀더 2축 스테이지 시스템
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1 구동부를 제어하여 상기 제 1 기어 및 상기 제 2 기어의 회전방향, 회전거리 및 회전속도를 조절하는 제 1 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 샘플홀더 2축 스테이지 시스템
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8
제 1 항에 있어서, 상기 제 2 구동부를 제어하여 상기 이동 스테이지의 이동방향, 이동거리 및 이동속도를 조절하는 제 2 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 샘플홀더 2축 스테이지 시스템
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제 8 항의 스테이지 시스템을 이용한 샘플홀더 이동방법에 있어서,시편을 샘플홀더에 고정시키고, 상기 샘플홀더를 제 2 기어 상단 중앙에 삽입시켜 고정시키는 단계;제 1 제어부가 상기 시편이 고정된 상기 샘플홀더를 제 1 기어와 맞물려 있고, 상기 샘플홀더 하부에 결합된 제 2 기어의 중심축을 기준으로 회전시킬 필요가 있는지를 판단하고, 제 2 제어부가 상기 샘플홀더를 제 3 축을 기준으로 회전시킬 필요가 있는지 판단하는 단계;상기 샘플홀더를 상기 제 2 기어의 중심축을 기준으로 회전할 필요가 있는 경우, 상기 제 1 제어부가 제 1 구동부를 작동시켜 상기 제 1 구동부와 결합된 상기 제 1 기어를 상기 제 1 기어의 중심축인 제 1 축을 기준으로 회전시키고, 상기 제 1 기어의 회전으로 상기 제 2 기어가 회전됨으로써 상기 샘플홀더가 회전되는 단계; 및상기 샘플홀더를 제 3 축을 기준으로 회전시킬 필요가 있는 경우, 상기 제 2 제어부가 제 2 구동부를 구동시켜 제 2 구동부에 결합된 작동막대를 상기 작동막대의 길이방향인 제 2 축방향으로 직선왕복운동을 하고, 상기 작용막대의 상기 직선왕복운동으로 하부면이 일정곡률로 만곡되고, 상부면은 상기 제 2 기어와 결합된 이동 스테이지가 상기 일정곡률의 중심인 제 3 축을 기준으로 회전운동시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 샘플홀더 이동방법
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제 9 항에 있어서,상기 제 3 축 기준 회전운동 단계는, 상기 이동 스테이지의 측면 각각에 상기 일정곡률 가진 홈을 형성하는 제 1 볼 가이드 홀과 상기 이동 스테이지의 측면 각각에 결합되는 측면장착부재의 안쪽면에 상기 제 1 볼 가이드 홀에 대응되도록 형성된 제 2 볼 가이드 홀 사이에 구비한 된 볼 가이드의 구멍에 삽입된 볼들에 의해 상기 이동 스테이지가 제 3 축을 기준으로 회전운동하는 것을 특징으로 하는 샘플홀더 이동방법
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제 9 항 또는 제 10 항에 있어서, 상기 이동 스테이지의 상기 제 2 볼 가이드 홀 끝단과 상기 제 1 구동부 사이에 적어도 하나의 리턴 스프링을 포함하여, 상기 작용막대 끝단과 상기 이동 스테이지의 하부면은 항상 맞닿게 되는 것을 특징으로 하는 샘플홀더 이동방법
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제 9 항에 있어서, 상기 제 3 축 기준 회전운동 단계는, 상기 제 1 기어의 하부와 상기 제 2 기어의 하부와 상기 이동 스테이지 상부 사이에 구비된 지지대를 더 포함하여, 상기 이동 스테이지의 이동으로 상기 제 1 기어, 상기 제 2 기어 및 상기 제 1 구동부가 일체로 상기 제 3 축을 기준으로 회전운동하게 되는 것을 특징으로 하는 샘플홀더 이동방법
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제 9 항에 있어서, 상기 제 2 기어가 회전됨으로써 상기 샘플홀더 회전 단계는,상기 제 1 제어부가 상기 제 1 구동부를 제어하여 상기 제 1 기어 및 상기 제 2 기어의 회전방향, 회전거리 및 회전속도를 조절하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 샘플홀더 이동방법
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제 9 항 또는 제 13 항에 있어서, 제 2 제어부가 상기 제 2 구동부를 제어하여 상기 이동 스테이지의 이동방향,이동거리 및 이동속도를 조절하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 샘플홀더 이동방법
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