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전계 방출 주사 전자 현미경용 전자빔 가속 장치의 초고진공 발생 장치

  • 기술번호 : KST2015179637
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 전계 방출 주사 전자 현미경용 전자 빔 가속 장치에서 초고진공을 효율적으로 발생시키기 위한 장치가 제공된다. 진공 챔버를 포함하는 전계 방출 주사 전자 현미경용 전자빔 가속 장치의 초고진공 발생 장치는, 진공 챔버에 포함된 전자빔을 방출하고 가속시키는 전자 총과, 전자 총에 전자빔을 방출시키고 가속시키기 위한 고압 전원을 공급하는 빔 가속 전원 공급부와, 빔 가속 전원 공급부의 고압 전원을 기준 전위로 하여 게터 펌프의 가열기를 가열하기 위한 구동 전원을 공급하는 게터 펌프 전원 공급부와, 진공 챔버 내부에 설치되며, 게터 펌프 전원 공급부의 구동 전원을 이용하여 동작하는 게터 펌프를 포함한다.
Int. CL H01J 37/285 (2006.01)
CPC H01J 37/18(2013.01) H01J 37/18(2013.01) H01J 37/18(2013.01) H01J 37/18(2013.01) H01J 37/18(2013.01) H01J 37/18(2013.01) H01J 37/18(2013.01) H01J 37/18(2013.01) H01J 37/18(2013.01)
출원번호/일자 1020100054764 (2010.06.10)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-1236489-0000 (2013.02.18)
공개번호/일자 10-2011-0135051 (2011.12.16) 문서열기
공고번호/일자 (20130225) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 발송
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.06.10)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조양구 대한민국 대전광역시 유성구
2 이확주 대한민국 대전광역시 유성구
3 배문섭 대한민국 대전광역시 유성구
4 김주황 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 신지 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로*길 **, *층 ***호실(역삼동, 청원빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대전 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.06.10 수리 (Accepted) 1-1-2010-0372963-49
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.05.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.06.23 수리 (Accepted) 9-1-2011-0054845-88
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.07.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0407249-59
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.09.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0739825-44
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.09.22 수리 (Accepted) 1-1-2011-0739826-90
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.12.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0743211-17
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2012.02.15 수리 (Accepted) 1-1-2012-0122668-13
9 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2012.03.14 수리 (Accepted) 1-1-2012-0206787-85
10 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2012.04.16 수리 (Accepted) 1-1-2012-0301321-85
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.05.15 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0388763-13
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.05.15 수리 (Accepted) 1-1-2012-0388766-49
13 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2012.09.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0568631-19
14 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2012.10.25 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2012-0873091-83
15 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.10.25 수리 (Accepted) 1-1-2012-0873092-28
16 등록결정서
Decision to Grant Registration
2012.11.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0696068-26
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
진공 챔버를 포함하는 전계 방출 주사 전자 현미경용 전자빔 가속 장치의 초고진공 발생 장치로서, 상기 진공 챔버에 포함된 전자빔을 방출하고 가속시키는 전자 총; 상기 전자 총에 전자빔을 방출시키고 가속시키기 위한 고압 전원을 공급하는 빔 가속 전원 공급부;상기 빔 가속 전원 공급부의 고압 전원을 기준 전위로 하여, 게터 펌프의 가열기를 가열하기 위한 구동 전압 만큼 강하된 구동전원을 생성하여 공급하는 게터 펌프 전원 공급부; 및 상기 진공 챔버 내부에 설치되며, 상기 게터 펌프 전원 공급부의 구동 전원을 이용하여 상기 가열기를 가열하며 상기 진공 챔버가 고진공 상태가 되도록 동작하는 게터 펌프를 포함하는 초고진공 발생 장치
2 2
제1항에 있어서, 상기 게터 펌프 전원 공급부는, 상기 게터 펌프에 공급되는 구동 전원의 전위와 상기 고압 전원의 전위 사이에 불꽃 방전이 일어나지 않도록 설정된, 상기 구동 전원을 공급하는 초고진공 발생 장치
3 3
제1항에 있어서, 상기 전자 총은, 전자를 방출하는 이미터(emitter); 상기 방출된 전자를 포커싱하는 서프레서 전극; 상기 이미터에서 전자가 방출되도록 방출 고압 전원이 인가되는 1차 양극; 상기 방출된 전자가 가속되도록 상기 빔 가속 전원 공급부의 고압 전원이 인가되는 2차 양극을 포함하는 초고진공 발생 장치
4 4
제3항에 있어서, 상기 빔 가속 전원 공급부의 고압 전원을 기준 전위로 하여 상기 이미터를 가열하기 위한 전원을 공급하는 이미터 가열 공급부; 상기 빔 가속 전원 공급부의 고압 전원을 기준 전위로 하여 상기 서프레서 전극의 동작 전원을 공급하는 서프레서 전원 공급부; 및 상기 빔 가속 전원 공급부의 고압 전원을 기준 전위로 하여 상기 1차 양극에 상기 방출 고압 전원을 인가하는 전자 방출 전원 공급부를 더 포함하는 초고진공 발생 장치
5 5
제3항에 있어서, 상기 게터 펌프는, 상기 2차 양극보다 상부에 위치되도록 설치되는 초고진공 발생 장치
6 6
전계 방출 주사 전자 현미경으로서, 전자빔을 방출하고 가속시키는 전자 총; 상기 전자 총에 전자빔을 방출시키고 가속시키기 위한 고압 전원을 공급하는 빔 가속 전원 공급부;상기 빔 가속 전원 공급부의 고압 전원을 기준 전위로 하여 게터 펌프의 가열기를 가열하기 위한 구동 전원을 공급하는 게터 펌프 전원 공급부; 및 진공 챔버 내부에 설치되며, 상기 게터 펌프 전원 공급부의 구동 전원을 이용하여 상기 가열기를 가열하며 상기 진공 챔버가 고진공 상태가 되도록 동작하는 게터 펌프를 포함하는 전계 방출 주사 전자 현미경
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.