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주사 전자 현미경용 신틸레이터 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015179640
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 내구성을 높일 수 있는 구조를 가지는 신틸레이터가 제공된다. 신틸레이터(Scintillator)는, 기판과, 기판상에 형성되며, 입력받은 하전입자를 가시광으로 변환하는 가시광 변환층과, 하전입자를 입력받아서 가시광 변환층으로 투과시키는 그래핀(graphene)층을 포함한다.
Int. CL H01J 37/28 (2006.01)
CPC H01J 37/28(2013.01) H01J 37/28(2013.01) H01J 37/28(2013.01) H01J 37/28(2013.01) H01J 37/28(2013.01) H01J 37/28(2013.01)
출원번호/일자 1020100054092 (2010.06.08)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-1099139-0000 (2011.12.20)
공개번호/일자 10-2011-0134227 (2011.12.14) 문서열기
공고번호/일자 (20111227) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.06.08)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조양구 대한민국 대전광역시 유성구
2 이확주 대한민국 대전광역시 유성구
3 배문섭 대한민국 대전광역시 유성구
4 김주황 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 신지 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로*길 **, *층 ***호실(역삼동, 청원빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.06.08 수리 (Accepted) 1-1-2010-0368509-95
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.05.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.06.23 수리 (Accepted) 9-1-2011-0054837-12
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.07.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0403050-88
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.09.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0732179-49
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.09.20 수리 (Accepted) 1-1-2011-0732180-96
7 등록결정서
Decision to grant
2011.11.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0712002-66
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
전자 현미경용 신틸레이터(Scintillator)로서,기판; 상기 기판상에 형성되며, 입력받은 하전입자를 가시광으로 변환하는 가시광 변환층; 및 하전입자를 입력받아서 상기 가시광 변환층으로 투과시키는 그래핀(graphene)층을 포함하는 신틸레이터
2 2
제1항에 있어서, 상기 그래핀층에 형성되고, 상기 그래핀층에 축적되는 하전입자를 외부로 배출하는 접지 단자를 더 포함하는 신틸레이터
3 3
피측정 시편에 대한 구조를 표시하는 신틸레이터(Scintillator)를 포함하는 주사 전자 현미경으로서, 상기 신틸레이터는, 기판; 상기 기판상에 형성되며, 입력받은 이차전자를 가시광으로 변환하는 가시광 변환층; 및 상기 피측정 시편에 하전입자가 충돌함에 따라 발생되는 이차전자를 입력받아서 상기 가시광 변환층으로 투과시키는 그래핀(graphene)층을 포함하는 주사 전자 현미경
4 4
전자 현미경용 신틸레이터 제조 방법으로서, 기판상에 그래핀을 성장시키는 단계; 상기 기판을 에칭하여 그래핀 박막을 형성하는 단계; 및 하전입자를 가시광으로 변환하는 가시광 변환층상에 상기 그래핀 박막을 수분이 있는 상태에서 올려놓는 단계를 포함하는 방법
5 5
제4항에 있어서, 상기 그래핀 박막에 입사되어 축적되는 하전입자를 외부로 배출하는 접지 단자를 형성하는 단계를 더 포함하는 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.