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전구체 시료가 담긴 시료용기;주유로에 의해 시료용기와 연결되는 화학증착 챔버; 및주유로의 압력을 측정하기 위한 증기압 측정장치를 포함하고,상기 증기압 측정장치는,주유로에서 분기된 분기유로;분기유로에 연결된 압력측정부;주유로에서 분기유로가 분기되는 유로 분기점 후단의 주유로에 설치되는 제1밸브; 및 분기유로에 설치되는 제2밸브를 포함하고,상기 시료용기 및 증기압 측정장치는 시료의 항온이 유지되도록 단열 격벽체의 내실에 밀봉되어 배치되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조공정을 위한 전구체의 실시간 증기압 측정 시스템
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제1항에 있어서,상기 제1밸브 및 제2밸브는 주유로와 분기유로를 선택적으로 개방시키는 것을 특징으로 하는반도체 제조공정을 위한 전구체의 실시간 증기압 측정 시스템
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제1항에 있어서,유로 분기점 전단의 주유로에 설치되는 제3밸브를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는반도체 제조공정을 위한 전구체의 실시간 증기압 측정 시스템
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 증기압 측정장치는,분기유로에 설치된 제2밸브와 압력측정부 사이에 등압유지 챔버를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는반도체 제조공정을 위한 전구체의 실시간 증기압 측정 시스템
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제1항 또는 제2항에 따른 실시간 증기압 측정 시스템을 이용하여 전구체의 증기압을 실시간으로 측정함에 있어서,제1밸브를 잠그는 단계;제2밸브를 여는 단계; 및압력측정부에서 포화증기압을 측정하는 단계를 포함하는반도체 제조공정을 위한 전구체의 실시간 증기압 측정 방법
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제4항에 따른 실시간 증기압 측정 시스템을 이용하여 전구체의 증기압을 실시간으로 측정함에 있어서,제1밸브를 잠그는 단계;제2밸브를 여는 단계; 및압력측정부에서 등압유지 챔버 내부의 압력이 포화될 때의 포화증기압을 측정하는 단계를 포함하는반도체 제조공정을 위한 전구체의 실시간 증기압 측정 방법
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제3항에 있어서,상기 증기압 측정장치는,분기유로에 설치된 제2밸브와 압력측정부 사이에 등압유지 챔버를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는반도체 제조공정을 위한 전구체의 실시간 증기압 측정 시스템
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제3항에 따른 실시간 증기압 측정 시스템을 이용하여 전구체의 증기압을 실시간으로 측정함에 있어서,제1밸브를 잠그는 단계;제2밸브 및 제3밸브를 여는 단계; 및압력측정부에서 포화증기압을 측정하는 단계를 포함하는반도체 제조공정을 위한 전구체의 실시간 증기압 측정 방법
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제7항에 따른 실시간 증기압 측정 시스템을 이용하여 전구체의 증기압을 실시간으로 측정함에 있어서,제1밸브를 잠그는 단계;제2밸브 및 제3밸브를 여는 단계; 및압력측정부에서 등압유지 챔버 내부의 압력이 포화될 때의 포화증기압을 측정하는 단계를 포함하는반도체 제조공정을 위한 전구체의 실시간 증기압 측정 방법
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