요약 | 본 발명은 단수 혹은 복수의 표면 접촉식 프로브 성능 개량에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 병렬 형태의 복수의 전기저항 측정 코어와 시편 표면과의 접촉 비동등성(non-equivalency) 문제를 해결하기 위하여 개발된 정압력 전기저항 측정 프로브 장치(국내 특허등록 제10-0981677호 및 PCT 특허출원 KR2009-006449)의 활용, 성능 향상과 구조적 간략화를 위해 전압을 인가하는 방식을 채택하고 리드선이 공압조를 수직으로 관통하도록 리드선 결선구조를 개량하는 것이다. |
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Int. CL | G01R 1/067 (2006.01) |
CPC | G01R 1/06794(2013.01) G01R 1/06794(2013.01) G01R 1/06794(2013.01) G01R 1/06794(2013.01) G01R 1/06794(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020100104359 (2010.10.26) |
출원인 | 한국표준과학연구원 |
등록번호/일자 | 10-1093816-0000 (2011.12.07) |
공개번호/일자 | |
공고번호/일자 | (20111219) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2010.10.26) |
심사청구항수 | 3 |