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제1 광을 조사하는 광원;일단으로 상기 조사된 제1 광을 수신하여 타단을 통해 MEMS 샘플에 출력하는 광섬유;상기 MEMS 샘플과 상기 광섬유의 평면 좌표 상의 상대적 변위를 이미지 좌표 정보에 따라 조절하는 피에조 구동부;상기 제1 광에 기초하여 상기 타단에서 반사된 제2 광과 상기 MEMS 샘플에서 반사된 제3 광이 상호 간섭하여 생성되는 간섭신호를 상기 이미지 좌표별로 측정하고 상기 이미지 좌표에 따라 변화하는 상기 간섭신호 세기에 기반하여 상기 MEMS 샘플의 이미지 정보를 생성하는 간섭 측정부; 및상기 MEMS 샘플의 이미지 정보를 상기 이미지 좌표 정보에 매칭시켜 디스플레이하는 디스플레이부를 포함하는 광섬유 간섭신호를 이용한 이미징 장치
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제 1항에 있어서,상기 광원은 레이저 광원인 것을 특징으로 하는 광섬유 간섭신호를 이용한 이미징 장치
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제 1항에 있어서,상기 제1 광의 파장은 상기 MEMS 샘플의 크기에 대응하여 조절 가능한 것을 특징으로 하는 광섬유 간섭신호를 이용한 이미징 장치
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제 1항에 있어서, 상기 MEMS 샘플을 고정하는 홀더를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광섬유 간섭신호를 이용한 이미징 장치
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제 1항에 있어서,상기 피에조 구동부는 상기 광섬유에 구동력을 전달하는 압전 액추에이터 및 상기 압전 액추에이터를 제어하는 이송 제어기를 포함하는 것을 특징으로 하는 광섬유 간섭신호를 이용한 이미징 장치
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삭제
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제 1항에 있어서,상기 피에조 구동부는 평면 좌표 상의 상기 광섬유의 좌표 위치를 변화시킴으로써 상기 상대적 변위를 조절하는 것을 특징으로 하는 광섬유 간섭신호를 이용한 이미징 장치
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8
제1 광을 조사하는 광원, 일단으로 상기 조사된 제1 광을 수신하여 타단을 통해 MEMS 샘플에 출력하는 광섬유, 상기 MEMS 샘플과 상기 광섬유의 평면 좌표 상의 상대적 변위를 이미지 좌표 정보에 따라 조절하는 피에조 구동부, 상기 제1 광에 기초하여 상기 타단에서 반사된 제2 광과 상기 MEMS 샘플에서 반사된 제3 광이 상호 간섭하여 생성되는 간섭신호를 상기 이미지 좌표별로 측정하고 상기 이미지 좌표에 따라 변화하는 상기 MEMS 샘플의 이미지 정보를 생성하는 간섭 측정부 및 상기 MEMS 샘플의 이미지 정보를 상기 이미지 좌표 정보에 매칭시켜 디스플레이하는 디스플레이부를 포함하는 광섬유 간섭신호를 이용한 이미징 장치;상기 이미지 정보 및 이미지 좌표 정보를 저장하는 메모리 저장부; 및상기 mems 샘플 상의 특정 좌표 정보를 입력받는 좌표 입력부;를 포함하고,상기 피에조 구동부는,상기 이미지 정보 및 상기 이미지 좌표 정보에 기반하여 상기 mems 샘플 상의 특정 좌표로 상기 광섬유를 이송하는 것을 특징으로 하는 이미지 기반의 샘플 위치 추적 장치
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제 8항에 있어서,상기 좌표 입력부는 키보드, 마우스 및 터치 스크린 중 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 이미지 기반의 샘플 위치 추적 장치
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제1 광이 광원을 통해 조사되는 단계;상기 조사된 제1 광이 광섬유의 일단에 수신되는 단계;상기 조사된 제1 광이 상기 광섬유의 타단을 통해 MEMS 샘플에 출력되는 단계;상기 제1 광에 기초하여 상기 타단에서 반사된 제2 광과 상기 MEMS 샘플에서 반사된 제3 광이 상호 간섭함으로써 간섭신호를 생성하는 단계;상기 생성된 간섭신호가 간섭 측정부에 의해 측정되는 단계;피에조 구동부가 상기 MEMS 샘플과 상기 광섬유의 평면 좌표 상의 상대적 변위를 이미지 좌표 정보에 따라 조절하는 단계;상기 간섭 측정부가 상기 간섭신호를 상기 이미지 좌표별로 측정하고 상기 이미지 좌표에 따라 변화하는 상기 간섭신호의 세기에 기반하여 이미지 정보를 생성하는 단계; 및디스플레이부가 상기 MEMS 샘플의 이미지 정보를 상기 이미지 좌표 정보에 매칭시켜 디스플레이하는 단계;를 포함하는 광섬유 간섭신호를 이용한 이미징 방법
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제 10항에 따른 광섬유 간섭신호를 이용한 이미징 방법을 실행할 수 있는 컴퓨터 판독 가능한 프로그램이 기록된 기록 매체
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제1 광이 광원을 통해 조사되는 단계;상기 조사된 제1 광이 광섬유의 일단에 수신되는 단계;상기 조사된 제1 광이 상기 광섬유의 타단을 통해 MEMS 샘플에 출력되는 단계;상기 제1 광에 기초하여 상기 타단에서 반사된 제2 광과 상기 MEMS 샘플에서 반사된 제3 광이 상호 간섭함으로써 간섭신호를 생성하는 단계;상기 생성된 간섭신호가 간섭 측정부에 의해 측정되는 단계;피에조 구동부가 상기 MEMS 샘플과 상기 광섬유의 평면 좌표 상의 상대적 변위를 이미지 좌표 정보에 따라 조절하는 단계;상기 간섭 측정부가 상기 간섭신호를 상기 이미지 좌표별로 측정하고 상기 이미지 좌표에 따라 변화하는 상기 간섭신호의 세기에 기반하여 상기 MEMS 샘플의 이미지 정보를 생성하는 단계; 및디스플레이부가 상기 MEMS 샘플의 이미지 정보를 상기 이미지 좌표 정보에 매칭시켜 디스플레이하는 단계;좌표 입력부가 상기 mems 샘플 상의 특정 좌표 정보를 입력받는 단계; 및상기 피에조 구동부가 상기 MEMS 샘플의 이미지 정보 및 이미지 좌표 정보에 기반하여 상기 mems 샘플 상의 특정 좌표로 상기 광섬유를 이송하는 단계;를 포함하는 이미지 기반의 샘플 위치 추적 방법
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제 12항에 있어서,상기 MEMS 샘플의 이미지 디스플레이단계는,상기 MEMS 샘플의 이미지가 평면 좌표 상에 디스플레이되는 단계인 것을 특징으로 하는 이미지 기반의 샘플 위치 추적 방법
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제 12항 및 제 13항 중 어느 한 항의 이미지 기반의 샘플 위치 추적 방법을 실행할 수 있는 컴퓨터 판독 가능한 프로그램이 기록된 기록매체
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