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패턴된 기판을 이용한 다공성 막의 제조 방법 및 그 방법에 의해 제조된 다공성 막 형성 기판

  • 기술번호 : KST2015179664
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 패턴된 기판을 이용한 다공성 막의 제조 방법 및 그 방법에 의해 제조된 기판에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 나노 패턴 혹은 마이크로 패턴 된 기판 위에 스핀코팅방법을 기반으로 하여 나노다공성 막의 제조방법 및 그러한 제조 방법을 이용하여 제조된 다공성 막 형성 기판에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 넓은 비표면을 형성하기 위해 사용하는 나노입자를 용매와 결합제(binder)에 분산시켜서 프린팅하는 방법과 비교하면 나노 패턴 혹은 마이크로 패턴된 기판 위에 스핀코팅 방법을 기반으로 하여 충분한 비표면적을 얻을 수 있다.
Int. CL B05D 1/36 (2006.01)
CPC B05D 1/005(2013.01) B05D 1/005(2013.01) B05D 1/005(2013.01)
출원번호/일자 1020100097656 (2010.10.07)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-1230059-0000 (2013.01.30)
공개번호/일자 10-2012-0036012 (2012.04.17) 문서열기
공고번호/일자 (20130205) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.10.07)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김영헌 대한민국 대전광역시 서구
2 안흥배 대한민국 서울특별시 노원구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김종관 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
3 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.10.07 수리 (Accepted) 1-1-2010-0647494-10
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.06.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.07.13 수리 (Accepted) 9-1-2011-0058125-16
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.05.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0275984-15
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.07.04 수리 (Accepted) 1-1-2012-0533743-68
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.07.04 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0533735-03
7 등록결정서
Decision to grant
2012.11.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0686029-77
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판 상에 제 1 나노스피어 패턴을 형성하는 나노스피어 패턴 형성 단계;나노스피어 패턴화된 상기 기판을 에칭하여 상기 기판상에 제 2 나노스피어 패턴 및 다공성 홈을 형성하는 다공성 홈 형성 단계;상기 제 2 나노스피어 패턴을 제거하여 상기 기판 상에 패턴 요부와 패턴 철부만을 형성시키는 마스크 제거 단계;소스 물질 도포 장치를 이용하여 상기 기판상에 소스 물질을 도포하여 소스 물질 증착 막을 형성하는 소스 물질 증착막 형성 단계;소스 물질 증착 막이 형성된 상기 기판을 스핀코팅 방식으로 이용하여 상기 기판상에 메조 다공성막을 형성하는 메조 다공성막 형성 단계; 및 상기 기판을 건조 및 열처리공정을 통하여 결정 다공성막을 형성하는 결정 다공성막 형성 단계를 포함하는 패턴된 기판을 이용한 다공성 막의 제조 방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 다공성 홈은 상기 요부와 철부 사이에 형성되며 상기 결정 다공성막은 나노크기와 마이크로 크기의 하이브리드(hybrid) 다공성 막인 패턴된 기판을 이용한 다공성 막의 제조 방법
3 3
제 2 항에 있어서, 상기 소스 물질은 액상 프리커서인 패턴된 기판을 이용한 다공성 막의 제조 방법
4 4
제 2 항에 있어서,상기 결정 다공성막의 두께는 상기 결정 다공성막 형성 단계에서 시간, 온도를 조절함으로써 결정되는 패턴된 기판을 이용한 다공성 막의 제조 방법
5 5
제 2 항에 있어서, 상기 소스 물질 증착막 형성 단계 내지 결정 다공성막 형성 단계를 반복함으로써 상기 결정 다공성막의 두께가 조절되는 패턴된 기판을 이용한 다공성 막의 제조 방법
6 6
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.