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전자총으로 샘플에 전자빔을 주사하여 샘플에서 방출된 광을 검출하는 광검출기에 있어서, 샘플에서 방출된 상기 광이 투과되어 투과광을 방출하는 SrF2로 구성된 윈도우;상기 윈도우에서 방출된 상기 투과광이 입사되어 펄스형태의 2차 전자를 방출시키는 마이크로 채널판; 상기 마이크로 채널판에서 방출된 펄스형태의 상기 2차 전자를 검출하는 검출수단; 및상기 투과광이 입사되는 상기 마이크로 채널판의 일측면에 구비되어 2차 전자의 방출을 유도하는 코팅층;을 포함하고,상기 코팅층의 두께는 2500 ~ 3500Å이고, 상기 코팅층은 KBr으로 구성된 것을 특징으로 하는 마이크로 채널판을 갖는 광검출기
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제 1 항에 있어서, 상기 마이크로 채널판에 전압을 인가하여 상기 2차 전자를 가속시키는 전압인가부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 채널판을 갖는 광검출기
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제 2 항에 있어서, 상기 전압인가부에 의해 상기 마이크로 채널판에 인가되는 전압은 1700 ~ 2500V인 것을 특징으로 하는 마이크로 채널판을 갖는 광검출기
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제 1 항에 있어서, 상기 마이크로 채널판에는 쉐브론 패턴이 구비된 것을 특징으로 하는 마이크로 채널판을 갖는 광검출기
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제 7 항에 있어서, 상기 윈도우의 두께는 1
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제 1 항에 있어서, 중공관 형태로 내부에 상기 윈도우와 상기 마이크로 채널판을 구비하는 쉴드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 채널판을 갖는 광검출기
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제 9 항에 있어서, 상기 쉴드의 재질은 비철금속으로 구성되고, 상기 쉴드의 두께는 0
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제 1 항에 있어서, 상기 광이 주사되는 상기 윈도우의 일측과 소정간격으로 이격되게 구비되어 상기 윈도우가 양극 또는 음극이 되지 않도록 주사되는 상기 광을 제어하는 그리드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 채널판을 갖는 광검출기
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12
제 2 항에 있어서, 상기 검출수단과 연결되어 상기 전압인가부에 의해 인가되는 전압에 의해 가속된 상기 2차 전자가 증폭되어 펄스파 형태의 상기 2차 전자를 수렴시켜 방출하는 양극판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 채널판을 갖는 광검출기
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13
제1항, 제2항, 제3항, 제7항, 제8항, 제9항, 제10항, 제11항 또는 제12항 중 어느 한 항의 광검출기를 이용한 샘플분석시스템에 있어서, 상기 광검출기에 포함된 검출수단과 연결되어 상기 검출수단에서 검출된 펄스파 형태의 2차 전자를 전송받아 샘플 정보를 분석하는 분석수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 채널판을 갖는 광검출기를 이용한 샘플분석시스템
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14
제 13 항에 있어서, 상기 분석수단은 상기 2차 전자를 분석하여 샘플의 전자상태, 샘플의 오비탈 상태, 상기 샘플의 전자 점유 상태 및 샘플의 비전자 점유 상태 중 적어도 어느 하나의 정보를 얻는 것을 특징으로 하는 마이크로 채널판을 갖는 광검출기를 이용한 샘플분석시스템
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제1항, 제2항, 제3항, 제7항, 제8항, 제9항, 제10항, 제11항 또는 제12항 중 어느 한 항의 광검출기를 사용한 광검출방법에 있어서, 전자총에 의해 전자빔을 샘플에 주사하여 샘플에서 특정 광자 에너지를 갖는 광이 방출되는 단계;방출된 상기 광이 SrF2로 구성된 원도우에 투과되어 투과광이 방출되는 단계;상기 투과광이 마이크로 채널판에 입사되어 펄스파 형태의 2차 전자가 방출되는 단계; 및검출수단에서 의해 상기 2차 전자를 검출하는 단계;를 포함하고, 상기 2차 전자 방출단계는,상기 마이크로 채널판의 일측면 구비된 KBr로 구성되는 코팅층에 의해 상기 2차 전자의 방출을 유도하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 채널판을 갖는 광검출기를 사용한 광검출방법
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제 15 항에 있어서, 상기 2차 전자 방출단계는,전압인가부에 의해 상기 마이크로채널판에 전압을 인가하여 상기 2차 전자를 가속시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 채널판을 갖는 광검출기를 사용한 광검출방법
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제 15 항에 있어서, 상기 투과광 방출 단계 전에,상기 광이 주사되는 상기 윈도우의 일측면에 소정간격으로 이격되어 구비되는 그리드에 의해 상기 윈도우가 양극 또는 음극이 되지 않도록 상기 광을 조절하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 채널판을 갖는 광검출기를 사용한 광검출방법
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제 16 항에 있어서,상기 전압인가부에 의해 전압이 인가되어 가속된 상기 2차 전자가 양극판으로 증폭되어 펄스파 형태의 상기 2차 전자를 상기 검출수단에 전송하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 채널판을 갖는 광검출기를 사용한 광검출방법
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제1항, 제2항, 제3항, 제7항, 제8항, 제9항, 제10항 또는 제11항 중 어느 한 항의 광검출기를 이용한 샘플분석방법에 있어서, 전자총에 의해 전자빔을 샘플에 주사하여 샘플에서 특정 광자 에너지를 갖는 광이 방출되는 단계;방출된 상기 광이 SrF2로 구성된 원도우에 투과되어 투과광이 방출되는 단계;마이크로 채널판의 일측면 구비된 KBr로 구성되는 코팅층에 의해 상기 2차 전자의 방출을 유도하고, 상기 투과광이 마이크로 채널판에 입사되어 펄스파 형태의 2차 전자가 방출되는 단계; 검출수단에서 의해 상기 2차 전자를 검출하는 단계; 및검출된 펄스파형 상기 2차 전자를 검출수단과 연결된 분석수단에서 분석하여 샘플에 대한 정보를 얻는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광검출기를 사용한 광검출방법을 이용한 샘플분석방법
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