맞춤기술찾기

이전대상기술

미세압력 발생 및 제어 장치

  • 기술번호 : KST2015179684
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 미세압력 발생 및 제어 장치에 관한 것으로서, 압력소스(10)로부터 기체가 공급되는 배관과 연결되고 상기 기체의 압력을 조절하는 적어도 하나 이상의 레귤레이터(20); 상기 레귤레이터(20)에 연결되어 상기 기체를 완충 수용하는 버퍼챔버(30); 상기 버퍼챔버에 연통된 피시험장치 플랫홈(40); 및 상기 버퍼챔버(30)와 연통되며 버퍼챔버내의 압력이 설정된 기준압력보다 큰 경우에 압력을 배출하는 압력 조정수단(100)을 포함하는 것을 특징으로 하며, 기존 미세압력 발생 및 제어 장치에 비해 구조가 간단하고 저가이면서 신뢰도가 높다. 미세압력, 다이아프램, 발생
Int. CL G01L 13/02 (2006.01) G01L 27/00 (2006.01)
CPC G01L 13/025(2013.01) G01L 13/025(2013.01) G01L 13/025(2013.01) G01L 13/025(2013.01)
출원번호/일자 1020070044522 (2007.05.08)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-0916658-0000 (2009.09.02)
공개번호/일자 10-2008-0098994 (2008.11.12) 문서열기
공고번호/일자 (20090908) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.05.08)
심사청구항수 9

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 우삼용 대한민국 대전 유성구
2 송한욱 대한민국 대전 동구
3 최인묵 대한민국 대전 유성구
4 김부식 대한민국 대전 유성구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 특허법인다나 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *길 **, 신관 *층~*층, **층(역삼동, 광성빌딩)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2007.05.08 수리 (Accepted) 1-1-2007-0341429-71
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.02.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.03.13 수리 (Accepted) 9-1-2008-0017544-45
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2008.09.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0504616-17
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2008.11.28 수리 (Accepted) 1-1-2008-0822629-34
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2008.11.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0822625-52
7 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2008.12.10 수리 (Accepted) 1-1-2008-0849840-38
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.03.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0137640-39
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.05.22 수리 (Accepted) 1-1-2009-0308402-00
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.05.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0308399-49
11 등록결정서
Decision to grant
2009.08.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0360961-55
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
미세 압력을 발생하고 제어하는 장치에 있어서, 압력소스(10)로부터 기체가 공급되는 배관과 연결되고 상기 기체의 압력을 조절하는 적어도 하나 이상의 레귤레이터(20); 상기 레귤레이터(20)에 연결되어 상기 기체를 완충 수용하는 버퍼챔버(30); 상기 버퍼챔버에 연통된 피시험장치 플랫홈(40); 및 상기 버퍼챔버(30)와 연통되며 버퍼챔버내의 압력이 설정된 기준압력보다 큰 경우에 압력을 배출하는 압력 조정수단(100)을 포함하되, 상기 압력 조정수단(100)은 일측이 막음판(112)에 의해 폐쇄되고 중공부(106)를 지닌 실린더(114) 및 피스톤(108)을 구비하며, 상기 피스톤(108)과 연결된 구동축 및 상기 구동축에 연결되어 피스톤의 위치를 조절하는 구동수단(60)을 포함하며, 상기 막음판(112)에는 기체 유입구(102) 및 기체 유출구(104)가 구비되어 상기 기체 유입구(102)는 상기 버퍼챔버(30)에 연통되고 상기 기체 유출구(104)는 대기에 노출되며, 상기 막음판(112) 내측에는 상기 기체 유입구(102) 및 기체 유출구(104)를 상기 피스톤 중공부(106)로부터 격리하는 다이아프램(110)이 설치된 것을 특징으로 하는 미세압력 발생 및 제어 장치
2 2
삭제
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 다이아프램(110)은 변형식 탄성소재인 고무로 된 것을 특징으로 하는 미세압력 발생 및 제어 장치
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 다이아프램(110)은 상기 실린더 내경보다 크게 형성하여 실린더 일단부에 장착한 후 상기 막음판(112)을 체결함으로써 고정되는 것을 특징으로 하는 미세압력 발생 및 제어 장치
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 압력조정수단(100)은 일측에 상기 중공부(106)와 연통되며 기체 유입 및 방출을 위한 밸브(80)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세압력 발생 및 제어 장치
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 압력조정수단(100)은 실린더(114)내의 기준압력을 측정하기 위한 게이지(50)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세압력 발생 및 제어 장치
7 7
제 1 항에 있어서, 상기 구동수단(60)은 볼스크류를 구비하며 나사회전에 의하여 전후 구동력을 제공하는 것을 특징으로 하는 미세압력 발생 및 제어 장치
8 8
제 1 항에 있어서, 상기 구동수단(60)은 볼스크류 및 상기 볼스크류에 연결되어 구동력을 제공하는 스테핑 모터인 것을 특징으로 하는 미세압력 발생 및 제어 장치
9 9
제 8 항에 있어서, 상기 스테핑모터는 컴퓨터(70)에 의하여 스텝구동이 제어되는 것을 특징으로 하는 미세압력 발생 및 제어 장치
10 10
제 1 항에 있어서, 상기 레귤레이터(20)는 컴퓨터에 의하여 제어되는 것을 특징으로 하는 미세압력 발생 및 제어 장치
11 11
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.