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입사되는 제1광 및 제2광을 각각 편광 성분별로 반사 및 투과시켜 상기 제1광을 제3광과 제4광으로 분광시키고 상기 제2광을 제5광과 제6광으로 분광시키는 편광 광분할기; 및상기 편광 광분할기로부터 상기 제3 내지 제6광 중 적어도 어느 하나의 광이 입사되면, 상기 입사되는 광의 경로를 변경하여 반사시키는 복수의 코너큐브 프리즘;을 포함하며,상기 복수의 코너큐브 프리즘은,상기 편광 광분할기의 상측면에 위치하여 상기 편광 광분할기로부터 투과되어 입사되는 상기 제4광과 제6광의 경로를 변경시키는 제1코너큐브 프리즘;상기 편광 광분할기의 일측면에 위치하여 상기 편광 광분할기로부터 반사되어 입사되는 상기 제4광의 경로를 변경시키는 제2코너큐브 프리즘; 및상기 편광 광분할기의 일측면에 위치하여 상기 편광 광분할기로부터 반사되어 입사되는 상기 제6광의 경로를 변경시키는 제3코너큐브 프리즘;을 포함하는 것을 특징으로 하는 열팽창계수 측정 간섭계
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제 1항에 있어서,상기 입사되는 광은 상기 복수의 코너큐브 프리즘 중 적어도 어느 하나를 경유하여 다른 코너큐브 프리즘으로 반복적으로 입사되는 것을 특징으로 하는 열팽창 계수 측정 간섭계
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제 1항에 있어서,상기 제4광이 상기 제1코너큐브 프리즘에 입사된 후에 상기 제2코너큐브 프리즘을 경유하여 상기 제1코너큐브 프리즘으로 입사되는 것을 특징으로 하는 열팽창계수 측정 간섭계
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제 1항에 있어서,상기 제6광이 상기 제1코너큐브 프리즘에 입사된 후에 상기 제3코너큐브 프리즘에 경유하여 상기 제1코너큐브 프리즘으로 입사되는 것을 특징으로 하는 열팽창계수 측정 간섭계
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제 1항에 있어서,상기 열팽창계수 측정 간섭계는,상기 편광 광분할기의 하부에 위치하여 입사된 광을 반사하는 측정대상물과 측정대상물이 안착되는 기준판이 내설된 진공챔버; 및상기 편광 광분할기의 하측면에 위치하여 상기 편광 광분할기로부터 입사되는 제4광과 제6광을 편광조절하여 상기 진공챔버로 출사하고 상기 측정대상물과 기준판으로부터 반사되는 제4광과 제6광을 편광조절하여 상기 편광 광분할기로 출사하는 사분의일파장판;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 열팽창계수 측정 간섭계
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제 6항에 있어서,상기 복수의 코너큐브 프리즘 중에 어느 하나로부터 반사된 광은 상기 편광 광분할기를 통해 상기 사분의일파장판으로 출사되는 것을 특징으로 하는 열팽창계수 측정 간섭계;
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제 6항에 있어서,상기 열팽창계수 측정 간섭계는,상기 측정대상물의 온도를 출력하는 온도지시부;편광 광분할기로부터 입사되는 제3광과 제5광, 제4광과 제6광을 각각 결합하여 반사키는 광결합기;상기 결합된 광으로부터 발생되는 간섭현상으로 생성된 맥놀이 신호를 출력하는 광검출기;상기 출력된 맥놀이 신호로부터 맥놀이 신호의 위상을 검출하는 위상검출기; 및상기 검출된 위상과 상기 출력된 온도를 기초로 상기 측정대상물의 열팽창계수를 산출하는 연산부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 열팽창계수 측정 간섭계
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편광 광분할기와 복수의 코너큐브 프리즘을 구비하는 간섭계를 이용하여 기준판에 안착된 측정대상물의 열팽창계수를 측정하는 방법에 있어서,광을 생성하고 생성된 광을 제1광과 제2광으로 분리하는 광생성단계;상기 분리된 제1광과 제2광의 주파수를 각각 변조하는 광변조단계;상기 변조된 제1광과 제2광을 편광성분별로 반사 및 투과시켜 제3광과 제4광 및 제5광과 제6광으로 각각 분광시키는 분광단계;상기 분광된 제4광과 제6광을 각각 상기 기준판과 측정대상물에 투사시키는 투사단계;상기 투사된 제4광과 제6광을 각각 상기 기준판과 측정대상물로부터 반사시켜 상기 편광 광분할기로 입사시키는 입사단계;및상기 편광 광분할기로 입사된 제4광과 제6광을 상기 복수의 코너큐브 프리즘 중에 어느 하나를 선택적으로 경유하게 하여 각각 상기 기준판과 측정대상물에 투사시키는 재투사단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 열팽창계수 측정 방법
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제 9항에 있어서,상기 재투사단계에서,제4광 및 제6광 각각에 대하여 상기 복수의 코너큐브 프리즘 중에 선택되는 코너큐브 프리즘이 적어도 두개 이상인 것을 특징으로 하는 열팽창계수 측정 방법
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제 9항에 있어서,상기 열팽창계수 측정 방법은,상기 분광된 제4광과 제6광을 편광조절하는 제1편광조절단계; 및상기 기준판과 측정대상물로부터 반사된 제4광과 제6광을 편광조절하는 제2편광조절단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 열팽창계수 측정 방법
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제 9항에 있어서,상기 열팽창계수 측정 방법은,상기 분광된 제3광과 제5광을 결합하는 제1결합단계;상기 편광 광분할기로 입사된 제4광과 제6광을 결합하는 제2결합단계;상기 결합된 광으로부터 발생되는 간섭 무늬의 복수 명암의 패턴분포를 전기신호로 변환하여 맥놀이 신호를 출력하는 광신호변환단계;상기 측정대상물의 온도를 측정하여 출력하는 온도감지단계; 및상기 출력된 맥놀이 신호의 위상을 검출하여 상기 검출된 위상과 상기 측정된 온도를 기초로 상기 측정대상물의 열팽창계수를 산출하는 산출단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 열팽창계수 측정방법
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