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플라즈마 챔버의 내부에 삽입되는 내부 안테나; 및상기 내부 안테나에 전력을 공급하는 변압기를 포함하고,상기 변압기는 :중심도선 및 상기 중심도선을 싸고 있는 피복 도선을 포함하는 3개 이상의 동축 케이블을 포함하되,상기 중심 도선들의 일단은 서로 병렬 연결되어 제1 RF 전원에 연결되고, 상기 중심도선들의 타단은 접지되고, 상기 내부 안테나의 일단은 상기 중심도선의 일단에 연결되고, 상기 내부 안테나의 타단은 상기 피복 도선의 일단에 연결되고,상기 피복 도선들은 플로팅되고 서로 병결연결되고,상기 변압기는 입력되는 전압을 낮추어 출력하고, 입력되는 전류를 증가시켜 출력하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치
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제 1 항에 있어서,상기 플라즈마 챔버 내부에 배치된 전극;상기 변압기에 전력을 공급하는 상기 제1 RF 전원; 및상기 제1 RF 전원과 상기 변압기 사이에 배치되어 임피던스를 조절하는 제1 임피던스 매칭 회로를 더 포함하고,상기 전극은 상기 중심 도선의 일단에 연결되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치
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제 1 항에 있어서,상기 플라즈마 챔버 내부에 배치된 전극;상기 변압기에 전력을 공급하는 상기 제1 RF 전원; 및상기 제1 RF 전원과 상기 변압기 사이에 배치되어 임피던스를 조절하는 제1 임피던스 매칭 회로를 더 포함하고,상기 전극은 상기 피복 도선의 일단에 연결되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치
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제 1 항에 있어서,상기 플라즈마 챔버 내부에 배치된 전극;상기 전극에 전력을 인가하는 제2 RF 전원; 및상기 제2 RF 전원과 상기 전극 사이에 배치되어 임피던스를 조절하는 제2 임피선스 매칭 회로를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치
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제 1 항에 있어서,상기 내부 안테나는복수의 원턴(one turn) 안테나들을 포함하고,상기 원턴 안테나들은 중첩 배치되고 서로 병렬연결되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치
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제 5 항에 있어서,상기 원턴 안테나들의 반경은 차례로 감소하고,기판에서 멀어짐에 따라 상기 원턴 안내나들의 반경은 감소하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치
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플라즈마 챔버의 내부에 삽입되는 내부 안테나에 RF 전력을 공급하는 변압기에 있어서,상기 변압기는 중심도선;및상기 중심도선을 싸고 있는 피복 도선을 포함하는 3개 이상의 동축 케이블을 포함하되,상기 중심 도선들의 일단은 서로 병렬 연결되어 전원에 연결되고, 상기 중심도선들의 타단은 접지되고, 상기 내부 안테나의 일단은 상기 중심도선의 일단에 연결되고, 상기 내부 안테나의 타단은 상기 피복 도선의 일단에 연결되고,상기 피복 도선들은 플로팅되고 서로 병결연결되고,상기 변압기는 입력되는 전압을 낮추어 출력하고, 입력되는 전류를 증가시켜 출력하는 것을 특징으로 하는 변압기
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