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레이저 간섭계에 있어서,
변위를 측정하기 위해 입사광을 측정 경로로 유도하는 편광 광선 분할기를 통해 경로가 설정된 광을 코너 큐브 어레이를 이용하여 광 경로를 증가시킨 후 이 빛을 상기 편광 광선 분할기에 반사시키는 다중 경로 형성기를 포함하는 것을 특징으로 하는 멀티패스 레이저 간섭계
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제1항에 있어서, 상기 다중 경로 형성기는,
수평 방향으로 이동하면서 입사된 광의 반사와 재반사를 수행하는 이동 코너 큐브 어레이와;
상기 이동 코너 큐브 어레이에서 반사된 광을 상기 이동 코너 큐브 어레이에 반사와 재반사하는 고정 코너 큐브 어레이를 포함하는 것을 특징으로 하는 멀티패스 레이저 간섭계
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제2항에 있어서, 상기 이동 코너 큐브 어레이는 내부에 복수의 코너 큐브가 한쪽 방향으로 배열된 것을 특징으로 하는 멀티패스 레이저 간섭계
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제2항에 있어서, 상기 고정 코너 큐브 어레이는 내부에 복수의 코너 큐브가 한쪽 방향으로 배열되며, 최종 코너 큐브의 측면에는 입사 광을 반사하기 위한 미러가 포함된 것을 특징으로 하는 멀티패스 레이저 간섭계
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제2항에 있어서, 상기 이동 코너 큐브 어레이와 상기 고정 코너 큐브 어레이는 비대칭적으로 구현되는 것을 특징으로 하는 멀티패스 레이저 간섭계
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제2항에 있어서, 상기 이동 코너 큐브 어레이와 고정 코너 큐브 어레이는 각각 내부에 복수의 코너 큐브가 2차원적으로 배열된 것을 특징으로 하는 멀티패스 레이저 간섭계
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7
제6항에 있어서, 상기 고정 코너 큐브 어레이는 내부에 입사된 광을 이동 코너 큐브 어레이로 반사시키기 위한 미러를 더 구비한 것을 특징으로 하는 멀티패스 레이저 간섭계
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제6항에 있어서, 상기 2차원적으로 배열된 이동 코너 큐브 어레이와 상기 고정 큐브 어레이는 대칭적으로 구현되는 것을 특징으로 하는 멀티패스 레이저 간섭계
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