| 1 |
1
화학 증착 공정에 사용되는 전구체 보관 용기(300)에 구비되는 전구체 상태 진단 장치에 있어서,상기 전구체 보관 용기(300)의 하면 전체에 걸쳐 구비되는 제1가이드(120) 및 상기 전구체 보관 용기(300) 하면을 따라 이동 가능하게 상기 제1가이드(120) 상에 구비되어 전구체의 잔존량을 측정하는 제1센서(110)를 포함하여 이루어지는 제1진단장치(100); 및상기 전구체 보관 용기(300)의 측면 일부에 걸쳐 구비되는 제2가이드(220) 및 상기 전구체 보관 용기(300) 측면을 따라 이동 가능하게 상기 제2가이드(220) 상에 구비되어 전구체의 분해도를 측정하는 제2센서(210)를 포함하여 이루어지는 제2진단장치(200); 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 이중측정장치를 이용한 전구체 상태 진단 장치
|
| 2 |
2
제 1항에 있어서, 상기 제1센서(110)는초음파 센서 또는 진동 센서인 것을 특징으로 하는 이중측정장치를 이용한 전구체 상태 진단 장치
|
| 3 |
3
제 1항에 있어서, 상기 제1가이드(120)는상기 제1센서(110)가 고정되는 제1받침대(121), 상기 제1받침대(121)의 측면에 돌출되어 형성되는 적어도 1개 이상의 제1받침대돌기(122) 및 상기 제1받침대돌기(122)가 슬라이딩하여 이동 가능하게 끼워지는 제1가이드홈(123)을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 이중측정장치를 이용한 전구체 상태 진단 장치
|
| 4 |
4
제 3항에 있어서, 상기 제1가이드(120)는상기 제1센서(110)가 상기 전구체 보관 용기(300)의 하면 전체 범위에 걸쳐 이동 가능하도록 다수 개의 이동 경로가 형성되는 것을 특징으로 하는 이중측정장치를 이용한 전구체 상태 진단 장치
|
| 5 |
5
제 4항에 있어서, 상기 제1가이드(120)는상기 제1센서(110)의 위치를 고정하는 제1고정수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 이중측정장치를 이용한 전구체 상태 진단 장치
|
| 6 |
6
제 5항에 있어서, 상기 제1고정수단은클립, 클램프 또는 나사를 포함하는 기계적 수단으로 형성되는 것을 특징으로 하는 이중측정장치를 이용한 전구체 상태 진단 장치
|
| 7 |
7
제 1항에 있어서, 상기 제2센서(210)는초음파 센서 또는 진동 센서인 것을 특징으로 하는 이중측정장치를 이용한 전구체 상태 진단 장치
|
| 8 |
8
제 1항에 있어서, 상기 제2가이드(220)는상기 제2센서(210)가 고정되는 제2받침대(221), 상기 제2받침대(221)의 측면에 돌출되어 형성되는 적어도 1개 이상의 제2받침대돌기(222) 및 상기 제2받침대돌기(222)가 슬라이딩하여 이동 가능하게 끼워지는 제2가이드홈(223)을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 이중측정장치를 이용한 전구체 상태 진단 장치
|
| 9 |
9
제 8항에 있어서,상기 제2센서(210) 및 상기 제2가이드(220)와 상기 전구체 보관 용기(300)의 측면이 밀착하도록상기 제2센서(210) 및 상기 제2가이드(220)의 밀착면이 상기 전구체 보관 용기(300) 측면의 곡률과 동일한 곡률을 갖는 곡면으로 형성되거나,또는 상기 전구체 보관 용기(300)의 측면 일부가 평면으로 형성되는 것을 특징으로 하는 이중측정장치를 이용한 전구체 상태 진단 장치
|
| 10 |
10
제 9항에 있어서, 상기 제2가이드(220)는상기 제2센서(210)의 위치를 고정하는 제2고정수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 이중측정장치를 이용한 전구체 상태 진단 장치
|
| 11 |
11
제 10항에 있어서, 상기 제2고정수단은클립, 클램프 또는 나사를 포함하는 기계적 수단으로 형성되는 것을 특징으로 하는 이중측정장치를 이용한 전구체 상태 진단 장치
|
| 12 |
12
제 1항에 있어서, 상기 제1진단장치(100) 및 상기 제2진단장치(200)는상기 전구체 보관 용기(300)에 각각 독립적으로 형성되어 구비되거나, 또는 일체로 형성되어 구비되는 것을 특징으로 하는 이중측정장치를 이용한 전구체 상태 진단 장치
|
| 13 |
13
제 1항에 있어서, 상기 제1진단장치(100) 또는 상기 제2진단장치(200)는상기 전구체 보관 용기(300) 내의 전구체 잔존량 또는 분해도를 측정하여 측정값이 소정의 기준범위를 벗어나면 경고 신호를 출력하는 경고장치(400)를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 이중측정장치를 이용한 전구체 상태 진단 장치
|
| 14 |
14
제 13항에 있어서, 상기 경고장치(400)는경고음 또는 경고화면으로 경고를 출력하는 것을 특징으로 하는 이중측정장치를 이용한 전구체 상태 진단 장치
|
