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화학증착용 전구체 분해 진단장치 및 진단방법

  • 기술번호 : KST2015179731
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 화학증착 공정 중 용기 내 잔존하는 전구체의 변질 정도를 초음파의 송/수신을 통해 발생되는 신호를 분석하여 정확히 측정할 수 있는 화학 증착 공정시 용기 내의 전구체 분해도 진단장치 및 진단방법에 관한 것이다. 이를 위해, 웨이퍼(7)를 증착하는 반응기(10), 상기 반응기(10)와 연결된 전구체 용기(20)로 구성된 화학증착용 전구체 분해장치에 있어서, 상기 전구체 용기(20)의 일측에 부착되어 상기 전구체 용기(20) 내부로 초음파를 투사하고, 반사된 상기 초음파를 수신하는 초음파 센서(30); 초음파 센서(30)를 구동하고, 상기 초음파 센서(30)의 출력신호를 증폭하는 초음파 송수신기(40); 초음파 송수신기(40)의 출력신호를 변환하는 A/D 변환기(50); A/D 변환기(50)의 출력신호를 소정의 기준 데이터와 비교하는 비교수단; 및 비교수단의 비교결과에 기초하여 증착공정의 계속여부를 결정하는 결정수단으로 구성된다. 따라서, 전구체의 분해로 인한 피해를 사전에 방지하여 제품 불량율을 현저하게 감소시킬 수 있고, 상기의 측정결과를 토대로 전구체의 정확한 교체시기를 알 수 있으므로 전구체의 사용기간을 최대로 연장할 수 있다.전구체, 화학, 증착, 운반가스, 초음파, 반사, 강도, 비교, 알람, 분해
Int. CL H01L 21/02 (2006.01)
CPC H01L 21/205(2013.01) H01L 21/205(2013.01) H01L 21/205(2013.01) H01L 21/205(2013.01)
출원번호/일자 1020050111221 (2005.11.21)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-0724091-0000 (2007.05.25)
공개번호/일자 10-2007-0053436 (2007.05.25) 문서열기
공고번호/일자 (20070604) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.11.21)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 윤주영 대한민국 대전 유성구
2 신용현 대한민국 대전 유성구
3 정광화 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 손은진 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길*, *층(대치동 삼성빌딩)(특허법인 아이퍼스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2005.11.21 수리 (Accepted) 1-1-2005-0667949-88
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2006.02.15 수리 (Accepted) 4-1-2006-5019752-35
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2006.11.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0672269-48
4 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2007.01.15 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0039284-96
5 의견서
Written Opinion		 2007.01.15 수리 (Accepted) 1-1-2007-0039451-14
6 등록결정서
Decision to grant		 2007.05.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0249152-39
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
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번호 청구항
1 1
웨이퍼(7)를 증착하는 반응기(10), 상기 반응기(10)와 연결된 전구체 용기(20)로 구성된 화학증착용 전구체 분해장치에 있어서, 상기 전구체 용기(20)의 일측에 부착되어 상기 전구체 용기(20) 내부로 초음파를 투사하고, 반사된 상기 초음파를 수신하는 초음파 센서(30);상기 초음파 센서(30)를 구동하고, 상기 초음파 센서(30)의 출력신호를 증폭하는 초음파 송수신기(40);상기 초음파 송수신기(40)의 출력신호를 변환하는 A/D 변환기(50);상기 A/D 변환기(50)의 출력신호를 초음파의 속도 또는 강도로 이루어진 기준 데이터와 비교하는 비교수단; 및상기 비교수단의 비교결과에 기초하여 증착공정의 계속여부를 결정하는 결정수단으로 구성되는 것을 특징으로 하는 화학증착용 전구체 분해 진단장치
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 초음파 센서(30)는 상기 전구체 용기(20)의 측면 또는 하면에 부착되는 것을 특징으로 하는 화학증착용 전구체 분해 진단장치
3 3
삭제
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 전구체 용기(20) 내의 전구체(25)는 무기, 유기 및 유기금속 화합물중 하나인 것을 특징으로 하는 화학증착용 전구체 분해 진단장치
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 결정수단은 상기 증착공정을 중단해야 한다고 판단되었을 때 경고음을 재생하거나 또는 경고화면을 표시하는 경고수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 화학증착용 전구체 분해 진단장치
6 6
전구체 용기(20) 및 상기 전구체 용기(20)와 연결되어 화학 증착 공정이 수행되는 반응기(10)를 이용한 화학증착용 전구체 분해방법에 있어서, 상기 전구체 용기(20)의 일측에 부착된 초음파 센서(30)를 이용하여 상기 전구체 용기(20) 내부로 초음파를 투사하는 단계(S10);상기 전구체 용기(20) 내부에서 전구체를 지나 상기 초음파가 반사되는 단계(S20);상기 초음파 센서(30)내에 구비된 수신부가 반사된 초음파 신호를 수신하는 단계(S30);상기 수신부가 수신한 초음파 신호를 증폭하고, A/D 변환하는 단계;변환된 데이터를 소정의 기준 데이터와 비교하는 단계(S40);상기 비교결과에 기초하여 증착공정의 계속여부를 결정하는 단계;로 구성되는 것을 특징으로 하는 화학증착용 전구체 분해 진단방법
7 7
제 6 항에 있어서, 상기 기준 데이터는 상기 초음파의 속도 또는 강도를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학증착용 전구체 분해 진단방법
8 8
제 6 항에 있어서, 상기 증착공정을 중단해야 한다고 판단되었을 때 경고음을 재생하거나 또는 경고화면을 표시하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 화학증착용 전구체 분해 진단방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.