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상전이 화합물을 포함하는 메모리 소자부를 포함하며,상기 상전이 화합물에는 상기 상전이 화합물의 상전이를 제어하기 위한 이온 또는 원자가 임플란트되어 있으며,상기 상전이 화합물은 칼코겐 화합물이며,상기 이온 또는 원자는 Ge, N, Sb, Te, O, Sn, Bi 중 하나인 메모리
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제1항에서,상기 칼코겐 화합물은 Ge, Sb, Te를 포함하는 화합물인 메모리
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제3항에서,상기 Ge, Sb, Te를 포함하는 화합물은 Ge2Sb2Te5 인 메모리
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상전이 화합물을 포함하는 메모리 소자부를 포함하며,상기 상전이 화합물에는 상기 상전이 화합물의 상전이를 제어하기 위한 이온 또는 원자가 임플란트되어 있으며,상기 상전이 화합물은 Ag, In, Sb, Te를 포함하며,상기 이온 또는 원자는 Ag, In, Sb, Te 중 하나인 메모리
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칼코겐 화합물을 이용하여 메모리를 제조하는 방법에 있어서,칼코겐 화합물로 상전이 화합물을 형성하는 단계, 및 상기 칼코겐 화합물로 형성된 상전이 화합물에 상전이 제어 이온 또는 원자를 임플란트하는 단계를 포함하며,상기 상전이 제어 이온 또는 원자는 Ge, N, Sb, Te, O, Sn, Bi 중 하나인 메모리 제조 방법
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제8항에서,상기 칼코겐 화합물은 Ge2Sb2Te5 인 메모리 제조 방법
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제8항에서,상기 칼코겐 화합물에 상전이 제어 이온 또는 원자를 임플란트하는 단계는 상기 칼코겐 화합물의 표면에 플라즈마 처리를 행하는 단계와 함께 수행하는 메모리 제조 방법
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