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상, 하부 기판(63,61)과, 상기 하부 기판(61)의 상부에 패터닝된 다수의 하부 투명 전극(62)과,상기 하부 기판(61) 상에 상기 하부 투명 전극(62)의 주변에 형성되는 돔 형태의 스페이서(66)와, 상기 상부 기판(63)의 하부에 상기 하부 투명 전극(62)과 대응되도록 패터닝된 상부 투명 전극(64)과,상기 하부 투명 전극(62)과 상부 투명 전극(64)이 전기적으로 접촉되지 않도록 상기 하부 투명 전극(62) 상부 또는 상기 상부 투명 전극(64) 하부에 형성된 투명 절연층(65)을 포함하여 이루어지되,상기 상부 기판(63)과 하부 기판(61)은 상기 상부 투명 전극(64)과 하부 투명 전극(62)이 상호 대향하고 일정 거리 이격되게 에어 갭(68)을 유지하도록 접착제(67)에 의해 합착되어,상기 하부 투명 전극(62)과 상부 투명 전극(64) 사이의 정전 용량 변화에 따라 접촉 위치 및 접촉력을 감지하도록 구성된 것을 특징으로 하는 정전용량 방식 촉각 센서
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제 1항에 있어서,상기 하부 투명 전극(62) 및 상부 투명 전극(64)은 인듐주석 산화물(ITO) 또는 탄소나노튜브(CNT)로 이루어짐을 특징으로 하는 정전용량 방식 촉각 센서
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상부 기판에 투명 전극 물질을 증착하는 단계와,상기 투명 전극 물질을 패터닝하여 다수의 상부 투명 전극을 형성하는 단계와,하부 기판에 투명 전극 물질을 증착하는 단계와,상기 투명 전극 물질을 패터닝 하여 상기 상부 투명 전극과 대응되도록 다수의 하부 투명 전극을 형성하는 단계와,상기 상부 투명 전극 또는 하부 투명 전극의 표면에 선택적으로 절연층을 형성하는 단계와,상기 하부 기판의 상기 하부 투명 전극 주변에 돔 형태의 다수의 스페이서를 형성하는 단계와,상기 상부 투명 전극과 하부 투명 전극이 상호 대향되며 일정 거리 이격되어 에어 갭을 유지하도록 상기 상부 기판과 상기 하부 기판을 접착제를 통해 합착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전용량 방식 촉각 센서 제조 방법
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제 3항에 있어서,상기 투명 전극 물질은 인듐주석 산화물(ITO)인 것을 특징으로 하는 정전용량 방식 촉각 센서 제조 방법
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제 3항에 있어서,상기 투명 전극 물질은 탄소나노튜브(CNT)인 것을 특징으로 하는 정전용량 방식 촉각 센서 제조 방법
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하부 기판(81)과, 상기 하부 기판(81) 상에 일정 간격을 두고 패터닝된 다수의 하부 투명 전극(82)과, 상기 하부 기판(81) 상에 접착제(87)를 통해 합착되며 상기 하부 투명 전극(82)이 수용되고 상기 하부 기판(81)과의 사이에 에어 갭(86)을 형성하도록 그 하부면에 트렌치(65)가 형성된 상부 기판(83)과, 상기 하부 투명 전극(82)과 대응되도록 상기 상부 기판(83) 표면에 패터닝된 상부 투명 전극(84) 을 포함하여, 상기 하부 투명 전극(82)과 상부 투명 전극(84) 사이의 정전 용량 변화에 따라 접촉 위치 및 접촉력을 측정하도록 구성된 것을 특징으로 하는 정전용량 방식 촉각 센서
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제 6항에 있어서,상기 하부 투명 전극(82) 및 상부 투명 전극(84)은 인듐주석 산화물(ITO) 또는 탄소나노튜브(CNT)로 이루어짐을 특징으로 하는 정전용량 방식 촉각 센서
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하부 기판에 투명 전극 물질을 증착하는 단계와,상기 투명 전극 물질을 패터닝하여 다수의 하부 투명 전극을 형성하는 단계와,상부 기판에 투명 전극 물질을 증착하는 단계와,상기 투명 전극 물질을 패터닝하여 상기 하부 투명 전극과 대응되는 다수의 상부 투명 전극(84)을 형성하는 단계와,상기 상부 투명 전극(84)이 형성된 영역의 상기 상부 기판의 하부면을 식각하여 다수의 트렌치를 형성하는 단계와,상기 하부 투명 전극이 상기 트렌치에 수용되어 상기 상부 투명 전극(84)과 대응되도록 상기 하부 기판과 상기 상부 기판을 접착제를 통해 합착함으로써 트렌치에 의해 에어 갭(air gap)을 형성하도록 하는 것을 특징으로 하는 정전용량 방식 촉각 센서 제조 방법
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제 8항에 있어서,상기 투명 전극 물질은 인듐주석 산화물(ITO)인 것을 특징으로 하는 정전용량 방식 촉각 센서 제조 방법
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제 8항에 있어서,상기 투명 전극 물질은 탄소나노튜브(CNT)인 것을 특징으로 하는 정전용량 방식 촉각 센서 제조 방법
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제 8항에 있어서,상기 상부 기판의 하부면을 식각하여 다수의 트렌치를 형성하는 단계는 수산화 칼륨(KOH) 수용액을 이용한 습식 식각으로 실시하는 것을 특징으로 하는 정전용량 방식 촉각 센서 제조 방법
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