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1
광원으로부터 방출된 광을 유리 웨이퍼에 조사하는 광조사단계;
상기 유리 웨이퍼의 하면에서 반사된 제 1광 및 상기 유리 웨이퍼의 하면을 투과하여 기준면에서 반사된 제 2광을 중첩하여 간섭무늬를 생성하는 간섭무늬생성단계;
상기 생성된 간섭무늬를 광검출부으로 검출하는 검출단계; 및
상기 검출된 간섭무늬를 기초로 상기 유리 웨이퍼의 하면의 평탄도를 산출하는 산출단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 웨이퍼 형상 측정 방법
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2
제 1항에 있어서,
상기 광원은 확장광원인 것을 특징으로 하는 유리 웨이퍼 형상 측정 방법
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3
제 1항에 있어서,
상기 광의 가간섭거리는 상기 유리 웨이퍼의 두께보다는 작고 상기 유리 웨이퍼 및 기준면 사이의 간격보다는 긴 것을 특징으로 하는 유리 웨이퍼 형상 측정 방법
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4
제 1항에 있어서,
상기 광원의 크기는 상기 제 1광 및 제 2광 사이의 광노정차의 오차가 상기 광의 파장의 4분의 1이 이하가 되게 하는 크기인 것을 특징으로 하는 유리 웨이퍼 형상 측정 방법
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5
제 1항에 있어서,
상기 유리 웨이퍼 및 광검출부 사이의 거리는 상기 제 1광 및 제 2광 사이의 광노정차의 오차가 상기 광의 파장의 4분의 1 이하가 되게 하는 거리 이상인 것을 특징으로 하는 유리 웨이퍼 형상 측정 방법
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6
제 1항에 있어서,
상기 간섭무늬생성단계에서,
상기 생성된 간섭무늬의 곡률 산출이 필요한 경우에는, 상기 유리 웨이퍼 상면을 눌러서 상기 유리 웨이퍼 및 기준면 사이의 간격을 변화시켜 간섭무늬를 생성하는 것을 특징으로 하는 유리 웨이퍼 형상 측정 방법
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7
제 1항에 있어서,
상기 간섭무늬생성단계는,
상기 제 1광 및 제 2광을 각각 상기 유리 웨이퍼의 하면 및 상기 기준면의 상면에서 반사하는 단계; 및
상기 반사된 제 1광 및 제 2광을 필터링하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 웨이퍼 형상 측정 방법
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8
제 1항에 있어서,
상기 기준면은 소정의 간격으로 형성된 직선홈을 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 웨이퍼 형상 측정 방법
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9
광을 방출하여 유리 웨이퍼에 조사하는 광조사부;
상기 유리 웨이퍼를 지탱하고 상기 유리 웨이퍼의 하면을 투과한 기준광을 반사하는 플랫;
상기 유리 웨이퍼의 하면에서 반사된 측정광 및 상기 반사된 기준광을 중첩하여 간섭무늬를 생성하는 결상렌즈;
상시 생성된 간섭무늬를 검출하는 광검출부; 및
상기 검출된 간섭무늬를 기초로 상기 유리 웨이퍼의 하면의 평탄도를 산출하는 산출부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 웨이퍼 형상 측정 장치
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10
제 9항에 있어서,
상기 광조사부는 확장광원을 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 웨이퍼 형상 측정 장치
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11
제 9항에 있어서,
상기 광의 가간섭거리는 상기 유리 웨이퍼의 두께보다는 작고 상기 유리 웨이퍼 및 플랫 사이의 간격보다는 긴 것을 특징으로 하는 유리 웨이퍼 형상 측정 장치
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12
제 9항에 있어서,
상기 광조사부는,
상기 측정광 및 기준광 사이의 광노정차의 오차가 상기 광의 파장의 4분의 1이 이하가 되게 하는 크기를 갖는 광원을 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 웨이퍼 형상 측정 장치
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13
제 9항에 있어서,
상기 광검출부 및 유리 웨이퍼 사이의 거리는 상기 측정광 및 기준광 사이의 광노정차의 오차가 상기 광의 파장의 4분의 1 이하가 되게 하는 거리 이상인 것을 특징으로 하는 유리 웨이퍼 형상 측정 장치
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14
제 9항에 있어서,
상기 유리 웨이퍼 형상 측정 장치는,
상기 측정광 및 기준광을 필터링하는 간섭필터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 웨이퍼 형상 측정 장치
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15
제 9항에 있어서,
상기 플랫은 소정의 간격으로 형성된 직선홈을 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 웨이퍼 형상 측정 장치
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제 1광을 유리 웨이퍼에 조사하고 상기 유리 웨이퍼의 하면에서 반사된 제 1측정광 및 상기 유리 웨이퍼의 하면을 투과하여 기준면에서 반사된 제 1기준광을 중첩하여 뉴튼 간섭무늬를 생성하는 뉴튼 간섭무늬 생성단계;
제 2광을 상기 유리 웨이퍼에 조사하고 상기 유리 웨이퍼의 상면 및 하면에서 각각 반사된 제 2측정광 및 제 2기준광을 중첩하여 하이딩거 간섭무늬를 생성하는 하이딩거 간섭무늬 생성단계; 및
상기 생성된 뉴튼 간섭무늬 및 하이딩거 간섭무늬를 기초로 상기 유리 웨이퍼 형상을 산출하는 산출단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 웨이퍼 형상 측정 방법
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17
제 16항에 있어서,
상기 산출단계는,
상기 뉴튼 간섭무늬를 기초로 상기 유리 웨이퍼의 하면의 평탄도 및 곡률을 산출하는 단계;
상기 하이딩거 간섭무늬를 기초로 상기 유리 웨이퍼의 두께변화를 산출하는 단계; 및
상기 산출된 평탄도, 곡률 및 두께변화를 기초로 상기 유리 웨이퍼의 상면 형상을 산출하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 웨이퍼 형상 측정 방법
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18
제 16항에 있어서,
상기 제 1광의 가간섭거리는 상기 유리 웨이퍼의 두께보다는 작고 상기 유리 웨이퍼 및 기준면 사이의 간격보다는 긴 것을 특징으로 하는 유리 웨이퍼 형상 측정 방법
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