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용기 내에 화학물질 충진시 수위 요동 방지기구를 구비한수위 진단장치

  • 기술번호 : KST2015179755
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반도체 제조공정 등의 화학증착 공정에 사용되는 용기 내의 액상 화학물질의 재 충진시 그 수위가 요동하는 것을 방지하여 수위를 안정적으로 측정할 수 있도록 하는 용기 내 액상 화학 물질의 수위 요동 방지기구를 구비한 수위 진단장치에 대한 것으로서, 액상 화학 물질이 수용된 용기와; 상기 용기 내부의 액상 화학 물질의 수위를 측정하기 위하여 용기 하부에 배치된 초음파 센서를 포함하는 액상 화학 물질의 수위 진단기구; 상기 수위 진단기구와 전기적으로 연결되어 수신된 아날로그 초음파 신호를 디지탈 신호로 변환하는 A/D 변환기; 상기 A/D 변환기에 전기적으로 연결되어 이미 설정된 기준 수위 데이터와 비교하여 용기 내 액상 화학 물질의 수위가 기준 수위 이하인 여부를 판단하는 제어부; 상기 제어부에 전기적으로 연결되어 용기 내의 액상 화학 물질의 수위가 기준 수위 이하인 경우 작동하는 경보기구; 및 상기 용기 내에 액상 화학물질을 공급 파이프를 통해 보충시 발생하는 수위의 요동을 방지하기 위한 수위 흔들림 방지기구를 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 구성이다.화학물질, 전구체, 수위, 격벽, 반도체, 화학증착, 요동
Int. CL G01F 23/296 (2006.01) G01F 23/00 (2006.01) G01F 23/26 (2006.01)
CPC G01F 23/296(2013.01) G01F 23/296(2013.01) G01F 23/296(2013.01)
출원번호/일자 1020070001757 (2007.01.05)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2008-0064661 (2008.07.09) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.01.05)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 윤주영 대한민국 서울 양천구
2 강상우 대한민국 서울 용산구
3 성대진 대한민국 충남 공주시
4 신용현 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김문종 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길*, *층(대치동 삼성빌딩)(특허법인 아이퍼스)
2 손은진 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길*, *층(대치동 삼성빌딩)(특허법인 아이퍼스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2007.01.05 수리 (Accepted) 1-1-2007-0014210-09
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2008.01.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0030623-08
3 협의요구서
Request for Consultation
2008.01.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0030626-34
4 협의요구서
Request for Consultation
2008.01.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0030624-43
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2008.03.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0197460-21
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2008.03.19 수리 (Accepted) 1-1-2008-0197461-77
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2008.07.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0377528-51
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2008.12.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0643166-44
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
반도체 제조공정의 화학증착 공정 등에 사용되는 액상 화학 물질이 수용된 용기(200)와;상기 용기(200) 내부의 액상 화학 물질의 수위를 측정하기 위하여 용기 하부에 배치된 초음파 센서(510)를 포함하는 액상 화학 물질의 수위 진단기구(500);상기 수위 진단기구와 전기적으로 연결되어 수신된 아날로그 초음파 신호를 디지탈 신호로 변환하는 A/D 변환기(600);상기 A/D 변환기에 전기적으로 연결되어 이미 설정된 기준 수위 데이터와 비교하여 용기 내 액상 화학 물질의 수위가 기준 수위 이하인 여부를 판단하는 제어부(700);상기 제어부에 전기적으로 연결되어 용기 내의 액상 화학 물질의 수위가 기준 수위 이하인 경우 작동하는 경보기구(800); 및상기 용기(200) 내에 액상 화학물질을 공급 파이프(310)를 통해 보충시 발생하는 수위의 요동을 방지하기 위한 수위 요동 방지기구(1000)를 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 용기 내의 화학 물질의 요동방지기구를 구비한 수위 진단장치
2 2
제 1항에 있어서, 상기 수위 흔들림 방지기구(1000)는 용기 내부에서 상기 액상 화학 물질 공급 파이프(310)에 소정 거리 이격되어 용기 바닥에 통로를 형성하면서 배치되는 격판인 것을 특징으로 하는 용기 내 화학 물질의 수위 진단장치
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제1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 공급 파이프(310)의 단부는 용기의 내벽 혹은 격판을 향하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 용기 내 화학물질의 수위 진단장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.