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상부필름(11)의 일면에 도전성 물질로 형성된 전극패턴(12)의 표면에 저항패턴(13)을 형성하여 구성된 상판(1)과 ;
하부필름(12)의 일면에 도전성 물질로 형성된 전극패턴(22)의 표면에 저항패턴(23)을 형성하여 구성된 하판(2)과 ;
저항패턴(13, 23)들이 서로 대향되도록 정렬하고 그 사이에 스페이서(3)를 설치하여 적층하는 것으로 구성되데,
상기 저항패턴(13, 23)은 내열성, 내마모성이 우수한 액상의 고분자에 카본나노튜브(CNT)를 혼합하여 구성됨을 특징으로 하는 고온용 촉각센서
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제 1 항에 있어서,
상기 저항패턴(13, 23)을 구성하는 카본나노튜브는 폴리이미드 또는 고온용 실리콘과 카본나노튜브의 혼합물 전체 중량에 대하여 0
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 저항패턴(13, 23)은 스크린 인쇄됨을 특징으로 하는 고온용 촉각센서
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제 1 항 또는 제 2 항 또는 제 3항에 있어서,
상기 상
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촉각센서의 제조 방법에 있어서,
상부필름의 일면에 전극패턴과 저항패턴을 순차적으로 형성하는 상판제조과정(P11)과 ;
하부필름의 일면에 전극패턴과 저항패턴을 순차적으로 형성하는 하판제조과정(P12)과 ;
상판과 하판을 적층하되 저항패턴들 사이에 스페이서를 설치하여 저항패턴들이 서로 대향되게 적층하는 적층과정(P2)으로 이루어지되,
상기 상판제조과정과 하판제조과정에서 저항패턴을 형성하는 단계는 액상 폴리이미드(polyimide)에 카본나노튜브(CNT)분말을 혼합한 액을 스크링 인쇄하여 형성됨을 특징으로 하는 고온용 촉각센서 제조 방법
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제 5항에 있어서, 상기 스페이스(3)를 사용하지 않고 고온용 촉각센서의 제조방법
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제 5항과 제 6항에 있어서,
상기 상판제조과정은
고분자 필름으로 만들어진 상부필름(11)의 일면에 도전성 물질로 전극패턴(12)을 코팅하는 단계와 ;
형성된 전극패턴(12)의 표면에 액상 폴리이미드(polyimide)에 카본나노튜브(CNT)분말을 혼합한 액을 스크린 인쇄하여 저항패턴(13)을 형성하는 단계를 포함하여 이루어지고,
상기 하판제조과정은
고분자 필름으로 만들어진 상부필름(21)의 일면에 도전성 물질로 전극패턴(22)을 코팅하는 단계와 ;
형성된 전극패턴(22)의 표면에 액상 폴리이미드(polyimide)에 카본나노튜브(CNT)분말을 혼합한 액을 스크린 인쇄하여 저항패턴(23)을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 고온용 촉각센서의 제조방법
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제 7 항에 있어서, 상기 상
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제 8 항에 있어서, 상기 전극패턴(12, 22)은 이빔(E-beam)증착법 또는 스퍼터링 방법 또는 도금으로 형성됨을 특징으로 하는 고온용 촉각센서의 제조방법
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제 9 항에 있어서,
상기 저항패턴(13, 23)을 구성하는 카본나노튜브는 폴리이미드와 카본나노튜브의 혼합물 전체 중량에 대하여 0
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제 10 항에 있어서, 상기 저항패턴(13, 23)은 스크린 인쇄법에 의해 형성됨을 특징으로 하는 고온용 촉각센서의 제조방법
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제 11 항에 있어서, 상기 상,하판제조과정에서 제조된 상판과 하판은 200℃내지 450℃에서 큐어링(curing)하는 과정을 더 수행함을 특징으로 하는 고온용 촉각센서의 제조방법
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