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초음파를 사용하여 용기부의 내부 압력을 측정하는 장치에 있어서,
상기 용기부(10) 측벽의 외부에 설치되는 제1자화요크(110)에 권취된 가진코일부(120)와; 상기 제1자화요크(110)에 권취된 수신코일부(140)와; 상기 제1자화요크(110)가 설치된 상기 용기부(10)의 측벽의 내부에 구비되는 진동부(150);로 구성된 자기변형 송수신 진동자(100);
상기 가진코일부(120)에 전류를 인가하는 제어부(20); 및
상기 수신코일부(140)에 의하여 수신된 초음파 신호와 상기 진동부(150)에서 출력된 초음파 신호에 기초하여 상기 용기부(10)의 내부압력을 측정하는 압력측정부(60);를 포함하는 것을 특징으로 하는 자기변형 진동자를 이용한 압력측정장치
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제 1항에 있어서,
상기 진동부(150)는 진동부 자화요크(152) 및 진동막(154)으로 구성되는 것을 특징으로 하는 자기변형 진동자를 이용한 압력측정장치
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제 2항에 있어서,
상기 진동막(154)는 한 개의 층 또는 복수 개의 층으로 구성되는 것을 특징으로 하는 자기변형 진동자를 이용한 압력측정장치
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제 3항에 있어서,
상기 진동막(154)의 한 개의 층 또는 복수 개의 층은 자기변형성이 있는 재질로 이루어지고,
상기 자기변형성이 있는 재질은 니켈, 철-코발트 합금 및 갈페놀 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 자기변형 진동자를 이용한 압력측정장치
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제 1항에 있어서,
상기 진동부(150)는 자기변형소자(156) 및 음향 임피던스 정합층(158)으로 구성되는 것을 특징으로 하는 자기변형 진동자를 이용하나 압력측정장치
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제 5항에 있어서,
상기 자기변형소자(156)는 자기변형성이 있는 재질로 이루어지고,
상기 자기변형성이 있는 재질은 터페놀-디인 것을 특징으로 하는 자기변형 진동자를 이용한 압력측정장치
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제 1항, 제 2항 및 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 용기부(10)의 내부에는 상기 초음파를 반사시키기 위한 반사판(190)이 더 포함되는 것을 특징으로 하는 자기변형 진동자를 이용한 압력측정장치
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제 1항에 있어서,
상기 제1자화요크(110)는 고투자율의 재료로 이루어지고,
상기 고투자율의 재료는 페라이트 또는 전기강판(SiFe)인 것을 특징으로 하는 자기변형 진동자를 이용한 압력측정장치
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제 1항에 있어서,
상기 제어부(20)는 상기 자기변형 송수신 진동자(100)와 상기 용기부(10)의 내벽 사이에서 상기 초음파가 공진을 일으키도록, 제어신호를 상기 자기변형 송수신 진동자(100)로 인가하는 것을 특징으로 하는 자기변형 진동자를 이용한 압력측정장치
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제 7항에 있어서,
상기 제어부(20)는 상기 자기변형 송수신 진동자(100)와 상기 반사판(190) 사이에서 상기 초음파가 공진을 일으키도록, 제어신호를 상기 자기변형 송수신 진동자(100)로 인가하는 것을 특징으로 하는 자기변형 진동자를 이용한 압력측정장치
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초음파를 사용하여 용기부의 내부 압력을 측정하는 장치에 있어서,
상기 용기부(10)의 일 측벽의 외부에 설치되는 제1자화요크(210)에 권취된 가진코일부(220)와; 상기 제1자화요크(210)가 설치된 상기 용기부(10)의 일 측벽 내부에 구비되는 가진진동부(250);로 구성된 자기변형 가진 진동자(200);
상기 용기부(10)의 타 측벽의 외부에 설치되는 제2자화요크(210')에 권취된 수신코일부(240')와; 상기 제2자화요크(210')가 설치된 상기 용기부(10)의 타 측벽의 내부에 구비되는 수신진동부(250');로 구성된 자기변형 수신 진동자(200');
상기 가진코일부(220)에 전류를 인가하는 제어부(20); 및
상기 수신코일부(240')에 의하여 수신된 초음파 신호와 상기 가진진동부(250')에서 출력된 초음파 신호에 기초하여 상기 용기부(10)의 내부압력을 측정하는 압력측정부(60);를 포함하는 것을 특징으로 하는 자기변형 진동자를 이용한 압력측정장치
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제 11항에 있어서,
상기 자기변형 가진 진동자(200)와 상기 자기변형 수신 진동자(200')는 동일 축(A-A')선상에 놓이는 것을 특징으로 하는 자기변형 진동자를 이용한 압력측정장치
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제 11항에 있어서,
상기 제1자화요크(210) 또는 상기 제2자화요크(210')는 고투자율의 재료로 이루어지고,
상기 고투자율의 재료는 페라이트 또는 전기강판(SiFe)인 것을 특징으로 하는 자기변형 진동자를 이용한 압력측정장치
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제 11항에 있어서,
상기 제어부(20)는 상기 자기변형 가진 진동자(200)에서 출력된 초음파가 상기 자기변형 가진 진동자(200)와 상기 자기변형 수신 진동자(200') 사이에서 공진이 발생하도록, 제어신호를 상기 자기변형 가진 진동자(200)로 인가하는 것을 특징으로 하는 자기변형 진동자를 이용한 압력측정장치
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제 11항에 있어서,
상기 가진진동부(250)는 가진진동부 자화요크(252) 및 가진진동막(254)으로 구성되는 것을 특징으로 하는 자기변형 진동자를 이용한 압력측정장치
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제 11항에 있어서,
상기 수신진동부(250')는 수신진동부 자화요크(252) 및 수신진동막(254)으로 구성된 것을 특징으로 하는 자기변형 진동자를 이용한 압력측정장치
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17
제 11항에 있어서,
상기 가진진동부(250) 또는 상기 수신진동부(250')는 자기변형소자(256,256') 및 음향 임피던스 정합층(158,158')으로 구성되는 것을 특징으로 하는 자기변형 진동자를 이용한 압력측정장치
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