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1
제1 방향으로 대칭적인 테이퍼 형상을 가지는 테이퍼부를 포함하는 제1 전극;
상기 제1 전극의 상기 테이퍼부의 둘레에 배치되고 상기 제1 방향으로 플라즈마 출구를 포함하는 제2 전극;
상기 제1 전극의 표면에 배치되는 제1 전극 절연막; 및
상기 제1 전극에 전기적으로 연결되는 전원을 포함하되,
상기 테이퍼부와 상기 제2 전극 사이의 간격은 균일하게 유지되고, 상기 간격은 방전 공간을 제공하는 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마 장치
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2
제1 방향으로 대칭적인 테이퍼 형상을 가지는 테이퍼부를 포함하는 제1 전극;
상기 제1 전극의 상기 테이퍼부의 둘레에 배치되고 상기 제1 방향으로 플라즈마 출구를 포함하는 제2 전극;
상기 제1 전극에 결합하여 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극을 지지하는 몸체부; 및
상기 제1 전극에 전기적으로 연결되는 전원을 포함하되,
상기 테이퍼부와 상기 제2 전극 사이의 간격은 균일하게 유지되고, 상기 간격은 방전 공간을 제공하고,
상기 제2 전극과 상기 몸체부는 축전기를 형성하여 변위전류를 제공하는 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마 장치
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3
제1 항 또는 제2 항에 있어서,
상기 간격을 조절하는 간격 조절부를 더 포함하되, 상기 간격의 조절은 안정적인 플라즈마를 제공하는 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마 장치
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4
제1 항 또는 제2 항에 있어서,
상기 플라즈마 및 상기 플라즈마에 의하여 생성된 부산물은 상기 플라즈마 출구를 통하여 피처리체에 제공되어 상기 피처리체를 친수성화시키는 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마 장치
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5
제1 항 또는 제2 항에 있어서,
상기 방전 공간에 유체를 공급하는 유체 공급부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마 장치
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6
제1 항 또는 제2 항에 있어서,
상기 제2 전극과 상기 제1 방향으로 이격되어 배치된 제3 전극을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마 장치
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7
삭제
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8
제1 항 또는 제2 항에 있어서,
상기 테이퍼부는 원뿔 형상 또는 절두 원뿔 형상인 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마 장치
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9
제1 항에 있어서,
상기 제2 전극과 분리결합하는 몸체부를 더 포함하되,
상기 제1 전극은 상기 테이퍼부에서 연장되어 일정한 단면을 가지는 제1 전극 몸체부를 더 포함하고,
상기 몸체부는 상기 제2 전극 몸체부는 서로 고정 결합하는 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마 장치
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10
제9 항에 있어서,
상기 간격을 조절하는 간결 조절부를 더 포함하되,
상기 간격 조절부는:
상기 몸체부와 상기 제2 전극의 어느 하나에 형성된 볼트부; 및
상기 몸체부와 상기 제2 전극의 다른 하나에 형성된 너트부를 포함하고,
상기 볼트부와 상기 너트부는 서로 결합하여 상기 간격을 조절하는 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마 장치
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11
테이퍼부를 포함하는 제1 전극;
상기 제1 전극의 표면에 배치된 제1 전극 절연막;
상기 제1 전극의 상기 테이퍼부를 감싸도록 배치되고 상기 테이퍼부의 단면이 감소하는 영역에 배치된 플라즈마 출구를 포함하는 제2 전극;
상기 제1 전극에 전기적으로 연결되는 전원;
상기 제2 전극과 상기 테이퍼부는 균일한 간격을 유지하고 상기 간격을 조절하는 간격 조절부;
상기 제2 전극 및 상기 제1 전극을 지지하는 몸체부; 및
상기 간격에 의하여 제공되는 방전 공간에 유체를 공급하는 유체 공급부를 포함하되,
상기 간격 조절부는 상기 간격을 가변시키어 안정적인 플라즈마 방전을 제공하는 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마 장치
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12
제11 항에 있어서,
상기 유체공급부는 상기 제2 전극에 형성되어 상기 방전 공간에 상기 유체를 공급하는 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마 장치
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13
제11 항에 있어서,
상기 제1 전극은 테이퍼부, 균일한 단면을 가지는 제1 전극 몸체부, 상기 테이퍼부와 상기 제1 전극 몸체부를 연결하는 제1 전극 연결부를 포함하고,
상기 제1 전극 연결부는 상기 제2 전극과 상기 제1 전극 연결부 사이에 버퍼 공간을 제공하는 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마 장치
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14
제11 항에 있어서,
상기 몸체부는 상기 제1 전극을 지지하는 지지부 및 상기 제2 전극과 연결되는 연결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마 장치
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15
제1 방향으로 테이퍼 형상을 포함하는 제1 전극들;
상기 제1 방향을 가로지르는 제2 방향으로 배열된 상기 제1 전극들이 삽입되는 제2 전극;
상기 제1 전극의 표면에 배치되는 제1 전극 절연막; 및
상기 제1 전극들에 전기적으로 연결되는 전원을 포함하되,
상기 제1 전극들과 상기 제2 전극은 균일한 간격을 유지하고, 상기 간격은 방전 공간을 제공하는 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마 장치
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16
테이퍼부를 포함하는 제1 전극;
상기 제1 전극의 둘레에 배치된 제1 전극 절연막;
상기 테이퍼부의 둘레에 배치되고 플라즈마 출구를 포함하는 제2 전극;
상기 제1 전극에 전기적으로 연결되는 전원;
상기 제2 전극과 상기 테이퍼부는 균일한 간격을 유지하고 상기 간격을 조절하는 간격 조절부; 및
상기 제1 전극과 결합하여 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극을 지지하는 몸체부를 포함하되,
상기 제1 전극의 상기 테이퍼부와 상기 제2 전극 사이의 간격은 균일하고, 상기 간격은 방전 공간을 제공하는 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마 오염물 처리 장치
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17
제 16항에 있어서,
상기 방전 공간에 유체를 공급하는 유체 공급부를 더 포함하되,
상기 유체 공급부는 상기 몸체부에 형성되는 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마 오염물 처리 장치
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18
제 17항에 있어서,
상기 몸체부는 내부 원통 및 외부 원통을 포함하는 이중 원통 형상이고, 상기 유체 공급부는 상기 내부 원통과 상기 외부 원통 사이의 공간에 의하여 제공되는 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마 오염물 처리 장치
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