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기계적 연마 공정을 통한 유리 기판의 직접 접합 방법

  • 기술번호 : KST2015179782
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에서는, 유리 기판의 직접 접합 방법에 있어서, 미세패턴이 가공되거나 또는 가공되지 않은, 세정액에 의한 세정, 세척 및 건조 과정을 거치거나 또는 거치지 않은, 유리 기판(10)을, 연마제(50)를 사용하거나 또는 사용하지 않고, 기계적으로 연마하여 표면 경면화 처리하는 단계(S10); 및 상기 유리 기판(10) 2개를 유리 기판(10) 표면에 존재하는 수화기 그룹간의 공유 결합에 의해 직접 접합하는 단계(S20-1, S20-2);를 포함하는 기계적 연마 공정을 통한 유리 기판의 직접 접합 방법을 개시한다. 본 발명에 따라 기존의 유리 접합법에서와 같은 특수 공정 환경마련 등의 선행조건의 제약을 탈피하게 되었고, 이에 따라 생산성을 향상시키고 생산 단가등을 크게 감소할 수 있을 뿐만 아니라, 기존의 접합시 사용하였던 실리콘이나 접합 고분자 중간층에 의한 부가반응등의 단점을 개선하게 되고, 또한 유리 기판의 접합 정밀도를 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라, 특히 마이크로 전계 시스템, 미세 유동체등의 분야등에서의 응용이 확대될 수 있는 효과를 달성하게 된다. 유리기판, 기계연마, 표면경면화, 직접 접합, 마이크로전기기계, 미세유동체
Int. CL H01L 21/02 (2006.01)
CPC B32B 17/10871(2013.01) B32B 17/10871(2013.01)
출원번호/일자 1020030043968 (2003.06.30)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-0523940-0000 (2005.10.19)
공개번호/일자 10-2005-0003252 (2005.01.10) 문서열기
공고번호/일자 (20051026) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2003.06.30)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정세채 대한민국 대전광역시유성구
2 최준례 대한민국 대전광역시동구
3 박명일 대한민국 서울특별시관악구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 손은진 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길*, *층(대치동 삼성빌딩)(특허법인 아이퍼스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2003.06.30 수리 (Accepted) 1-1-2003-0238495-31
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2005.03.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0123954-49
3 의견서
Written Opinion		 2005.05.12 수리 (Accepted) 1-1-2005-0248344-15
4 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2005.05.12 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2005-0248351-24
5 등록결정서
Decision to grant		 2005.09.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0453886-38
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2006.02.15 수리 (Accepted) 4-1-2006-5019752-35
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
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번호 청구항
1 1
유리 기판의 직접 접합 방법에 있어서, 유리 기판(10)의 표면을 기계적으로 연마하여 표면 경면화 처리하는 단계(S10)와;초순수 증류수로 상기 유리 기판(10)을 세척하는 단계(S31)와;세정액으로 세정하는 단계(S32)와;초순수 증류수로 다시 상기 유리 기판(10)을 세척 및 건조하는 단계(S33)와;상기 유리 기판(10) 두개를, 유리 기판(10) 표면에 존재하는 수화기 그룹간의 공유결합에 의해 1차 접합하는 단계(S20-1); 및 상기 접합된 유리 기판(20)을 열처리를 통하여 2차 접합하는 단계(S20-2);로 구성되는 것을 특징으로 하는 기계적 연마 공정을 통한 유리 기판의 직접 접합 방법
2 2
삭제
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 S10 단계는, 상기 연마제(50)로서, 폴리크리스탈라인 다이아몬드 현탁액을 사용하는 것을 특징으로 하는 기계적 연마 공정을 통한 유리 기판의 직접 접합 방법
4 4
삭제
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 S20-2 단계는, 내열강도가 큰 가압기를 통해, 접합된 유리 기판을 가압하여 열처리하는 것을 특징으로 하는 기계적 연마 공정을 통한 유리 기판의 직접 접합 방법
6 6
제 5 항에 있어서, 상기 S20-2 단계는, 상기 가압기로 인코넬 가압기(30)를 사용하는 것을 특징으로 하는 기계적 연마 공정을 통한 유리 기판의 직접 접합 방법
7 6
제 5 항에 있어서, 상기 S20-2 단계는, 상기 가압기로 인코넬 가압기(30)를 사용하는 것을 특징으로 하는 기계적 연마 공정을 통한 유리 기판의 직접 접합 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.