맞춤기술찾기

이전대상기술

자동적인 이온 코팅 전류조절이 가능한 이온 스퍼터 코팅장치

  • 기술번호 : KST2015179794
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 부도체 시료를 전자현미경에서 관찰할 때, 시료 전하 축적에 의한 방전을 방지하기 위해 도체막 형성을 하기 위해 이온 코팅에 관한 것으로서, 더 상세하게는 부도체 시료를 전자현미경에서 관찰할 때 자동적으로 이온 코팅 전류를 조절하여 코팅 작업을 한 번에 간편하게 할 수 있는 이온 스퍼터 코팅장치에 대한 것이다.
Int. CL C23C 14/54 (2006.01) C23C 14/34 (2006.01) C23C 14/50 (2006.01)
CPC C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01)
출원번호/일자 1020100109714 (2010.11.05)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-1245193-0000 (2013.03.13)
공개번호/일자 10-2012-0048204 (2012.05.15) 문서열기
공고번호/일자 (20130319) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.11.05)
심사청구항수 3

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 배문섭 대한민국 대전광역시 유성구
2 조양구 대한민국 대전광역시 유성구
3 이확주 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김종관 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
3 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대전 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.11.05 수리 (Accepted) 1-1-2010-0723461-75
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.09.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.10.17 수리 (Accepted) 9-1-2011-0081639-12
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.08.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0511081-83
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.10.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0857050-46
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.10.22 수리 (Accepted) 1-1-2012-0857082-07
7 등록결정서
Decision to grant
2013.02.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0116676-63
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
자동적인 이온 코팅(Ion Coating) 전류조절이 가능한 이온 코팅장치에 있어서,이온 스퍼터링 코팅기(Ion-sputtering Coater)의 내부에 놓인 시료에 도전피막을 입히는 이온화 코팅(Coating) 전류를 설정하기 위한 D/A(Digital/Analog) 변환기;설정된 이온화 코팅 전류에 해당하는 고전압 생성을 위한 FET(Field Effect Transistor)부;상기 FET부에 의해 AC(Alternating Current) 고전압을 생성하는 고압 변압기;상기 AC 고전압을 정류하여 DC(Direct Current) 고전압을 발생시키는 풀 브릿지(Full Bridge) 정류회로; 상기 DC 고전압에 해당하는 이온화 코팅 전류를 감지하는 전류 감지부;상기 이온화 전류와 상기 설정된 이온화 전류를 비교하여 차이값을 생성하는 비교기; 및상기 차이값에 따른 펄스를 발생시켜 상기 FET부에 전송하는 펄스폭 변조기를 포함하여 구성되되, 상기 전류 감지부는 이온 스퍼터링 코팅기(Ion-sputtering Coater)의 진공도가 낮아져 이온화 Coating 전류가 감소하게 될 경우, 상기 풀 브릿지 정류 회로에서 생성된 이온화 Coating 전류를 피드백(Feedback)받아 상기 비교기에 전송하는 것을 특징으로 하는 자동적인 이온 코팅(Ion Coating) 전류 조절이 가능한 이온 코팅장치
2 2
삭제
3 3
제 1 항에 있어서,상기 전류 감지부는 포토 트랜지스터(Photo Transistor)와 포토 다이오드(Photo Diode)로 구성되는 것을 특징으로 하는 이온 스퍼터 코팅장치
4 4
제 1 항에 있어서, 코팅 공정 완료후 상기 시료를 제거하도록 상기 시료의 내부에 자동으로 에어(Air)를 주입하는 에어 주입 수단을 더 포함하는 이온 스퍼터 코팅장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.