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샘플홀더 제조방법에 있어서,단결정 실리콘 잉곳의 결정성장축이 절삭수단의 수직축과 특정 각도가 되도록 상기 단결정 실리콘 잉곳을 절삭수단에 설치하는 단계;상기 절삭수단이 절삭면과 비축면이 상기 특정각도를 갖도록 상기 단결정 실리콘 잉곳을 소정두께로 절삭하여 복수의 비축 웨이퍼를 제조하는 단계;절단수단에 의해 상기 비축 웨이퍼를 절단하여 직사각형 형상으로 구비되는 복수의 비축플레이트를 제조하는 단계; 및상기 비축플레이트에 샘플을 장착할 수 있도록 캐비티를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정의 비축을 이용한 X선 회절용 무반사 샘플홀더 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 특정 각도는 4
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제 2 항에 있어서,상기 비축플레이트는 수평면과 상기 특정각도를 이루는 비축면을 구비하고,X선이 소정각도로 상기 샘플홀더에 조사되는 경우, 비축면을 갖는 상기 비축플레이트면에 조사되는 상기 X선은 반사되지 않고, 상기 캐비티에 창작된 상기 샘플에 주사된 상기 X선 만이 소정 회절각을 갖고 반사되는 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정의 비축을 이용한 X선 회절용 무반사 샘플홀더 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 비축 웨이퍼 제조 단계에서,다이아몬드 쏘(saw), 와이어 쏘 또는 레이저 빔에 의해 상기 단결정 실리콘 잉곳을 절삭하여 비축면이 형성된 상기 비축 웨이퍼를 제작하는 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정의 비축을 이용한 X선 회절용 무반사 샘플홀더 제조방법
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제1항의 제조방법에 의해 제조된 샘플홀더에 있어서, 수평면과 특정각도를 갖는 비축면을 구비한 비축플레이트; 및상기 비축플레이트에 형성되어 샘플이 장착되는 캐비티;를 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정의 비축을 이용한 X선 회절용 무반사 샘플홀더
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제 5 항에 있어서, 상기 특정 각도는 4
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제 5 항에 있어서, 소정각도로 X선을 상기 샘플홀더에 조사하는 경우,상기 샘플에 조사된 상기 X선은 소정 회절각을 갖고 반사되지만, 비축면을 구비한 상기 비축플레이트에 주사된 상기 X선은 반사되지 않는 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정의 비축을 이용한 X선 회절용 무반사 샘플홀더
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제 7 항에 있어서, 상기 샘플홀더에 조사되는 조사각도와 무관하게 상기 비축플레이트에 조사된 상기 X선은 반사되지 않는 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정의 비축을 이용한 X선 회절용 무반사 샘플홀더
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제 1 항의 제조방법에 의해 제작된 샘플홀더를 이용한 X선 회절분석시스템에 있어서, X선이 방출되는 X선 발생기;상기 X선 발생기에서 방출된 상기 X선이 입사되어 상기 X선을 확산시켜 확산된 상기 X선을 상기 샘플홀더에 주사하는 확산 슬릿; 비축면을 구비한 상기 샘플홀더가 상면에 설치되는 샘플스테이지; 및상기 샘플홀더에 주사된 X선이 반사되어 소정 회절각으로 회절된 X선을 검출하는 X선 검출기를 포함하는 것을 특징으로 하는 비축을 갖는 샘플홀더를 이용한 X선 회절분석 시스템
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제 9 항에 있어서, 상기 X선 검출기는 1차원 및 2차원 검출기 중 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 비축을 갖는 샘플홀더를 이용한 X선 회절분석 시스템
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제 9 항에 있어서, 상기 X선 검출기는 상기 X선의 회절각을 검출함으로써 상기 샘플의 상분석(phase analysis) 또는 결정구조를 해석하는 것을 특징으로 하는 비축을 갖는 샘플홀더를 이용한 X선 회절분석 시스템
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제 9 항에 있어서, 상기 샘플홀더를 구성하는 비축플레이트는 비축면을 구비하고,상기 비축면과 수평면이 사이의 특정 각도는 4
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제 9 항에 있어서, 소정각도로 X선을 상기 샘플홀더에 주사하는 경우,상기 샘플에 주사된 X선은 반사되지만, 비축을 구비한 상기 비축플레이트에 주사된 상기 X선은 반사되지 않는 것을 특징으로 하는 비축을 갖는 샘플홀더를 이용한 X선 회절분석 시스템
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제 13 항에 있어서,상기 샘플홀더에 주사되는 주사각도와 무관하게 상기 비축플레이트에 주사된 상기 X선은 반사되지 않는 것을 특징으로 하는 비축을 갖는 샘플홀더를 이용한 X선 회절분석 시스템
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제 13 항에 있어서, 상기 X선 발생기에 연결되어 상기 샘플홀더에 조사되는 상기 X선의 조사 각도를 조절하는 각도조절수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비축을 갖는 샘플홀더를 이용한 X선 회절분석 시스템
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제5항의 실리콘 단결정의 비축을 이용한 X선 회절용 무반사 샘플홀더를 이용한 X선 회절분석방법에 있어서, X선 발생기에서 X선이 방출되는 단계;상기 X선 발생기에서 방출된 X선이 확산 슬릿에 의해 확산되는 단계;확산된 X선이 소정각도로 샘플홀더에 조사되는 단계;상기 샘플홀더에 조사된 상기 X선은 상기 샘플홀더에 장착된 샘플에 반사되어 소정 회절각으로 회절되는 단계;회절각을 갖는 X선을 X선 검출기를 통해 검출하는 단계; 및분석 수단이 상기 검출된 X선을 측정하여 상기 샘플을 분석하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정의 비축을 이용한 X선 회절용 무반사 샘플홀더를 이용한 X선 회절분석방법
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제 16 항에 있어서, 상기 샘플홀더를 구성하는 비축플레이트는 비축면을 구비하고, 상기 비축면과 수평면이 사이의 특정 각도는 4
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제 17 항에 있어서, 상기 회절단계에서, 상기 샘플에 조사되는 상기 X선은 상기 샘플의 결정구조에 기반하여 특정 상기 회절각으로 회절되고, 상기 비축플레이트에 조사되는 상기 X선은 회절되지 않는 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정의 비축을 이용한 X선 회절용 무반사 샘플홀더를 이용한 X선 회절분석방법
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제 16 항에 있어서, 상기 검출하는 단계 및 상기 분석하는 단계는,상기 X선 검출기는 1차원 및 2차원 검출기 중 적어도 어느 하나로 구비되어 상기 X선의 회절각을 검출함으로써, 상기 샘플의 상분석 또는 결정구조를 해석하는데 회절 데이터를 측정하여 상기 샘플을 분석하는 단계인 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정의 비축을 이용한 X선 회절용 무반사 샘플홀더를 이용한 X선 회절분석방법
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