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처짐 감지 장치

  • 기술번호 : KST2015179805
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 디스플레이, 반도체, 태양전지 등 공정챔버내 부품들의 처짐에 따른 변형을 실시간으로 측정할 수 있는 검사 장치에 관한 것이다.본 발명에 따른 처짐 감지 장치에 따르면, 시간이 지남에 따라 처짐 현상이 발생하는 부품들을 실시간으로 모니터하여, 부품의 변형으로 발생되는 각종 공정이슈들을 사전에 방지할 수 있는 효과가 있다.
Int. CL G01B 11/16 (2006.01) G01B 17/04 (2006.01)
CPC G01B 11/18(2013.01) G01B 11/18(2013.01) G01B 11/18(2013.01) G01B 11/18(2013.01) G01B 11/18(2013.01)
출원번호/일자 1020100129236 (2010.12.16)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-1242626-0000 (2013.03.06)
공개번호/일자 10-2012-0067692 (2012.06.26) 문서열기
공고번호/일자 (20130319) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.12.16)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 윤주영 대한민국 서울특별시 양천구
2 강상우 대한민국 대전광역시 유성구
3 김진태 대한민국 대전광역시 유성구
4 신용현 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다나 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *길 **, 신관 *층~*층, **층(역삼동, 광성빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대전 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.12.16 수리 (Accepted) 1-1-2010-0831054-51
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.06.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0334635-14
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.08.10 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0640211-78
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.08.10 수리 (Accepted) 1-1-2012-0640208-30
5 등록결정서
Decision to grant		 2012.12.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0745519-55
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
상하면 및 네 측면을 포함하는 공정챔버의 내부공간에 상기 상하면과 평행한 자세로 수용된 부품의 처짐을 감지하는 처짐 감지 장치로서, 상기 네 측면 중 하나인 제1측면에 장착되어 상기 상하면과 평행한 방향으로 광 또는 초음파를 조사하는 조사부;상기 네 측면 중 상기 제1측면과 대향하는 제2측면에 장착되어 상기 조사부로부터 조사된 광 또는 초음파를 감지하는 감지부; 및상기 조사부의 온/오프를 제어하고, 상기 감지부가 상기 조사부로부터 조사된 광 또는 초음파를 감지하였는지 여부에 기초하여 상기 부품의 처짐 여부를 판단하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 처짐 감지 장치
2 2
제1항에 있어서,상기 조사부 및 감지부는 복수로 구비되되, 상기 복수의 조사부는 상기 공정챔버의 높이방향을 따라 나열하도록 상기 제1측면에 장착되고, 상기 복수의 감지부는 상기 공정챔버의 높이방향을 따라 나열하도록 상기 제2측면에 장착된 것을 특징으로 하는 처짐 감지 장치
3 3
제1항에 있어서,상기 조사부 및 감지부는 상기 공정챔버의 높이방향을 따라 이동하는 것을 특징으로 하는 처짐 감지 장치
4 4
제1항에 있어서,상기 공정챔버의 상하면 중 어느 한 면에 장착되어 상기 부품으로 광 또는 초음파를 조사함과 동시에 상기 부품으로부터 반사된 광 또는 초음파를 감지하는 복수의 조감부를 포함하되, 상기 복수의 조감부는 상기 제1측면으로부터 상기 제2측면으로 연장하는 방향을 따라 나열되고, 상기 제어부는 상기 광 또는 초음파가 상기 조감부로부터 조사된 후 상기 조감부에 의해 감지될 때까지 소요된 시간을 기초로 상기 부품의 처짐 정도를 산출하는 것을 특징으로 하는 처짐 감지 장치
5 5
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패밀리정보가 없습니다
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