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기판;상기 기판에 형성된 제1탄소나노튜브 시트;상기 제1탄소나노튜브 시트 상에 형성되는 제2탄소나노튜브 시트; 및상기 제1탄소나노튜브 시트와 제2탄소나노튜브 시트의 양단에 각각 전기적으로 연결되는 전극을 포함하고,상기 제1탄소나노튜브 시트와 제2탄소나노튜브 시트는 복수 개의 탄소나노튜브가 방향성을 갖고 배향되어 형성되는 수소센서
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제7항에 있어서, 상기 제1탄소나노튜브 시트와 제2탄소나노튜브 시트는 상기 탄소나노튜브가 배향된 방향이 서로 교차하는 수소센서
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제7항에 있어서, 상기 제1탄소나노튜브 시트와 제2탄소나노튜브 시트는 성장시킨 탄소나노튜브 번들의 일측면에 접착 부재를 부착한 후 횡방향으로 잡아당겨 형성되는 수소센서
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제7항에 있어서, 상기 탄소나노튜브는 단일벽 탄소나노튜브, 이중벽 탄소나노튜브 및 다중벽 탄소나노튜브 중 어느 하나인 수소센서
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제7항에 있어서, 상기 탄소나노튜브의 길이는 0
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제7항에 있어서, 상기 제1탄소나노튜브 시트와 제2탄소나노튜브 시트 사이에는 금속층이 더 형성된 수소센서
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제12항에 있어서, 상기 금속층은 팔라듐(Pd), 백금(Pt), 산화아연(ZnO), 금(Au), 로듐(Rb), 알루미늄(Al), 망간(Mn), 몰리브덴(Mo) 중 어느 하나 이상인 금속으로 이루어지는 수소센서
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제12항에 있어서, 상기 금속층은 금속필름으로 구성되며, 상기 금속필름의 두께는 5nm이하인 수소센서
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제1탄소나노튜브 시트를 제조하여 기판에 부착하는 단계; 상기 제1탄소나노튜브 시트의 상부에 제2탄소나노튜브 시트를 부착하는 단계; 및 상기 제1탄소나노튜브 시트와 제2탄소나노튜브 시트의 양단에 각각 전극을 형성하는 단계;를 포함하고,상기 제1탄소나노튜브 시트와 제2탄소나노튜브 시트는 성장시킨 탄소나노튜브 번들의 일측면에 접착 부재를 부착한 후 횡방향으로 잡아당겨 탄소나노튜브가 일방향으로 배향된 시트를 형성하는 수소 센서 제조방법
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제15항에 있어서, 상기 제2탄소나노튜브 시트를 형성하는 단계에서, 상기 제2탄소나노튜브 시트의 탄소나노튜브 배향방향은 제1탄소나노튜브 시트의 탄소나노튜브 배향방향과 교차되게 형성하는 수소 센서 제조방법
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제15항에 있어서, 상기 제1탄소나노튜브 시트를 형성하는 단계 이후에, 상기 제1탄소나노튜브 시트의 상부에 금속층을 형성하는 단계를 더 포함하는 수소센서 제조방법
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제17항에 있어서, 상기 금속층을 형성하는 단계는 상기 제1탄소나노튜브 시트의 상부에 금속필름을 적층 형성하는 수소센서 제조방법
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제18항에 있어서, 상기 금속필름은 5㎛이하의 두께로 형성하는 수소센서 제조방법
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